Termékismertet Útmér k Mér tapintók Szögelfordulásmér k Forgóadók Pályavezérl k 3D-s tapintók Helyzetkijelz k. 2006 szeptember

Termékismertet Útmér k Mér tapintók Szögelfordulásmér k Forgóadók Pályavezérl k 3D-s tapintók Helyzetkijelz k 2006 szeptember

A DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH útés szögelfordulásmér ket, forgóadókat, helyzetkijelz ket és NC vezérl ket fejleszt és gyárt. A HEIDENHAIN a termékeit a szerszámgépgyártók valamint az automatizált berendezések és gépek gyártói különösen a félvezet ipari és az elek t- ronikai gépgyártás részére száll tja. A HEIDENHAIN a világ 49 országában általában saját leányvállalataival van jelen. Az értékes t mérnökök és a szerviztechnikusok tanácsaikkal és vev szolgálati munkájukkal a helysz nen seg tik a felhasználókat. Ez a Termékismertet áttekintést ad a HEIDENHAIN gyártási programjáról. További termékek és részletesebb információk találhatók a részletes termékdokumentációkban (lásd az 52. oldalt) vagy az interneten a www.heidenhain.de c men. Munkatársaink azonban sz vesen tájékoztatják Önt személyesen is. A c mek és a telefonszámok az 54. oldalon találhatók. 2

Tartalom Alapok és eljárások 4 Prec ziós osztások a nagy pontosság alapjai 5 Úthossz mérése 6 Burkolt útmér k Burkolat nélküli útmér k Mér tapintók Szögelfordulás mérése 20 Szögelfordulásmér k Forgóadók Szerszámgépek vezérlése 36 Pályavezérl k marógépekhez és megmunkáló központokhoz Programozó munkahely Szerszámok és munkadarabok beáll tása és mérése 44 Szerszám tapintó Munkadarab tapintók Mért értékek meghatározása és kijelzése 46 Helyzetkijelz k Méretkijelz k hosszúság és szögelfordulás méréséhez Számláló kártyák További információk 52 Tanácsadás és szerviz 54

Alapok és eljárások A HEIDENHAIN termékek kiemelked min sége speciális gyártóberendezéseket és mér eszközöket igényel. A mér lécgyártás mesterdarabjai és a munkamásolatok nagytisztaságú üzemben, különleges, stabil h mérsékletű és rezgésmentes körülmények között készülnek. A lineáris- és a körosztások el áll tásához és beméréséhez szükséges gépeket valamint a másoló berendezéseket a HEIDENHAIN többnyire saját maga fejleszti és gyártja. Mér gép a mér lécek beméréséhez Mér lécek ellen rzése a lithográfiai üzemrészben Az út- és a szögelfordulás mérés területén megszerzett méréstechnikai szakértelmet a számos, a felhasználók igényeire szabott megoldás bizony tja. Ide szám thatók a szabványügyi laboratóriumok számára kifejlesztett és megvalós tott mér - és ellen rz készülékek éppúgy, mint a teleszkópokhoz és a műholdvev antennákhoz gyártott szögelfordulásmér k. Természetesen a sorozatgyártású termékek is profitálnak ezekb l a tapasztalatokból. Szögkomparátor, mérési lépés 0,001 4 Very Large Teleskope (VLT), Paranal, Chile (Fotó ESO)

Prec ziós osztások a nagy pontosság alapjai A HEIDENHAIN mér rendszereinek lényeges alkotóelemei a mértékmegtestes t k, melyek jellemz en 0,25 μm-t l 10 μm-ig terjed struktúraszélességű osztásrácsokként jelennek meg. Ezeket a prec ziós osztásokat, melyek a mér rendszerek működése és pontossága szempontjából meghatározóak, a HEIDENHAIN által kifejlesztett eljárásokkal (pl. DIADUR vagy AURODUR) gyártják. Az osztások vonásokból és az azok közti üres sávokból állnak, melyek definiált távolsága rendk vül szoros tűrésű és melyek struktúráit az igen nagy kontúrélesség jellemzi. A definiált h mérsékletfügg viselkedésű osztások ellenállók a mechanikus és a vegyi hatásokkal szemben és érzéketlenek a rezgési és sokkszerű terhelésekre. Fázisrácsos osztás 0,25 μm-es rácsmagassággal DIADUR A DIADUR prec ziós osztások egy rendk vül vékony krómrétegnek a hordozóra többnyire üvegre vagy üvegkerámiára történ felvitelével készülnek mikrométernyi, vagy még azt is meghaladó pontossággal. AURODUR Az AURODUR osztások kitűn en fényvisszaver arany vonásokból és a köztük lév mattra maratott felületekb l állnak. Az AURODUR osztások általában acél hordozóra kerülnek. Fázisrácsos osztások Különleges gyártási eljárásokkal háromdimenziós rácsstruktúrák is kész thet k, melyek speciális optikai tulajdonságokkal rendelkeznek. Struktúraszélességük a néhány mikrométert l a negyed mikrométerig terjed. SUPRADUR A SUPRADUR eljárással készült osztások optikailag úgy hatnak, mint a háromdimenziós fázisrácsok, de s kbeli struktúrájuknak köszönhet en igencsak érzéketlenek a szennyez désekre. MAGNODUR A legfinomabb mágneses osztásokat mágnesesen akt v mikrométeres nagyságrendű vékony rétegek struktúrálásával áll tják el. DIADUR és AURODUR osztások különféle hordozó anyagokon 5

Úthossz mérése Burkolt útmér k A HEIDENHAIN burkolt útmér i melyek bels része védve van a por, a forgács és a fröccsen v z ellen kiválóan alkalmazhatók a szerszámgépeken. pontossági osztályok ± 2 μm-ig mérési lépések 0,005 μm-ig mérési hosszak 30 m-ig egyszerű és gyors felszerelhet ség nem túl szigorú szerelési tűrések nagy gyorsulási terhelhet ség védelem a szennyez dések ellen Burkolat nélküli útmér k A HEIDENHAIN burkolat nélküli útmér iben a leolvasó fej és a mér léc ill. a mér szalag között nincs mechanikus érintkezés. Ezen mér eszközök jellemz alkalmazási területe a mér gépek, komparátorok és más prec ziós hosszmér berendezések valamint pl. a félvezet gyártás termel - és mér gépei. pontossági osztályok ± 0,5 μm-ig és még jobbak mérési lépések 0,001 μm-ig (1 nm) mérési hosszak 30 m-ig nincs surlódás a leolvasó fej és a mér léc között kis méretek és csekély tömegek nagy el tolási sebesség A burkolt útmér k a mér lécház mérete szerint lehetnek: nagyprofilú útmér k magasfokú rezgésállósággal max. 30 m mérési hosszal kisprofilú útmér k szűk beép tési helyekre max. 1240 mm ill. szerel s nnel vagy rögz t elemekkel akár max. 2040 mm mérési hosszal A HEIDENHAIN burkolt útmér inek mér lécét, a leolvasó kocsit és annak vezetékét alum niumból készült ház védi a forgácstól, a portól és a fröccsen v zt l. A házat alul rugalmas töm t szalagok zárják le. A leolvasó fej csekély súrlódással halad a mér léc házában. A leolvasó kocsit a szerel talphoz kapcsoló kuplung kiegyenl ti a mér léc és a gép szánja közti futási eltéréseket. leolvasó kocsi DIADUR mér léc fényforrás 6 töm t szalagok szerel talp elektronikus leolvasás

Mér tapintók A HEIDENHAIN mér tapintóinak saját vezetékkel rendelkez tapintószáruk van. A mér tapintók jól használhatók mér eszközök ellen rzésére, az ipari méréstechnikában vagy akár útmér ként is. pontossági osztályok ± 0,1 μm-ig mérési lépések 0,005 μm-ig (5 nm) mérési hosszak 100 mm-ig nagy mérési pontosság automatizált mér szármozgatás is lehetséges egyszerű beszerelhet ség Az inkrementális útmér kben az aktuális poz ció meghatározása egy bázisponttól kiindulva mérési lépések számolásával ill. jelperiódusok aláosztásával és számolásával történik. A bázispont reprodukálhatósága érdekében a HEIDENHAIN inkrementális útmér iben referencia jelek vannak, melyeken a bekapcsolás után át kell haladni. Ez különösen egyszerűen és gyorsan megy a távolságkódolt referencia jelekkel. Már 20 mm (LS, LF) ill. 80 mm (LB) megtétele után a kijelz ismét az utoljára kijelölt bázisponttól mért távolságot fogja mutatni. A HEIDENHAIN abszolút útmér i bekapcsoláskor elmozdulás nélkül azonnal az aktuális poz cióértéket közlik. Az abszolút poz cióértékek tovább tása a mér eszközt l soros vonalon az EnDat interfésszel vagy egy másik soros interfésszel történik. Mérési lépések A táblázatokban megadott ajánlott mérési lépések els sorban a poz ciómérésekre vonatkoznak. Bizonyos alkalmazásokban, mint például közvetlen hajtások fordulatszám-szabályozásakor kisebb mérési lépéseket célszerű használni, melyek szinuszos kimen jelek nagy interpolációjával áll thatók el. Burkolt útmér k T puscsalád Oldal nagyprofilú mér lécházzal abszolút poz ció meghatározás inkrementális útmérés legnagyobb ismétélési pontosság jellemz en hagyományos gépekhez nagy mérési hosszak LC 100 LS 100 LF 100 LS 600 LB 300 8 kisprofilú mér léc házzal abszolút poz ció meghatározás inkrementális útmérés legnagyobb ismétélési pontosság jellemz en hagyományos gépekhez LC 400 LS 400 LF 400 LS 300 10 Burkolat nélküli útmér k pontossági osztály jobb, mint ± 1 μm két koordinátás mér rendszerek pontossági osztály ± 3 μm-ig LIP PP LIDA, LIF 12 13 14 Mér tapintók pontosság ± 0,1 μm pontosság ± 0,2 μm pontosság ± 0,5 μm-ig pontosság ± 1 μm HEIDENHAIN-CERTO HEIDENHAIN-METRO HEIDENHAIN-METRO HEIDENHAIN-SPECTO 16 17 18 19 7

Burkolt útmér k: LC, LF, LS, LB nagyprofilú mér lécházzal A nagyprofilú mér léc házzal készül útmér k els sorban magasfokú rezgésállóságukkal tűnnek ki. Az LC 100 t puscsalád abszolút útmér i elmozdulás nélkül adják ki az abszolút poz cióértéket. Ezen k vül inkrementális jeleket is szolgáltathatnak. A felszerelhet séget tekintve kompatibilisek az LS 100 t puscsaláddal és mechanikus felép tésük is azonos. Az LC 100 és az LS 100 mér lécek nagy pontosságuk és definiált h mérsékletfügg viselkedésük eredményeként kiválóan megfelelnek az NC szerszámgépekhez is. Az LF t puscsalád inkrementális mér rendszereit a még finomabb osztásperiódus jellemzi. Ennek megfelel en els sorban olyankor célszerű az alkalmazásuk, amikor nagy ismétlési pontosságra van szükség. Az LS 600 t puscsalád inkrementális útmér it egyszerű poz cionálási feladatokhoz, pl. hagyományos szerszámgépekhez ajánljuk. Különösen nagy, akár 30 m-es mérési utak esetére fejlesztettük ki az LB t pusú inkrementális útmér ket. Mértékmegtestes t jük az AURODUR osztással ellátott acél mér szalag egy darabból készül. A házelemek felszerelése után az acél szalagot be kell húzni a házelemekben kialak tott pályába, el re meghatározott módon meg kell fesz teni, majd mindkét végén a gépágyhoz rögz teni. LC 100 t puscsalád abszolút poz ció meghatározás definiált h mérsékletfügg viselkedés magasfokú rezgésállóság kétféle beép tési helyzet egymez s leolvasás LS 187 inkrementális útmérés definiált h mérsékletfügg viselkedés magasfokú rezgésállóság kétféle beép tési helyzet egymez s leolvasás LF 183 legnagyobb ismétlési pontosság az acélhoz vagy a szürkeöntvényhez hasonló h mérsékletfügg viselkedés magasfokú rezgésállóság kétféle beép tési helyzet egymez s leolvasás LS 600 t puscsalád jellemz en hagyományos gépekhez egyszerű felszerelhet ség LB 382 nagy mérési hosszakra, max. 30 m definiált h mérsékletfügg viselkedés magasfokú rezgésállóság kétféle beép tési helyzet egymez s leolvasás 8

Abszolút Inkrementális LC 183 LF 183 LS 187 2) LS 603 LC 193F/M 1) LS 177 1) LS 623 LB 382 Mértékmegtestes t DIADUR üveg mér léc DIADUR fázisrácsosztás acélon DIADUR üveg mér léc DIADUR üveg mér léc AURODUR acél mér szalag Inkrementális jelek opció az LC 183-nál» 1 V SS LS 187:» 1 V SS LS 177: «TTL LS 603:» 11 μa SS LS 623: «TTL» 1 V SS Jelperiódus 20 μm 4 μm 20 μm LS 177: 4 μm/2 μm 20 μm 40 μm Abszolút poz cióértékek EnDat 2.2 Fanuc/Mitsubishi Pontossági osztály ± 5 μm, ± 3 μm ± 5 μm, ± 3 μm ± 5 μm, ± 3 μm ± 10 μm ± 5 μm Ajánlott mérési lépés 0,05 0,005 μm 3) 1 0,1 μm 1 és 0,5 μm 10 és 5 μm 10 0,1 μm Mérési hossz, ML 140 4240 mm (± 3 μm 3040 mm) 140 3040 mm 170 3040 mm 440 30040 mm Referencia jel egy vagy távolságkódolt 1) el reláthatóan 2007 közepét l 2) el reláthatóan 2006 végét l 3) abszolút poz cióértékek 9

Burkolt útmér k: LC, LF, LS kisprofilú mér lécházzal A kisprofilú mér lécházzal készül útmér ket els sorban szűk beép tési helyeken használják. Az LC 400 t puscsalád abszolút útmér i elmozdulás nélkül adják ki az abszolút poz cióértéket. Ezen k vül inkrementális jeleket is szolgáltathatnak. Az LC 400 és az LS 400 mér lécek nagy pontosságuk és definiált h mérsékletfügg viselkedésük eredményeként kiválóan megfelelnek az NC szerszámgépekhez is. Az LF t puscsalád inkrementális mér rendszereit a még finomabb osztásperiódus jellemzi. Ennek megfelel en els sorban olyankor célszerű az alkalmazásuk, amikor nagy ismétlési pontosságra van szükség. Az LS 300 t puscsalád inkrementális útmér it egyszerű poz cionálási feladatokhoz, pl. hagyományos szerszámgépekhez ajánljuk. LC 400 t puscsalád abszolút poz ció meghatározás definiált h mérsékletfügg viselkedés egymez s leolvasás LS 487 inkrementális útmérés definiált h mérsékletfügg viselkedés egymez s leolvasás LF 481 legnagyobb ismétlési pontosság nagy felbontás az acélhoz vagy a szürkeöntvényhez hasonló h mérsékletfügg viselkedés egymez s leolvasás LS 300 t puscsalád jellemz en hagyományos gépekhez Egyszerű a beép tés a szerel s nnel A kisprofilú lécek beép tése szerel s n használatával rendk vül praktikus. A szerel s n már a gép ép tésekor rögz thet a géptestre. A mér lécet csak a végszereléskor kell rápattintani a szerel s nre. Szerv z esetén ugyanilyen egyszerűen cserélhet a mér léc. ütköz szerel s n mér lécház rögz t lemezrugó leolvasó fej 10

58.2 32.2 58.2 ML + 138 32.2 18 46.2 ML + 138 32.2 18 ML + 158 18 LS 388: 46.2 LS 323: 58.1 ML + 105 32.2 18 Abszolút Inkrementális LC 483 LF 481 LS 487 LC 493F/M 1) LS 477 1) LS 388C LS 323 Mértékmegtestes t DIADUR üveg mér léc DIADUR fázisrácsosztás acélon DIADUR üveg mér léc DIADUR üveg mér léc Inkrementális jelek opció az LC 483-nál» 1 V SS LS 487:» 1 V SS LS 477: «TTL LS 388C:» 1 V SS LS 323: «TTL Jelperiódus 20 μm 4 μm 20 μm LS 477: 4 μm/2 μm 20 μm Abszolút poz cióértékek EnDat 2.2 Fanuc/Mitsubishi Pontossági osztály ± 5 μm, ± 3 μm ± 5 μm, ± 3 μm ± 10 μm Ajánlott mérési lépés 0,05 0,005 μm 2) 1 0,1 μm 1 és 0,5 μm 10 és 5 μm Mérési hossz, ML 70 2040 mm 3) 50 1220 mm 70 2040 mm 3) 70 1240 mm Referencia jel egy vagy távolságkódolt; LS 388C: távolságkódolt 1) 2) 3) el reláthatóan 2007 közepét l abszolút poz cióértékek ML 1240 mm felett kizárólag szerel s nnel ill. rögz t elemekkel 11

LIP t pusú burkolat nélküli útmér k Pontossági osztály jobb, mint ± 1 μm A LIP t pusú burkolat nélküli útmér k f jellemz i a kis mérési lépések és az igen nagy pontosság. Mértékmegtestes t jük az üvegb l vagy üvegkerámiából készült osztáshordozóra felvitt fázisrácsos osztás. A LIP útmér k jellemz alkalmazási területei: mér gépek és komparátorok mér mikroszkópok ultraprec ziós gépek és berendezések, pl. optikai alkatrészek gyémántesztergái, mágneses memórialemezek s kesztergái, ferrit alkatrészek köször gépei, stb. a félvezet gyártó ipar termel - és mér berendezései az elektronikai ipar termel - és mér berendezései LIP 300-as t puscsalád a legnagyobb felbontás akár 1 nm-es mérési lépésig a rendk vül finom jelperiódusnak köszönhet en igen nagy ismétlési pontosság definiált h mérsékletfügg viselkedés a Zerodur üvegkerámia mértékmegtestes t miatt LIP 400-as t puscsalád kis méretek mérési lépések 0,005 μm-ig a mér léc különböz h tágulási együtthatókkal száll tható ML = 70 mm LIP 500-as t puscsalád mérési hosszak 1440 mm-ig mérési lépések 0,05 μm-ig Inkrementális Mértékmegtestes t h tágulási együttható Inkrementális jelek Jelperiódus LIP 382 LIP 372 DIADUR fázisrács Zerodur üvegkerámia testen Þ therm 0 10 6 K 1 LIP 382:» 1 V SS LIP 372: «TTL LIP 382: 0,128 μm LIP 372: 0,004 μm LIP 481 LIP 471 DIADUR fázisrács üvegen vagy Zerodur üvegkerámia testen Þ therm 8 10 6 K 1 (üveg) vagy Þ therm 0 10 6 K 1 (Zerodur ) LIP 481:» 1 V SS LIP 471: «TTL LIP 481: 2 μm LIP 471: 0,4 μm/0,2 μm Pontossági osztály ± 0,5 μm 1) ± 1 μm; ± 0,5 μm 1) Ajánlott mérési lépés 1 nm 1 μm 0,005 μm Mérési hossz, ML 70 270 mm 70 420 mm Referencia jel nincs egy 1) eltér pontossági osztályok külön k vánságra 12

PP t pusú burkolat nélküli útmér k két koordinátás mér rendszerek ML = 120 mm A PP két koordinátás mér rendszerek mértékmegtestes t je az üveg osztáshordozóra felvitt s k fázisrácsos struktúra. Ezáltal lehetséges a poz cióérzékelés a s kban. Alkalmazási területek: a félvezet gyártó ipar termel - és mér berendezései az elektronikai ipar termel - és mér berendezései rendk vül gyors koordináta asztalok mér gépek és komparátorok mér mikroszkópok Inkrementális LIP 581 LIP 571 DIADUR fázisrács üvegtesten Þ therm 8 10 6 K 1 LIP 581:» 1 V SS LIP 571: «TTL LIP 581: 4 μm LIP 571: 0,8 μm/0,4 μm Mértékmegtestes t h tágulási együttható Inkrementális jelek Jelperiódus Pontossági osztály PP 281 PP 271 DIADUR fázisrács üvegtesten Þ therm 8 10 6 K 1 PP 281:» 1 V SS PP 271: «TTL PP 281: 4 μm PP 271: 0,8 μm/0,4 μm ± 2 μm ± 1 μm Ajánlott mérési lépés 0,01 μm-ig 1 μm 0,05 μm 70 1440 mm egy vagy távolságkódolt Mérési tartomány Referencia jel 68 mm x 68 mm; eltér mérési tartományok külön k vánságra mérési irányonként egy 13

LIF és LIDA t pusú burkolat nélküli útmér k pontossági osztályok ± 3 μm-ig A LIF és a LIDA t pusú burkolat nélküli útmér k f jellemz je az egyszerű szerelhet ség. Jellemz alkalmazási területeik: koordináta mér gépek ellen rz gépek beültet automaták nyomtatott áramköri lapokat fúró gépek prec ziós átrakó gépek poz ció- és sebességérzékelés lineáris motorokban LIF 400-as t puscsalád gyors és egyszerű mér lécrögz tés a HEIDENHAIN PRECIMET szerel filmmel a SUPRADUR osztásnak köszönhet en érzéketlen a szennyez désekre nagy ismétlési pontosság definiált h mérsékletfügg viselkedés rövid szerelési id helyzetfelismerés végálláskapcsolókkal és Homing-sávval A LIF útmér k mértékmegtestes t je az üveg hordozóra SUPRADUR eljárással felvitt fázisrácsos osztás. A kis jelperiódus nagy ismétlési pontosságot tesz lehet vé. A LIDA útmér k mértékmegtestes t je AURODUR acél mér szalag. A LIDA t pusok kiválóan megfelelnek nagy el tolási sebességek esetén, akár 8 m/s-ig. A különleges leolvasási módszernek köszönhet en érzéketlenek a mér léc szennyez déseire és a szerelési felület egyenetlenségeire. Inkrementális LIF 481 LIF 471 Mértékmegtestes t h tágulási együttható Inkrementális jelek Jelperiódus Pontossági osztály Ajánlott mérési lépés Mérési hossz, ML Referencia jel SUPRADUR fázisrács üvegtesten (ML 270 mm-t l: DIADUR fázisrács üvegtesten Þ therm 8 10 6 K 1 LIF 481:» 1 V SS LIF 471: «TTL LIF 481: 4 μm LIF 471: 0,04 μm/0,08 μm/0,2 μm/0,4 μm/0,8 μm ± 3 μm 1 μm 0,1 μm 70 1020 mm (3040 mm-ig külön k vánságra) egy 14

LIDA 101-es t puscsalád egyrészes acél mér léc nagy el tolási sebesség LIDA 181 LIDA 405-ös t puscsalád nagy mérési hosszak, max. 30 m nagy el tolási sebesség mér szalagtartókban megvezetett egyrészes AURODUR acél mér szalag definiált módon megfesz tett és a végeken a géptesthez rögz tett mér szalag integrált végálláskapcsolók LIDA 485 LIDA 407-es t puscsalád gyors és egyszerű mér lécrögz tés a HEIDENHAIN PRECIMET szerel filmmel nagy el tolási sebesség mér szalagtartókban megvezetett egyrészes AURODUR acél mér szalag a mér léc középen való rögz tése definiált h mérsékletfügg viselkedést eredményez integrált végálláskapcsolók LIDA 487 Inkrementális LIDA 181 LIDA 171 LIDA 485 LIDA 475 LIDA 487 LIDA 477 Mértékmegtestes t h tágulási együttható Inkrementális jelek Jelperiódus AURODUR acél mér szalag Þ therm 10 10 6 K 1 LIDA 181» 1 V SS LIDA 171: «TTL LIDA 181: 40 μm LIDA 171: 4 μm/8 μm LIDA 48x:» 1 V SS LIDA 47x: «TTL LIDA 48x: 20 μm LIDA 47x: 0,2 μm/0,4 μm/2 μm/4 μm Pontossági osztály ± 5 μm, ± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm Ajánlott mérési lépés 1 μm 0,1 μm 1 μm 0,1 μm 1 μm 0,1 μm Mérési hossz, ML 220 2040 mm 140 30040 mm 240 6040 mm Referencia jel egy; LIDA 1x1: egy vagy távolságkódolt 15

HEIDENHAIN CERTO mér tapintók pontosság ± 0,1 μm A HEIDENHAIN CERTO mér tapintók f jellemz i a nagy mérési hossz, a nagy lineáris pontosság és a nanométeres felbontás. Túlnyomórészt nagypontosságú egyedi alkatrészek ellen rzésére, valamint mér etalonok felügyeletére és kalibrálására használatosak. Mér hasábok kalibrálásakor csökkenthet a szabványos alapméretek száma. Pontosság A HEIDENHAIN CERTO mér tapintók pontossága jobb, mint ± 0,1 μm. A követ elektronikában pl. az ND 281B méretkijelz ben végzett lineáris hibakorrekcióval a HEIDENHAIN ± 0,03 μm pontosságot garantál a CT 2500, ill. ± 0,05 μm pontosságot a CT 6000 t pusok esetében. Ezek a pontossági értékek a CS 200 t pusú HEIDENHAIN CERTO mér állvány használatakor a teljes mérési hosszra, 19 és 21 C közötti h mérsékletre és a mérés közben legfeljebb ± 0,1 K h mérsékleti ingadozásra érvényesek. A mér csap mozgatása A CT 2501 és a CT 6001 mér csapjait beép tett motor mozgatja kifelé és befelé. A működtetés külön vezérl készülékkel történik, amely távvezérelhet is. A CT 2502 és a CT 6002 nem tartalmaz motoros hajtást. A szabadon mozgó tapintószárat egy kuplungon keresztül lehet az elmozduló gépelemhez kapcsolni. A felszerelés A CT 2500 mér tapintók 16 mm-es hengeres befogószárukkal rögz thet k. A CT 6000 t pusok két csavarral rögz thet k egy s k felületre. Inkrementális CT 2501 CT 2502 CT 6001 CT 6002 Mértékmegtestes t Inkrementális jelek Jelperiódus Rendszerpontosság 1) Ajánlott mérési lépés DIADUR fázisrács Zerodur üvegkerámia testen h tágulási együttható: Þ therm 0 ± 0,1 10 6 K 1» 11 μa SS 2 μm ± 0,1 μm ± 0,1 μm ± 0,03 μm 2) ± 0,05 μm 2) 0,01 μm és 0,005 μm az ND 281B kijelz vel Mérési út 25 mm 60 mm Mér csapmozgatás motorral csatlakoztatással motorral csatlakoztatással Referencia jel egy 1) 19 és 21 C között; a mérés közben megengedett h mérsékleti ingadozás: ± 0,1 K 2) a kiértékel elektronika lineáris hibakorrekciójával 16

HEIDENHAIN METRO mér tapintók pontosság ± 0,2 μm Az MT 1200 és az MT 2500 t pusú HEIDENHAIN METRO mér tapintók nagy pontosságuk és kis jelperiódusuk miatt különösen alkalmasak pontos mér munkahelyeken és ellen rz készülékekben való használatra. Tapintószáruk golyós vezetésű, ezért nagy keresztirányú terheléseket is képesek elviselni. A mér csap mozgatása Az MT 12x1 és az MT 25x1 mér tapintókban lév rugó a tapintószárat alaphelyzetben kitolt állapotban tartja. A különleges kivitelként rendelhet rugó nélküli változat különösen kis mér er vel terheli a mérend objektumot. Az MT 1287 és az MT 2587 pneumatikus mér tapintók tapintószárát egy rugó alaphelyzetben behúzott állapotban tartja. Sűr tett leveg hatására a tapintószár elindul kifelé, m g el nem éri a mérend tárgyat. A felszerelés Az MT 1200 és az MT 2500 mér tapintókat a szabványos 8h6 befogószárral lehet rögz teni. A tartozékként száll tható felfogó derékszög seg tségével a mér tapintók a HEIDENHAIN MS 200 mér állványra vagy más s k felületre is felszerelhet k. Inkrementális MT 1201 MT 1271 MT 1281 MT 1287 MT 2501 MT 2571 MT 2581 MT 2587 Mértékmegtestes t DIADUR fázisrács Zerodur üvegkerámia testen h tágulási együttható: Þ therm 0 ± 0,1 10 6 K 1 Inkrementális jelek» 11 μa SS «TTL» 1 V SS» 11 μa SS «TTL» 1 V SS Jelperiódus 2 μm 0,4 μm vagy 0,2 μm 2 μm 0,4 μm vagy 0,2 μm 2 μm Rendszerpontosság Ajánlott mérési lépés ± 0,2 μm 0,5 μm 0,05 μm Mérési út 12 mm 25 mm Mér csapmozgatás Referencia jel MT 12x1/MT 25x1: huzalos emel vel vagy szabadon MT 1287/MT 2587: pneumatikusan egy 17

HEIDENHAIN METRO mér tapintók pontosság ± 0,5 μm A HEIDENHAIN METRO MT 60 és MT 101 mér tapintók f felhasználási területe nagy mérési tartományuk és nagy pontosságuk miatt a bejöv áruk ellen rzése, a gyártás közbeni mérések és a min ségellen rzés, vagyis minden olyan eset, amikor nagyon eltér méretű alkatrészeket kell megvizsgálni. De nagypontosságú helyzetmér eszközökként egyszerűen felszerelhet k adagoló készülékekre vagy koordináta asztalokra is. A mér csap mozgatása Az M jelű mér tapintókban van egy beép tett miniatűr villanymotor, ami a tapintószárat kifelé és befelé mozgatja. M g az MT 101M t pus állandó mér er vel működik, az MT 60M esetében a mér er három fokozatban áll tható. A K jelű mér tapintókban nincs motor; tapintószáruk szabadon mozgatható. A szabadon mozgó tapintószárat egy kuplungon keresztül lehet az elmozduló gépelemhez (pl. adagoló szán, koordináta asztal) kapcsolni. A felszerelés A mér tapintók két csavarral rögz thet k egy s k felületre. Az M jelű mér tapintókhoz a HEIDENHAIN az MS 100 és az MS 200 t pusú mér állványokat tartozékként száll tja. Inkrementális MT 60M MT 60K MT 101M MT 101K Mértékmegtestes t Inkrementális jelek Jelperiódus DIADUR osztás üvegkerámián» 11 μa SS 10 μm Rendszerpontosság ± 0,5 μm ± 1 μm Ajánlott mérési lépés 1 μm 0,1 μm Mérési út 60 mm 100 mm Mér csapmozgatás motorral csatlakoztatással motorral csatlakoztatással Védettség IP 50 Referencia jel egy 18

HEIDENHAIN SPECTO mér tapintók pontosság ± 1 μm A HEIDENHAIN SPECTO mér tapintók kompakt méreteik miatt különösen alkalmasak több ponton mér készülékekben és ellenörz munkahelyeken való használatra. A mér csap mozgatása Az ST 12x8 és az ST 30x8 mér tapintókban lév rugó a tapintószárat alaphelyzetben kitolt állapotban tartja. Az ST 12x7 és az ST 30x7 pneumatikus mér tapintók tapintószárát egy rugó alaphelyzetben behúzott állapotban tartja. Sűr tett leveg hatására a tapintószár elindul kifelé, m g el nem éri a mérend tárgyat. A felszerelés A HEIDENHAIN SPECTO mér tapintókat a szabványos 8h6 befogószárral lehet rögz teni. Inkrementális ST 1208 ST 1207 ST 1278 ST 1277 ST 1288 ST 1287 ST 3008 ST 3007 ST 3078 ST 3077 ST 3088 ST 3087 Mértékmegtestes t DIADUR üveg mér léc Inkrementális jelek» 11 μa SS «TTL» 1 V SS» 11 μa SS «TTL» 1 V SS Jelperiódus 20 μm 4 μm vagy 2 μm 20 μm 4 μm vagy 2 μm 20 μm Rendszerpontosság Ajánlott mérési lépés ± 1 μm 1 μm 0,2 μm Mérési út 12 mm 30 mm Mér csapmozgatás ST 12x8/ST 30x8: a munkadarab által ST 12x7/ST 30x7: pneumatikusan Védettség IP 64 Referencia jel egy 19

Szögelfordulás mérése Szögelfordulásmér k A HEIDENHAIN szögelfordulásmér i igen nagy pontosságukkal (szögmásodpercnyi vagy még annál is jobb) tűnnek ki. F alkalmazási területük a szerszámgépek körasztalai és billen fejei, osztókészülékek, nagypontosságú szögelfordulásmér asztalok, a szögmérés prec ziós készülékei, antennák és teleszkópok. jellemz vonásszámok 9000 és 90000 között pontosság ± 5 -t l ± 0,4 -ig mérési lépések 0,00001 -ig ill. 0,036 -ig (inkrementális) vagy 29 bit ill. kb. 536 millió poz ció körülfordulásonként (abszolút) Forgóadók A HEIDENHAIN forgóadók forgómozgás, szögsebesség és mechanikus mértékmegtestes t kkel, mint pl. golyósorsókkal összekapcsolva lineáris mozgások mértékének meghatározására szolgálnak. Alkalmazási területeik: elektromos hajtások, szerszámgépek, nyomdagépek, famegmunkáló gépek, textilgépek, robotok és átrakó berendezések, valamint a legkülönböz bb mér - és ellen rz készülékek. jellemz vonásszámok 50 és 5000 között pontosság ± 12 -ig (a vonásszámtól függ en, az osztásperiódus ± 1/20 részének megfelel en) mérési lépések 0,001 -ig. A sz nuszos inkrementális jelek kiváló min sége nagy interpolációt tesz lehet vé a digitális hajtásszabályzás számára 20

Beép tési lehet ségek A saját csapágyazással és státorkuplunggal rendelkez szögelfordulásmér k és forgóadók osztástárcsája közvetlenül kapcsolódik a mérend tengelyhez. A leolvasó egység golyóscsapággyal csatlakozik a tengelyhez és a státorkuplung rögz ti a mérend tengely házához. A státorkuplungnak a szöggyorsulások esetén csak a csapágy súrlódásából származó forgatónyomatékot kell felvennie s ezáltal úgy a statikus, mint a dinamikus méreteltérések minimalizálhatók. Ezen k vül az állórészre rögz tett kuplung kiegyenl ti a hajtó tengely axiális mozgásait is. A státorkuplung további el nyei: egyszerű felszerelhet ség rövid szerkezeti hossz a csatlakozás nagy saját frekvenciája átmen furatos tengely is lehetséges A külön kuplungos alkalmazásra tervezett szögelfordulásmér knek és forgóadóknak teli tengelye van. A mérend tengelyhez való csatlakoztatásra ajánlott kuplungok kiegyenl tik a radiális és az axiális eltéréseket. A küls kuplungos szögelfordulásmér k általában nagyobb fordulatszámon használhatók. A saját csapágyazás nélküli szögelfordulásmér k és forgóadók súrlódásmentesen működnek. Két f alkotórészüket a leolvasó fejet és az osztástárcsát, az osztásdobot vagy a mér szalagot beép téskor egymáshoz képest finoman be kell szabályozni. El nyeik: szűk helyekre is beép thet k nagy áteresztésű cs tengelyek magas fordulatszámok nincs indulási nyomatékigény Az inkrementális szögelfordulásmér kben és forgóadókban az aktuális poz ció meghatározása egy bázisponttól kiindulva mérési lépések számolásával ill. jelperiódusok aláosztásával és számolásával történik. A bázispont reprodukálhatósága érdekében a HEIDENHAIN inkrementális mér rendszereiben referencia jelek vannak, melyeken a bekapcsolás után át kell haladni. A kommutáló jeleket is szolgáltató inkrementális forgóadók forgómozgás nélkül képesek megfelel pontosságú fázishelyes jelet adni egy állandó mágneses gerjesztésű váltóáramú motor forgó mez jének a tengelyhez képesti poz ciójáról. A HEIDENHAIN abszolút szögelfordulásmér i és forgóadói bekapcsoláskor elmozdulás nélkül azonnal az aktuális poz cióértéket közlik. Az egy kódtárcsás készülékek egy körülforduláson belül közlik az aktuális szöghelyzet értékét, m g a több kódtárcsás forgóadók több körülfordulást is képesek megkülönböztetni. A HEIDENHAIN abszolút szögelfordulásmér i és forgóadói a poz cióértékeket soros vonalon EnDat, SSI, PROFIBUS- DP vagy más tovább tják a követ elektronikának. A kétirányú EnDat intefész ill. a PROFIBUS-DP támogatja az automatikus üzembehelyezési, valamint a felügyeleti és diagnózis funkciókat. Szögelfordulásmér k T puscsalád Oldal saját csapágyazással és integrált státorkuplunggal abszolút (egy kódtárcsás) inkrementális RCN RON, RPN 22 saját csapágyazással, küls kuplung használatához inkrementális ROD 24 Forgóadók saját csapágyazás nélkül inkrementális ERP, ERO, ERA, ERM 25, 26 saját csapágyazással, sátorkuplungos felszereléshez abszolút (egy kódtárcsás) abszolút (több kódtárcsás) inkrementális ECN EQN ERN 28, 30 saját csapágyazással, küls kuplung használatához abszolút (egy kódtárcsás) abszolút (több kódtárcsás) inkrementális ROC ROQ ROD 32 saját csapágyazás nélkül abszolút (egy kódtárcsás) abszolút (több kódtárcsás) inkrementális ECI EQI ERO 34 21

Szögelfordulásmér k: RCN, RON, RPN saját csapágyazással és integrált státorkuplunggal Az RCN, RON és az RPN saját csapágyazással és integrált státorkuplunggal ellátott szögelfordulásmér ket a statikus és dinamikus pontosságuk miatt el szeretettel alkalmazzák nagy prec zitást igényl esetekben, pl. körasztalokban és billen tengelyeken. A státorkuplungos készülékek megadott pontossága már tartalmazza a kuplung pontatlanságának befolyását is. A küls kuplungos szögelfordulásmér k esetében a rendszerpontosság meghatározásakor a kuplung hibáját is figyelembe kell venni. RCN/RON 200 t puscsalád kompakt ép tési mód robosztus kialak tás jellemz alkalmazás körasztalokban és billen asztalokban poz cionálásra és sebességszabályzáshoz mérési lépések 0,0001 -ig nemesacél házas változatok (pl. antennákhoz) külön k vánságra RCN/RON 700 és RCN/RON/RPN 800 t puscsalád nagy áteresztésű cs tengelyek, max. 100 mm mérési lépések 0,00001 -ig ± 2 és ± 1 rendszerpontosság mellett jellemz alkalmazás kör- és szögelfordulásmér asztalokban, osztókészülékekben, mér berendezésekben, képszkennerekben, stb. nemesacél házas változatok (pl. antennákhoz) külön k vánságra RON 785 D RON 786/886, RPN 886 D = 60 mm RCN 700/800 D = 60 mm vagy 100 mm RON 905 nagypontosságú szögelfordulásmér mérési lépések 0,00001 -ig rendszerpontosság ± 0,4 alkalmazás nagypontosságú mér berendezésekben és mér eszköz felügyelethez 22