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¾º¾º ËÞ ÑÙÐ Ð Ò Ø Ö Ó Ø ¾º¾º½º ËÞ ÑÙÐ Ð Ò Ø Ö Ó Ø Ð Ô Ð Ð ØÑ Ö ÓÖ Ò Ñ ÒØ ¹Øò Ø ÚÓÐ Ú Ð Ñ Ö ÔÓÒØÓ Ú Þ Þ ÒØ Ø ÚÓÐ Ò Ð Ð Ð Ø Ð ½º½ º Ö Òµº D = [5,50] nm δ x = δ y = 120nm ¾º µ ÓÙÐÓÑ ¹ Ð Ò Ø Ø ÚÓÐ Ò ÝÞ Ø Ú Ð ÓÖ ØÓØØ Ò Ö ÒÝÓ Ý Þ Ð ÑÐ Ø ØØ ÖØ ÐÑ Ò Ý Ñ Ö ÔÓÒØ Ò ÒÝ ÞÓÑ Þ ÔÓÒØÓ Ò Ñ Ö ÔÓÒØ Ý Ö Ù ÐØ ÖÒÝ Þ Ø Ø Þ Þ ÑÙÐ ÐÒ º À Þ Ò ÞÓÒ Ú Ð Ñ Ö Ð ÒÝ ¹ ÓÐ Ø Ú ÐÐ ÑÓ Ø Ö Ö º Å ÔÔ Ò Ñ Ó ÐÑ ÞÚ Ú Þ Þ ÒØ Ñ Ö ÔÓÒØÓ Ø ÚÓÐ Ú Ð Ò ÝÓ Ñ ÒØ ÓÙÐÓÑ ¹ Ð Ò Ø Ø Ú Ø ÚÓÐ µº Ø Ô Ù Å Øò Ø Ö Ø Å ÌÄ È ÖØ Ð Ö ÒØ Ð ÕÙ Ø ÓÒ ÌÓÓÐ ÓÜ¹ Ð Þ ÑÙÐ ÐØ Ñº Þ ÑÙÐ Ø 1000 1000 1000 nm¹ Ø Ö Ó ØÓÒ 5000 Ð ÑÑ Ð Ú ÞØ Ñ Øò V tu = 500mV ÔÓØ Ò Ð Ø Òº Ñ ÒØ ¹Øò Ø ÚÓÐ D = 20 nm Øò Ù Ö R = 5 nm Ô Ð ÒÝ Ð Þ Ý Ø ÔÙ Si Ø Ò Θ = 10 Ô Ð ÒÝ Ð Þ Ø ÔÙ Si 3 N 4 Ø Ò Θ = 35 º Þ ÑÙÐ Ö Ñ ÒÝ ¾º¾º Ö Ò Ð Ø Ø º

µ R = 5nm Θ = 10 µ R = 5nm Θ = 35 µ R = 5nm Θ = 10 µ R = 5nm Θ = 35 ¾º¾º Ö º Å ÒØ ¹Øò Þ ØØ Ø Ö Ú Ð Ñ Þ ÑÙÐ Ò Ð ÒÝ Ö ÞÐ Ø Þ ÑÙÐ Ø Ö Ó Ø Ñ Ø ÖÓÞ ÓÞº Ð ÓÐ Ð Ó ÞÐÓÔ Ò ÔÓØ Ò Ð ÐÓ ÞÐ Ð Ø Ø V ¹ Ò Ñ ÖÚ Ó ÓÐ ÐØ Ú ÐÐ ÑÓ Ø Ö Ö Ò Ý V/nm Ñ ÖÚ º

0.03 0.03 0.025 0.025 0.02 0.02 E [V/nm] 0.015 E [V/nm] 0.015 0.01 0.01 0.005 0.005 0 150 100 50 0 50 100 150 x [nm] µ R = 5nm Θ = 10 E(x = 120) = 0.129 E max 0 150 100 50 0 50 100 150 x [nm] µ R = 5nm Θ = 35 E(x = 120) = 0.148 E max ¾º º Ö º Î ÐÐ ÑÓ Ø Ö Ö Ò Ý Ð Ð ØØ Ð 1 nm¹ö º ¾º¾ ¾º º Ö ÓÒ Ñ Ý Ð Ø Ó Ý Ú ÐÐ ÑÓ Ø Ö ¹ Ù Ö Ú Ö Ð ÓÒ ÒØÖ Ð Ú Ø Þ Ñ Ö ÔÓÒØÖ 120 nm¹ö µ Ñ Ö Ð ÒÝ ÓÐ Ø Ò Ý¹ < 15%µ Ð Þº ÒÒ Ñ Ð Ð Ò Ý Ñ ÖØ ÔÓÒØ 3 3¹ Þ Þ (240 240nm 2 )¹ Ð ÔØ Ö Ð Øò Ø Ö Ó ØÓØ Þ Þ ÑÙÐ ÐÒ º ÞÞ Ð Þ Ð ÒÝ ÓÐ Ð Ð Ø Ñ Ö ÒÙÑ Ö Ù Ò Þ Ð Ø Ñ Ö ØòÖ Òº ¾º¾º¾º ËÞ ÑÙÐ Ð Ò Ø Ö Ó Ø Ð Ô Ò ÒØ ÖÔÓÐ Ø Ö Ó ØÖ ÐÐ Þ Ò ÓÑÓ Ò ÔÓÒØ Ð Ð Ð ÓÒØ ÐÐ Þ Þ Å Ð ÓÒØ Ö d z = δ z = 2nmµº ÔÓÒØ Ð Ð Ô ÓÖ Ò ÑÐ Ø ØØ Þ Ö ÒØ 3 3 ÔÓÒØ Ð ÐÐÒ º Ø Ö Ó Ø ÔÓÒØ Ð Ò Ý Ö Ò Ò ÓÑÓ Ò Ð ÒÒ Ñ ÓÒÚ Ö Ò¹ Ø Ð Ø Ò Ì ÝÐÓÖ ÓÖÓ Þ Ð Ø ÓÖ Ò Ò Ñ Ð Ö Ò ò Ø Ó ÓÞÒ º Å Ú Ð 3 3 ÔÓÒØÓ Ö Ý Ø ÒØ Ø Ò Ñ ÒØ Ñ ÒØ Ñ ¹ Ú ÒÝ Ò Ñ ÒØ Ú Ø Ð Þ Ú Ð ÔÓØØ Ñ ÒØ Ö Ý Þ ÔÓÒØÓ Ø ÒØ ÖÔÓÐ Ú Ð Ð Ò ¹ Ö ÒØ ÖÔÓÐ Ú Ð ÐÙÐ Ø Ö ÞØ Ð ÑÓÞ ØÐ ÓÐ Ðµ Ð Ø ÐÒ º Þ Ú Þ Þ ÒØ Ð ÓÒØ δ x = δ y = 120 nm ÚÓÐØ ÞØ N ip ÔÓÒØÖ ÒØ ÖÔÓÐ ÐÓÑº ÞÞ Ð Ñ Ø Ö Ú Þ Þ ÒØ Ð ÓÒØ Ú Ø Þ Ö òöò ØØº d ax = d ay = 120 3 N ip ¾º µ Þ ÒØ ÖÔÓÐ Ó Ð Ò N ip = 180 Ø Ò Ð ÒÒ Ú ÞÓÒØ Ò º¾ Ö Þµ Ñ ÖØ Ø ØØ Ñ ÓÒØÓÐ Ó Ú ØØ N ip = 31¹Ö Ú Ð ÞØÓÑ Ñ º ÓÖ d ax = d ay = 11.61 nm Ð Þº

¾º¾º º ËÞ ÑÙÐ Ð Ò Ø Ö Ó Ø Ñ Þ ÑÙÐ Ð Ò Ø Ö µ Ð Ô ÓØØ Þ Ð Þ Ð ÑÐ Ø ØØ ÒØ ÖÔÓÐ ÐØ Ð Ð Ø ÒØ Ñ Ñ Ò Ñº ÞØ N h ¹Ò ÐÒ Ú ÞÚ Ú Ø Þ Ø Ñ ÒÒÝ Þ Ð Ò ÝÓ Ð Ø ÖÓÞØ Ñ Ñ Ã Þ Ô ÔÓÒØ Ð ØØ Ð Ú Øò Þ Ô Ò Ñ 3 3µ ÖÒÝ Þ Ø Ð Ð ÓÒÝ Ð Ñ ÔÓÒØ Ò Ð Ò ÓÞ¹ Þ Ú Øò Ñ Ò Ð Øº ¾º º ËÞ ÑÙÐ Ð Ô Ø Ñ Ö ÔÓÒØÓ ÓÞ Ø ÖØÓÞ Þ ÑÙÐ ÓÖ Ò Ð Ð Ø Ñ Ò Ñ Ö Ø Ø Ñ Ö Ñ ÖØÒ ÐØ Ø Ð Þ Ñº Ø Ð Ñ Ø Ö Ô ÔÓÒØ Ø Ð Ò¹ Ð Ò Ú Þ Ð Ù º Ý ØÐ Ò ÔÓÒØ Ò Ñ Ö Ö Ñ ÒÝ Þ Ñ Ø Ò Ð Ô Þ Ð ½º Ñ Ö ÔÓÒØ Ö Ð 3 3¹ Ð Ð Ø Ö Þ Ò Ñ ÐÐ Ô Ø ¾º Þ Ñ Ø Ö µ Ñ Ö ÔÓÒØÓ ÒØ ÖÔÓÐ Ú Ð Ø ÖØ Ò Ò Ö Ð Ð¹ ÓÒØ Ò Ú Ð Ú ØØ º Þ ÑÙÐ Ð Ò Ø Ö Ó Ø Ñ Ö Ø Ò Þ Ñ Ø º Ö Ø» Ø Ö Ø Ú Ñ ÓÐ Ð ÓÖ ØÑÙ Ð Ø Ö Ñ Ø ÖÓÞ ØòÖ Ø Ö Þ Ñ Ø ÐÐ ØÚ Øò Ð ØØ Ø ÐØ Ñ ÒÒÝ Þ Ñ Ø º ØÓ ÜÔÓÖØ Ð º ½¼

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