Tűkristályképződés elektronikai csatlakozó felületeken

Hasonló dokumentumok
Ón-tűkristály képződés és növekedés vizsgálata ipari csatlakozó berendezésen

ÓN-WHISKER KÉPZŐDÉS AZ ELEKTRONIKÁBAN

Környezetbiztonságos elektronikai csatlakozófelületek megbízhatóságának vizsgálata tűkristályképződés szempontjából. PhD Értekezés

A nikkel tartalom változásának hatása ólommentes forraszötvözetben képződő intermetallikus vegyületfázisokra

A vizsgált anyag ellenállása az adott geometriájú szúrószerszám behatolásával szemben, Mérnöki alapismeretek és biztonságtechnika

FELÜLETI HIBAJELENSÉGEK ELEKTRONIKUS ESZKÖZÖKBEN (NNA-P2-T2) PEJ BESZÁMOLÓ

Hősokk hatására bekövetkező szövetszerkezeti változások vizsgálata ólommal szennyezett forraszanyag esetén.

Elektronikus áramkörök megbízhatósági problémáinak metallurgiai elemzése

Kiss László Blog:


Nagynyomású csavarással tömörített réz - szén nanocső kompozit mikroszerkezete és termikus stabilitása

Amorf/nanoszerkezetű felületi réteg létrehozása lézersugaras felületkezeléssel

2. Tantermi Gyakorlat A szerkezeti anyagok tulajdonságai és azok vizsgálata Nyomóvizsgálat, hajlítóvizsgálat, keménységmérés

Laborgyakorlat. Kurzus: DFAL-MUA-003 L01. Dátum: Anyagvizsgálati jegyzőkönyv ÁLTALÁNOS ADATOK ANYAGVIZSGÁLATI JEGYZŐKÖNYV

Modern Fizika Labor. 2. Elemi töltés meghatározása

Diffúzió. Diffúzió sebessége: gáz > folyadék > szilárd (kötőerő)

Nanokeménység mérések

Az alakítással bevitt energia hatása az ausztenit átalakulási hőmérsékletére

Építményeink védelme március 27. Acélfelületek korrózió elleni védelme fémbevonatokkal

Anyagszerkezet és vizsgálat

Dankházi Z., Kalácska Sz., Baris A., Varga G., Ratter K., Radi Zs.*, Havancsák K.

Textíliák felületmódosítása és funkcionalizálása nem-egyensúlyi plazmákkal

FÉMÖTVÖZETEK HŐKEZELÉSE

A II. kategória Fizika OKTV mérési feladatainak megoldása

POLIMERTECHNIKA Laboratóriumi gyakorlat

Diffúzió 2003 március 28

Réz - szén nanocső kompozit mikroszerkezete és mechanikai viselkedése

A forgácsolás alapjai

Akusztikus aktivitás AE vizsgálatoknál

Baris A. - Varga G. - Ratter K. - Radi Zs. K.

A beton kúszása és ernyedése

Kvartó elrendezésű hengerállvány végeselemes modellezése a síkkifekvési hibák kimutatása érdekében. PhD értekezés tézisei

ANYAGTUDOMÁNY ÉS TECHNOLÓGIA TANSZÉK. Anyagismeret 2016/17. Szilárdságnövelés. Dr. Mészáros István Az előadás során megismerjük

Elsőként ellenőrizzük, hogy a 2,5mm átmérőjű golyóval vizsgálható-e az adott vastagságú próbadarab.

MEMS, szenzorok. Tóth Tünde Anyagtudomány MSc

Plazmasugaras felülettisztítási kísérletek a Plasmatreater AS 400 laboratóriumi kisberendezéssel

Anyagvizsgálatok. Mechanikai vizsgálatok

Előzmények. a:sige:h vékonyréteg. 100 rétegből álló a:si/ge rétegrendszer (MultiLayer) H szerepe: dangling bond passzíválása

Mikrohullámú abszorbensek vizsgálata

Röntgen-gamma spektrometria

XXI. Nemzetközi Gépészeti Találkozó - OGÉT 2013

azonos sikban fekszik. A vezetőhurok ellenállása 2 Ω. Számítsuk ki a hurok teljes 4.1. ábra ábra

Atomi er mikroszkópia jegyz könyv

PhD beszámoló. 2015/16, 2. félév. Novotny Tamás. Óbudai Egyetem, június 13.

Korrodált acélszerkezetek vizsgálata

A vörösréz és az S235J2G3 szénacél korróziója transzformátorolajokban

Mikropillárok plasztikus deformációja 3.

NYÁK technológia 2 Többrétegű HDI

3. Laboratóriumi gyakorlat A HŐELLENÁLLÁS

BME ANYAGTUDOMÁNY ÉS. Mechanikai anyagvizsgálat. Szakítóvizsgálat. A legelterjedtebb roncsolásos vizsgálat

Acélok nem egyensúlyi átalakulásai

Fémötvözetek hőkezelése ANYAGMÉRNÖKI ALAPKÉPZÉS (BSc) Hőkezelési szakirány

Kontakt korrózió vizsgálata

Diffúzió. Diffúzió. Diffúzió. Különféle anyagi részecskék anyagon belüli helyváltoztatása Az anyag lehet gáznemű, folyékony vagy szilárd

AZ ÓN WHISKEREK NÖVEKEDÉSÉNEK

MÁGNESES TÉR, INDUKCIÓ

4. feladat Géprajz-Gépelemek (GEGET224B) c. tárgyból a Műszaki Anyagtudományi Kar, nappali tagozatos hallgatói számára

7.1. Al2O3 95%+MLG 5% ; 3h; 4000rpm; Etanol; ZrO2 G1 (1312 keverék)

A kísérlet, mérés megnevezése célkitűzései: Váltakozó áramú körök vizsgálata, induktív ellenállás mérése, induktivitás értelmezése.

Hidrogénezett amorf Si és Ge rétegek hőkezelés okozta szerkezeti változásai

Havancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények

Ipari jelölő lézergépek alkalmazása a gyógyszer- és elektronikai iparban

MŰANYAGOK TULAJDONSÁGAI

Szakmai nap Nagypontosságú megmunkálások Nagypontosságú keményesztergálással előállított alkatrészek felület integritása

MEMBRÁNKONTAKTOR ALKALMAZÁSA AMMÓNIA IPARI SZENNYVÍZBŐL VALÓ KINYERÉSÉRE

ANYAGTUDOMÁNY ÉS TECHNOLÓGIA TANSZÉK Fémek technológiája

TOL A MEGYEI SZILÁRD LEÓ FIZIKAVERSE Y Szekszárd, március óra 11. osztály

Ejtési teszt modellezése a tervezés fázisában

Fogorvosi anyagtan fizikai alapjai 6.

Molekuláris dinamika I. 10. előadás

ÁGAZATI SZAKMAI ÉRETTSÉGI VIZSGA KÖZLEKEDÉSGÉPÉSZ ISMERETEK KÖZÉPSZINTŰ ÍRÁSBELI VIZSGA MINTAFELADATOK

Alumínium ötvözetek aszimmetrikus hengerlése

Anyagismeret a gyakorlatban (BMEGEPTAGA0) KEMÉNYSÉGMÉRÉS

3. METALLOGRÁFIAI VIZSGÁLATOK

KIVÁLÓ MINŐSÉG, GYÖNYÖRŰ BEVONAT!

Fémtechnológiák Fémek képlékeny alakítása 1. Mechanikai alapfogalmak, anyagszerkezeti változások

Szilárdságnövelés. Az előkészítő témakörei

Fogorvosi anyagtan fizikai alapjai 5. Általános anyagszerkezeti ismeretek Fémek, ötvözetek

Anyagismeret 2016/17. Diffúzió. Dr. Mészáros István Diffúzió

5. Az adszorpciós folyamat mennyiségi leírása a Langmuir-izoterma segítségével

e-gépész.hu >> Szellőztetés hatása a szén-dioxid-koncentrációra lakóépületekben Szerzo: Csáki Imre, tanársegéd, Debreceni Egyetem Műszaki Kar

Folyadékszcintillációs spektroszkópia jegyz könyv

Függőleges és vízszintes vasalás hatása a téglafalazat nyírási ellenállására

Szemcsehatárcsúszás és sebességérzékenységi tényező ultra-finomszemcsés Al-30Zn ötvözet plasztikus deformációjában. Visegrád 2011

FOK Fogorvosi anyagtan fizikai alapjai tárgy kolokviumi kérdései 2012/13-es tanév I. félév

A tételhez használható segédeszköz: Műszaki táblázatok. 2. Mutassa be a különböző elektródabevonatok típusait, legfontosabb jellemzőit!

TECHNIKAI ADATLAP 1. SZAKASZ AZ ANYAG/KEVERÉK ÉS A VÁLLALAT/VÁLLALKOZÁS AZONOSÍTÁSA:

Vizsgálatok Scanning elektronmikroszkóppal

Műszerezett keménységmérés alkalmazhatósága a gyakorlatban

Vékonyréteg szerkezetek mélységprofil-analízise

2. Laboratóriumi gyakorlat A TERMISZTOR. 1. A gyakorlat célja. 2. Elméleti bevezető

SF 3-6-T2. Az kenőanyag és a sínkenő berendezés MÁV nyílttéri tesztelése. The Ultimate Lubricant

PhD DISSZERTÁCIÓ TÉZISEI

Hőkezelő- és mechanikai anyagvizsgáló laboratórium (M39)

Anyagismeret tételek

Új utakon a folyamatos tűzi mártó szalaghorganyzás

MAGYAR RÉZPIACI KÖZPONT Budapest, Pf. 62 Telefon , Fax

Fotoindukált változások vizsgálata amorf félvezető kalkogenid arany nanorészecskéket tartalmazó rendszerekben

Milyen simaságú legyen a minta felülete jó minőségű EBSD mérésekhez

Több komponensű brikettek: a még hatékonyabb hulladékhasznosítás egy új lehetősége

Átírás:

Kerpely Antal Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Tűkristályképződés elektronikai csatlakozó felületeken PhD Értekezés tézisei Szerző: Radányi László Ádám okl. Kohómérnök Tudományos vezető: Gácsi Zoltán Egyetemi tanár Miskolci Egyetem Műszaki Anyagtudományi Kar Miskolc, 2019.

I. Bevezetés, a kutatási téma ismertetése Az elmúlt évtizedekben fokozatosan kiszorultak a hagyományos ón-ólom alapanyagú forrasztó és bevonatoló alapanyagok az elektronikai iparból, és helyüket átvették az ólommentes technológiák. Az átállás, -ahogy minden új technológia bevezetése folyamán- természetesen nem volt problémamentes. Az egyik, újból megjelenő gond az ón tűkristály képződése volt (1. ábra). 1. ábra Csatlakozó felületen, terhelési szimuláció során megjelenő ón-tűkristály Maga a jelenség már jól ismert volt az elmúlt évtizedekben is a tudományos világban. A tűkristályképződés jelenségét 1946-ban fedezték fel, Cd bevonatú kondenzátor fegyverzeteken [Cobb, 1946]. Ezután nem sokkal 1951-ben a Bell laboratóriumában megfigyelték, hogy a spontán tűkristály képződés nem csupán galvanikus Cd bevonatokon jöhet létre, hanem galvanikus cink és ón bevonatokon is [Compton és Társai, 1951]. Arnold 1956-ban a fém felületet neutron bombázásnak vetette alá.[arnold, 1956] 30 napon keresztül bombázták a felületet 10 12 cm -2 sec -1 neutron fluxussal. A mintákat 12 hónap múlva megvizsgálták és azt tapasztalták, hogy a besugárzott mintákon nagyszámú tűkristály képződött, míg a nem besugárzott mintákon csak kevés tűkristály keletkezett. Egy másik, 1956-os tanulmányában, Arnold publikált egy tanulmányt melyben felhívja a figyelmet az Sn bevonatolóanyag ólommal való ötvözésére, mint lehetséges tűkristály megelőzésre [Arnold, 1956/2]. Megjegyezte viszont, hogy nagy nyomás alatt képződnek tűkristályok függetlenül az ólom koncentrációtól. Ennek ellenére, publikációja eredményeként az Egyesült Államok elektronikai iparában az ólom ötvözés vált az uralkodó tűkristály megelőzési módszerré. 1963-ban Glazunova és Kudryavtsev megállapították, hogy tűkristályok nem nőnek nagyon vékony Sn bevonatokon (kb. 0,5 µm) [Glazunova, 1963]. Réz alaphordozó fém esetén 2-5 µm rétegvastagságnál, acél hordozófém esetén 5-10 µm rétegvastagságnál volt a maximális a tűkristály növekedés sebessége. Sárgaréz hordozófém esetén ez az érték még 20 mikrométer rétegvastagságnál is magas maradt. Glazunova és Kudryavtsev számolt be először arról, hogy bevonatolás utáni hőkezelés hatására minden esetben (100-180 C ; 1-24 h) csökken a tűkristályosodási hajlandóság. 1974-ben jelent meg S.C. Britton publikációja, melyben összegzi az addigi körülbelül 20 éves kutatási tapasztalatokat [Britton, 1974]. Megemlíti, hogy tűkristály megelőzés céljából a sárgaréz alapanyagú hordozó fém, valamint az ón bevonat közé célszerű nikkel vagy réz réteget felvinni. Tiltja a fényes ón réteg használatát, minimum 8 mikrométeres rétegvastagságot javasol galvanikus ón bevonatok esetén. Ezen felül egy órás hőkezelést javasol 180 és 200 C között. Az alapanyag pórusait meg kell óvni a korróziótól, ugyanis ez később további feszültségeket gerjeszthet a rétegben. Amennyiben van lehetőség a

kevésbé forrasztható és alakítható ón-nikkel ötvözet (65% ón) használatára bevonatként, akkor ez is egy jó megoldás a megelőzésre. Ahol rövidzárlat veszélyével kell számolni célszerű szerves réteget is felvinni (pl. gyanta). Ebben a publikációban jelenik meg a tűkristályok eltávolítása vákuum segítségével, mellyel esetleg meg lehet javítani egy károsodott készüléket. 1973-ban K.N. Tu felfedezte a Cu 6Sn 5 intermetallikus réteg szerepét a tűkristály képződésben [Tu, 1973]. 1982-ben T. Kakeshita és munkatársai megállapították, hogy összefüggés van a szemcseméret nagysága és a tűkristályképződés között [Kakeshita és Társai, 1982]. 1994-ben megalkották a repedt oxidréteg elméletet [Tu, 1994]. (Ahol meggyengül, esetleg átreped az oxid réteg ott ón tűkristályok növekedhetnek a belső feszültséget levezetendő. 1998-ban Megállapították, hogy azokból a szemcsékből nőnek a tűkristályok, melyeknek az orientációja jelentősen eltér a réteg fő orientációjától [Lee, 1998]. 2010-ben Illés Balázs és munkatársai erősen oxidáló környezetben vizsgálták meg és hasonlították össze az ezüst és a nikkel közbenső fémréteg hatását a tűkristályok képződésére és növekedésére [Illés és Társai, 2010]. Az ezüst közbenső fémréteg esetén sokkal hosszabb tűkristályok képződtek bizonyos terhelési idők után, mint a nikkel közbenső fémréteggel bevont mintákon. 2013-as publikációjukban Horváth Barbara 4 és 5 % Cu tartalomnál vizsgálták a felületi ötvözés lehetőségét. [Horváth és Társai, 2013]. A kész mintákat 85 Celsius fokon 85% relatív páratartalom mellett tartották 2400 órán keresztül, és megvizsgálták a kialakult tűkristályokat. Kísérleteikből megállapítható, hogy 2400 órányi klímakamrában történő tárolás után az 1% Cu-t tartalmazó ötvözeten keletkeztek a legrövidebb tűkristályok, a 2% Cu-t tartalmazó ötvözeten pedig körülbelül olyan mértékben, mint az ötvözetlen ónon. A 3-4-5 % Cu ötvözeten kivétel nélkül több tűkristály képződött, mint az ötvözetlen esetben, feltételezhetően a magasabb rácsfeszültség és a magasabb bevonatolási technológiai hőmérséklet miatt. Összefoglalva a tudományos eredményeket, megállapítható, hogy valamilyen jellegű feszültséget juttatnak az ón-rétegbe, melynek hatására már vizsgálható tűkristályok jelennek meg. Megfigyeléseim szerint sok esetben nem reprodukálhatóak a szakirodalmi eredmények, ezért célom volt kutatásaim során a kísérletek reprodukálhatóságának javítása. A leggyakrabban alkalmazott feszültségek a termikus, a mechanikus, illetve az elektromos feszültség. Kísérleteim során a nagy feszültségkoncentráció miatt elsősorban a mechanikus feszültséget alkalmaztam, ugyanis ennek hatására nagy sebességű és intenzív tűkristály képződést és növekedést lehet megfigyelni.

II. Tudományos célkitűzés A szakirodalmi összefoglalóból világosan látható, hogy több területen van még tisztázandó tudományos kérdés. Dolgozatom célkitűzése, hogy az alább megfogalmazott kérdésekre a lehető legpontosabb válaszok születhessenek meg. 1. Célom pontosabban is meghatározni, hogy a mechanikai feszültség hatására bekövetkező képlékeny alakváltozás hogyan befolyásolja a tűkristályok képződését? Van-e változás, ha az alakváltozást (mechanikai feszültség alkalmazását) elektromos feszültség is kíséri? 2. Befolyásolja-e és ha igen, milyen módon az ón réteg előzetes hőkezelése a tűkristály képződés és növekedés intenzitását? Célom erre a kérdésre választ találni. 3. Rengeteg a kísérleti eredményeket befolyásoló tényező. Ezért fontos, hogy a kutatási témához kapcsolódó kísérletek reprodukálhatóságát növelni lehessen. Erre keresek választ és lehetőségeket, valamint arra, hogy az elektromos/elektronikus csatlakozó felületeken milyen berendezéssel valósítható meg a csatlakozás és a tűkristály képződés szimulációja a leginkább reprodukálható módon? 4. Van-e, és ha igen, milyen hatása a nirogén valamint a hélium ionokkal történő besugárzásnak a tűkristályképződésre? Ha igen, milyen módon lehet a hatásmechanizmust meghatározni? 5. Lehetséges-e és ha igen, hogyan, olyan vizsgálati módszer kidolgozása, amelynek segítségével már néhány óra alatt reprodukálható tűkristály képződés valósítható meg átlagos csatlakozó felületeken is? Kísérleti koncepciómat a fenti kérdések alapján alkottam meg. Fontos volt, hogy egyszerre legyen tudományos igényességű, és a mindennapi ipari gyakorlatban is alkalmazható.

III. Elvégzett kísérletek összefoglalása A galvanikus bevonatolás folyamata során a réz alapanyagú hordozófémek felületére Hull cellás eljárással (2. ábra), különböző nagyságú áramsűrűségek mellett válik le a galvanikus ón bevonat. A bevonatolást 25 C fürdő hőmérsékleten (a felhasznált fürdő előírásainak megfelelően), 3 perces és 10 perces bevonatolási idővel és 1 A átfolyó elektromos áram felhasználásával, McDermid gyártású, Restin BMAT PC galvanikus fürdőben végeztem el. 2.ábra Hull cella elvi működése [INT. HULL]. Az eltérő anód katód távolságok miatt különböző áramsűrűséggel fog leválni az ón bevonat. A Hull cella alkalmazásának nagy előnye, hogy egy bevonatolási folyamaton belül vizsgálható több eltérő tulajdonság, mint a bevonat vastagsága és a szemcseszerkezet tulajdonságai. A szemcseszerkezet változása egy folyamaton belül a 3. ábrán látható (különböző áramsűrűségek mellett). 3. ábra Hull cella alkalmazása során létrejövő szemcseszerkezetek eltérő áramsűrűségek alkalmazása mellett. A debreceni MTA Atommagkutató Intézetben, mintáimat másodlagos semleges részecske tömegspektrométeres (SNMS Secondary Neutral Mass Spectometry) elemzésnek vetették alá, egy INA-X típusú SNMS berendezésben. Az oxidréteg vastagsága ezzel a módszerrel nanométeres nagyságrendű felbontással vizsgálható. A vizsgálat alapelve, a határfelületek vizsgálata során leginkább alkalmazott porlasztásos módszer. A 3. ábrán jól látszik, hogy az ón oxidréteg vastagsága a minták felületén 3 és 4 nanométer között van.

Korrigált 'O' (cps) 4500 4000 3500 3000 2500 Ipari minta Vékony (3 perces) bevonat Vastag (10 perces bevonat) 2000 1500 1000 500 0 0,0 2,0 4,0 6,0 8,0 10,0 12,0 14,0 16,0 18,0 20,0 Mélység, nanométer 4. ábra Az SNMS vizsgálat eredménye Az ón bevonattal ellátott minták mechanikai terhelése speciális berendezéssel történt meg. A szakirodalmakban végrehajtott kísérletek nagy részére jellemző, hogy időtartamuk akár több hónapig is eltarthat. Ezért fajlagosan csak kevés vizsgálatot tesz lehetővé, ami nagy hátrány egy olyan folyamat vizsgálata során, mely a számtalan vizsgálati tényező és hibalehetőség miatt jelentős mértékű szórás lép fel az eredmények között. Ennek a problémának a megoldására olyan mérési módszert dolgoztam ki, amely gyorsan, akár néhány órán belül képes megbízhatóan tűkristályokat képezni. Módszerem képlékeny alakváltozással jár (lenyomatokat hozok létre), ezért hatékonyan alkalmazható elektronikus csatlakozófelületek működés közbeni szimulációjára, amely szintén képlékeny alakváltozással jár, hiszen a felületi oxidréteg miatt alakváltozás nélkül az elektromos vezetés nem jöhetne létre. A lenyomatok létrehozásához,ún. Direkt súlyterheléses berendezést használtam, melynek működési elve leginkább a Brinell keménységmérőhöz hasonlítható (5.ábra). A terveim alapján a berendezés a Miskolci Egyetem Gyártástudományi Intézetében készült el, Prof. Dr. Kundrák János vezetésével. Sikerült olyan tűréssel kialakítaniuk a műszer belső falát és a tengelyét, hogy a tervezett berendezéssel szemben felállított követelmények (könnyen és pontosan járó felépítmény) megvalósultak. A berendezés elődje Dr. Rónaföldi Arnold tervei alapján készült el (6. ábra). 5.ábra Direkt súlyterheléses vizsgálóberendezés elvi felépítése (a) és fényképe (b)

6.ábra Mechanikai és elektromos feszültség hatását vizsgáló berendezés elvi felépítése (a) [1:Mintadarab; 2: Egyenáramú, 24 V-os áramforrás; 3: Változtatható ellenállás az áramerősség szabályozására; 4: 3,5 mm-es átmérőjű csapágygolyókat tartalmazó lenyomat létrehozására szolgáló szerszám] és a berendezés fényképe (b) => Az F terhelő erő, az erőkarokra függesztett súlyterheléssel befolyásolható ( b ábra piros keret). A lenyomatot létrehozó szerszám (egy 3,5 mm átmérőjű acél csapágygolyó), a műszer felépítményrésze mindkét berendezés esetén könnyen és pontosan mozgatható, a mintadarabra ható feszültség nagyságát a rá helyezett tömeg nagyságával lehet szabályozni. Kísérleteimet az első, mechanikai terhelést vizsgáló esetekben kb. 80 N (8074 g felépítmény tömeg) terhelőerővel végeztem el. A terhelési idők 24 óráig tartottak. Egy elkészült lenyomat fénymikroszkópos felvétele látható a 7. ábrán. 7. ábra Elkészült lenyomat fénymikroszkópos felvétele Hőkezelés során, egyik oldalról tehát vastagabb lesz az oxid réteg, amely visszafogja a tűkristályok képződését, másik oldalról pedig egy ilyen hőmérsékleten tartása az ón bevonatnak annak újrakristályosodását okozza. Ennek az ellentmondásnak a feloldására hajtottam végre egy hőkezelési kísérletsorozatot. A kísérlet paramétereit az 1. Táblázat tartalmazza. A hőkezeléseket Memmert 100-800 típusú elektromos kemencével hajtottam végre.

1. Táblázat Hőkezelés hőmérsékletei és hőkezelési idők Hőkezelés hőmérséklete 1,22 μm Sn réteg 8,25 μm Sn réteg Ipari m., 2 μm Sn réteg Nem hőkezelt 0 óra hőkezelés 0 óra hőkezelés 0 óra hőkezelés 125 C 1 óra hőkezelés 1 óra hőkezelés 1 óra hőkezelés 150 C 1 óra hőkezelés 1 óra hőkezelés 1 óra hőkezelés 125+150 C 1+1 óra hőkezelés 1+1 óra hőkezelés 1+1 óra hőkezelés A fenti táblázatból látszik, hogy a hőkezeléseket 125 illetve 150 Celsius fokon hajtottam végre. A hőkezelések 1 órán keresztül tartottak. Voltak minták, melyeket 1 órán keresztül 125, és 1 órán keresztül 150 Celsius fokon hőkezeltem. Ionbesugárzásos kísérleteimet a debreceni MTA Atommagkutató Intézetében végeztem el, amihez 5 MV-os Van de Graaff gyorsító állt rendelkezésre.a berendezés felvétele az 58. ábrán látható. Az elvégzett kísérleteket 3 percig galvanizált ón bevonatokon hajtottuk végre. A kísérlet egyéb körülményeit az alábbi táblázatban foglaltam össze. Nyolc darab különböző mintát alakítottunk ki, melyek méretei 10*20 mm. A besugárzás 5 mm szélességben érte a minta közepét kör alakban, tehát területe 0,196 cm 2. Átszámolva a bevonatunkat 5,1*10 14 és 1,02*10 16 ion/cm 2 közötti besugárzások érték. A kísérlet összefoglaló adatai az 2. Táblázatban láthatóak. 2. Táblázat: Az elvégzett kísérletsorozat összefoglalása Mintaszám Galvanizálás Áramerőssége (A/dm 2 ) Ón rétegvastagság (µm) Ion besugárzás Mozgási energia (MeV) Össztöltés (µc) 1 0,2 0,8 Hélium 1,6 27-30 2 0,2 0,8 Hélium 1,6 20 3 0,2 0,8 Hélium 1,2 20 4 0,2 0,8 Hélium 1,2 100 5 2,6 1 Nitrogén 1,3 20 6 2,6 1 Nitrogén 1,3 100 7 2,6 1 Nitrogén 1,3 200 8 2,6 1 Nitrogén 1,3 400 9 Ipari minta 2 Nitrogén 1,3 200 10 Ipari minta 2 Nitrogén 1,3 400 Az eljárás során a technikailag a gyorsított ionok (hélium és nitrogén) a vákuumtérben a megadott mozgási energiára (MeV) gyorsítva először egy vékony fólián haladnak keresztül (kiegyenlítő vagy degradáló fólia), majd ezután csapódnak be a céltárgyba. A véletlen folytán a fólia egy kis helyen lyukas volt. Ez a

"hiba" a besugárzási képek láttán derült ki. Ezen a lyukon a nyaláb magával tudott ragadni a vákuumtérben jelenlévő (olajdiffúziós szivattyús eredetű) C atomokat is, amelyek ezután kiültek az Sn minta felületére és besötétítették azt az begyűjtött össztöltéssel arányosan. Emiatt a meghibásodás miatt minden mintán három terület volt vizsgálható (9.ábra): 1. a minta széle, amit nem ért nyaláb; 2. a minta közepe, amit a nyaláb ért; 3. a "kis szenes barna folt", amit a szénnel szennyezett nyalábrész ért A C jelenlétét a 3. területeken EDAX mérésekkel egyértelműen kimutattuk, "befedte" a felületet. 9.ábra A besugárzott mintadarab felépítése (vizsgálati helyek). 1.) Besugárzatlan rész, 2.) Besugárzott rész, 3.) Besugárzott és C-al szennyezett rész. A besugárzás az ipari mintán is nitrogén ionokkal történt a mérési tapasztalatokat felhasználva. Kétféle besugárzott töltésmennyiséget alkalmaztunk, 200 illetve 400 μc-ot. Sajnos nem volt egységes kiértékelési lehetőség a szakirodalomban, ezért a tapasztalatok alapján állítottam össze a dolgozatban alkalmazott kiértékelést, mellyel a lenyomatokat megvizsgáltam. A lenyomatokat minden esetben SEM vizsgálatnak vetettük alá, ezután végeztem el rajtuk a kiértékelést. A pontos méréshez, tapasztalataim alapján minden lenyomaton, legalább hat SEM felvételre volt szükség (10.ábra). Azért, hogy a kiértékelési idő ne legyen aránytalanul hosszú, minden felvételen a négy leghosszabb tűkristály hosszúságát mértem meg. A kapott, minimum 24 mérési eredményt csökkenő sorrendbe rendeztem, és a leghosszabb 10 tűkristály hosszúságának vettem az átlagát. Ezt Átlagos tűkristály hosszúságnak nevezem a későbbiekben a kör alakú lenyomatok esetében. 10. ábra Lenyomatok kiértékeléséhez szükséges SEM látóterek

IV. Új tudományos eredmények 1. Bizonyítottam, hogy a SAC típusú forraszötvözetben az ón tűkristályképződést az alapanyag (makro, vagy mikro szintű) mechanikai feszültségének helyi, vagy időbeli maximális értéke határozza meg. a. Az általam megtervezett eszköz (1T/1. ábra) és számítógépes szimuláció segítségével igazoltam, hogy ahol a mechanikai igénybevétel hatására az alakváltozás és a mechanikai feszültség maximális értékeket mutat (1T/2-3. ábra), ott következik be a tűkristály képződés (1T/4. ábra) a legnagyobb valószínűséggel. 1T/1 ábra A kifejlesztett eszköz sematikus vázlata (a) és fényképe (b) 1T/2.ábra Ekvivalens feszültség az ón rétegben a leterhelés pillanatában (15 N, 2s, Von- Mises) Ansys 16.2 szoftver alapján, saját szerkesztés.

1T/3.ábra Függőleges irányú deformáció az ón rétegben csapágyacél golyó behatolásának hatására (15 N terhelés,mm) Ansys 16.2 szoftver alapján, saját szerkesztés. 1T/4. ábra. Tűkristály képződés az alakváltozott és nem alakváltozott felület határán b. Kísérletek alapján igazoltam, hogy a SAC típusú forraszötvözetben az Ag ötvözőtartalmat (0-ról 3%-ig) emelve (SAC 105,205,305) csökken az ón tűkristály képződés, majd legalább 4% Ag tartalomnál (SAC 405) újból megjelenik az ón tűkristály (1T/5. ábra). Ennek oka az eutektikus pont feletti ötvözőtartalom miatt megjelenő intermetallikus vegyületfázis, mely mechanikai feszültséget okoz az Sn alapanyagban. (1T/6. ábra).

Tűkristály növekedési sebesség, µm/nap 1T/5. ábra SEM felvétel a SAC bevonatok szerkezeteiről (a.: SAC 105, b.: SAC 205, c.: SAC 305, d.: SAC 405) 1T/6. ábra SEM felvétel a SAC 405 bevonatok szerkezetéről c. Kísérletekkel bizonyítottam, hogy állandó külső terhelés mellett a tűkristály növekedés sebessége az idővel fordítottan arányosan változik, a sebesség csökkenést a mechanikai feszültség relaxációja okozza (1T/7 ábra.). 25 20 15 10 y = 12,463x -0,93 y = 9,2701x -0,916 5 0 0 5 10 15 20 25 30 35 Terhelési idő, nap Max. növekedési sebesség Átlag növekedési sebesség Hatvány (Max. növekedési sebesség) Hatvány (Átlag növekedési sebesség) 1T/7. ábra Tűkristály növekedési sebességek az eltelt idő (nap) függvényében

Maximális tűkristály hosszúságok, µm Maximális tűkristály hosszúságok, µm 2. Kísérletileg igazoltam, hogy rész és sárgaréz alapanyag esetén a galvanizálással felvitt ón réteg vastagsága (0,9-8,3 m) nem befolyásolja a tűkristályképződést. Ugyanakkor a hordozófém alapanyaga hatással van a tűkristály képződés- és növekedés sebességére. Ennek oka a sárgaréz és réz közötti keménység-, illetve a deformált térfogat közötti különbség (2T/1-2 ábra). 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 2 óra 24 óra 0,9 μm 1 μm 1,2 μm 1,5 μm 2,7 μm 3 μm 4,2 μm 5 μm 5,6 μm 8,3 μm Ón rétegvastagság RÉZ hordozófémen 2T/1 ábra Maximális tűkristály hosszúságok réz hordozófémen különböző rétegvastagságok mellett 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 2 óra 24 óra 0,9 μm 1 μm 1,2 μm 1,5 μm 2,7 μm 3 μm 4,2 μm 5 μm 5,6 μm 8,3 μm Ón rétegvastagság SÁRGARÉZ hordozófémen 2T/2 ábra Maximális tűkristály hosszúságok sárgaréz hordozófémen különböző rétegvastagságok mellett

Tűkristály darabszám a lenyomaton,>5 µm 3. Kísérletekkel igazoltam, hogy a gyorsított N ionokkal történő besugárzás hatására a tűkristály képződés sebessége növekszik. Ennek oka, hogy besugárzás hatására Cu 3Sn intermetallikus fázis jön létre, melynek hatására a Cu szemcsehatár diffúziós sebessége megnő, így a Cu 3Sn fellelhető lesz az Sn rétegben (3T/4 ábra), amely által megnő a rétegben a mechanikai feszültség (3T/1-2 ábra). A feszültséget a rétegben maradó besugárzott N is növeli (3T/3 ábra). A rétegben emelkedő feszültség alakul ki, amely tűkristályképződéssel tud csak levezetődni. a. Megállapítottam, hogy a gyorsított N ionok által okozott hőmérséklet emelkedés, s a diffúziós sebesség növekedése miatt Cu 3Sn intermetallikus fázis képződött. XPS vizsgálattal megállapítottam, hogy a 'N' nem vett részt a kötések kialakításában: gyorsítva ion formában, míg a mintában már molekuláris (N-N) állapotban volt fellelhető. b. Kísérleti úton megállapítottam, hogy a 'N' ion besugárzás porlasztási sebesség csökkenést okoz az ón felületi rétegében: az argon-ion plazmával történő porlasztás során a porlasztás sebesség 42%-ára csökkent (Sn (besugárzott) = 0,75 nm/s ; Sn (nem besug.) = 1,75 nm/s. Ennek oka a N ionok okozta rácstorzulás, a mechanikai feszültség növekedése. 250 200 200 µc 400 µc 150 100 50 0 Besugárzott NEM Besugárzott (3T/1. ábra) Tűkristály képződés változása besugárzás hatására

Kötés százalékos aránya, % Tűkristály átlagos hosszúság, µm 120 100 80 60 40 20 0 Besugárzott, 200 µc Besugárzott, 400 µc Nem Besugárzott, 200 Nem Besugárzott, 400 µc-os minta µc-os minta Minta besugárzottsága (3T/2. ábra) Tűkristály növekedés változása besugárzás hatására (10 leghosszabb tűkristály átlagos hosszúsága egy lenyomaton). 300 280 260 Nitrogen, a.u. 240 220 200 180 160 140 120 100 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 depth (nm) (3T/3. ábra) Besugárzás hatására a N ionok 1750 nm mélységben álltak meg, még az Sn rétegben. Az a.u. azt jelenti, hogy Arbitrary Unit, Relatív skála. 30,00 25,00 20,00 15,00 10,00 5,00 0,00 Sn-Sn Sn-O SnO2 Cu3Sn Vizsgált kötés Mélység, nm: 350 700 1050 1400 1750 3T/4.ábra Kötések százalékos eloszlása, Sn-ra, kötésekre viszonyítva (SZUM KÖTÉS=100%)

Terhelési paraméterek Terhelési paraméterek 4. Kísérletekkel igazoltam és bizonyítottam, hogy a tűkristályok nagysága, mérete, gyakorisága és az ónnal bevont felület hajlama a tűkristály képzésére drasztikusan csökkenthető, a.) 150 C-on történő hőkezeléssel, amely a felszakadozott oxidréteget újra építi, b.) Sn réteg megfelelő szemcseszerkezetének kialakításával: oszlopos helyett gömbszerű, Sn szemcsék kialakításával, c.) 1-3% Ag ötvöző hozzáadásával az Sn réteg alapanyagához, d.) Kisebb szilárdságú hordozófém felhasználásával (Sárgaréz helyett réz), Kísérletekkel bizonyítottam és igazoltam, hogy sem az elektromos feszültségnek sem az átfolyó elektromos áramnak nincsen kimutatható hatása a tűkristály képződésre és növekedésre (4T/1 és 4T/2 ábra). 24 óra; 25 N 24 óra; 20 N 4 óra; 10 N 2 óra; 10 N 1 óra; 10 N 0,5 óra; 25 N 0,5 óra; 20 N 0,5 óra; 15 N 0,5 óra; 10 N 0,5 óra; 5 N Elektromos+Mechanikus Mechanikus 0 50 100 150 200 250 Tűkristályok darabszáma, (5µm-nél hosszabb) 4T/1. ábra 5 µm-nél hosszabb tűkristályok darabszám értékei a lenyomatokon elektromos feszültséggel terhelt, illetve nem terhelt esetekben. 24 óra; 25 N 24 óra; 20 N 4 óra; 10 N 2 óra; 10 N 1 óra; 10 N 0,5 óra; 25 N 0,5 óra; 20 N 0,5 óra; 15 N 0,5 óra; 10 N 0,5 óra; 5 N ELEKTROMOS+MECHANIKUS MECHANIKUS 0 5 10 15 Tűkristály ÁTLAGOS hosszúság, µm 4T/2.ábra Tűkristály átlagos hosszúságértékei a lenyomatokon elektromos feszültséggel terhelt, illetve nem terhelt esetekben.

V. Az értekezés tudományos eredményeinek jelentősége és hasznosításuk lehetőségei 1. Tézispont.: A tudományos irodalom rendkívül széles rétegeiben egy adott elektronikai csatlakozófelület vizsgálata sok esetben több hónapot is igénybe vehet. Ezt sikerült felgyorsítani egy speciális berendezéssel, mely leginkább egy Brinell keménységmérőhöz hasonlítható, a lenyomatot egy 3,5 mm átmérőjű csapágyacél golyó hozza létre. Így ez a rendkívül összetett és sok tényező által befolyásolt folyamat jobban és hatékonyabban lesz vizsgálható a közeljövőben. A folyamatot FEM szimulációval lemodelleztem és az volt tapasztalható, hogy a legnagyobb feszültség a várakozásoknak megfelelően - az alakváltozott és nem alakváltozott felület határán keletkezik. Az ötvözőanyag az eutektikus pont felett megnöveli az adott rétegben a feszültséget, mely egy bizonyos pont felett tű alakú kiválásokat képez. Ezt a megállapítást célszerű figyelembe venni a bevonatoló anyag kiválasztásánál. Az első bekezdésben leírtakat megerősíti az a kutatási eredményem is, hogy a terhelési idő növekedésével a tűkristály képződés és növekedés sebessége exponenciálisan csökken, így egy adott bevonat kockázatának meghatározásánál elegendő rövidebb idejű terheléseket is alkalmazni. 2. Tézispont.: Kísérletekkel igazoltam, hogy a magasabb keménységértékű sárgaréz hordozófémen intenzívebb a tűkristály képződés és növekedés, mint a réz hordozófémen. Másik megállapításként elmondható volt, hogy nincs komoly hatása az ón rétegvastagságának a tűkristályok képződésére és növekedésére. 3. Tézispont.: Ionbesugárzás hatására intenzív tűkristályképződés és növekedés volt megfigyelhető. Megállapítható volt, hogy elsősorban a nagyobb méretű, N ionokkal történt besugárzás esetén volt intenzívebb a tűkristályképződés, a kisebb méretű, He atomokkal történő besugárzás esetén kevesebb volt a folyamat intenzitása. A N ionok benne maradnak az ón rétegben, és megnövelik a réteg keménységét, szilárdságát és a rétegen belüli feszültséget. 4. Tézispont.: Szükség volt egy olyan átfogó rendszer kidolgozására, amely alapján közel nullára lehet redukálni a tűkristály képződés és növekedés veszélyességét. Ezért minden olyan lehetőséget, mely kísérleteim során bizonyítottan csökkentette a tűkristályok képződését és növekedését felsoroltam, mint lehetőséget, melyeket célszerű és lehetséges használni akár az ipari gyakorlatban is.

VI. A jelölt értekezésének témájában született publikációinak jegyzéke Adam Radanyi, Anna Sycheva, Zoltan Gacsi : Whisker Formation on Galvanic Tin Surface Layer, Archives of Metallurgy and Materials, DOI: 10.1515/amm-2015-0127 (2013/2014 I.F.: 0,763) Radányi Ádám, Sycheva Anna, Gácsi Zoltán: Ón tűkristályképződés az elektronikai iparban. Kutatási lehetőségek korrelatív mikroszkópia segítségével. Bányászati és Kohászati Lapok, 147. évfolyam (2014), 1. szám, pp. 43-48. Anna Sycheva, Adam Radanyi, Zoltan Gacsi : Studying Pressure Induced Whiskers Formation from Sn-rich Surfaces; Materials Science Forum, Vols. 790-791 pp. 271-276. (2014). Gábor Lassú, Ádám Radányi, Zoltán Gácsi, Tamás Török: Characterization and GD-OES Investigation of Thin Tin Electroplated Copper Substrates Used in the Electronics Industry // Materials Science and Engineering, Volume 39, Number 1 (2014) pp.: 41-50. HU ISSN 2063-6792. Radányi Ádám: Tűkristály képződés vizsgálata galvanizált ón bevonatokon, Miskolci Egyetem MAK, Doktoranduszok Fóruma. Publikáció szekciókiadványban, 2013.11.07. Radányi Ádám, Sycheva Anna, Gácsi Zoltán: Ón tűkristály képződés vizsgálata ólommentes forrasztási technológiáknál, Bányászati és Kohászati Lapok, 145. évfolyam (2012), 3. szám, pp. 29-33. Radányi Ádám: Ón tűkristály képződés vizsgálata csatlakozófelületen, Doktoranduszok Fóruma, MAK, Publikáció szekciókiadványban, 2012.11.08. Radányi Ádám, Sycheva Anna, Gácsi Zoltán: Ón-tűkristály képződés és növekedés vizsgálata ipari csatlakozó berendezésen, Anyagok Világa (Materials World) Online folyóirat, X. évfolyam 3. szám, (2012) pp. 29-41.

VII. Tézisfüzethez felhasznált szakirodalom [Arnold, 1956] S.M. Arnold, The Growth and Properties of Metal Whiskers, Proc. 43rd AnnualConvention of the American Electroplater s Soc., 43: pp. 26-31, 1956. [Arnold, 1956/2] S.M. Arnold, Repressing the Growth of Tin Whiskers, Plating Magazine, pp. 96-99, Jan.1956. [Britton, 1974]. S.C. Britton, Spontaneous Growth of Whiskers on Tin Coatings: 20 Years of Observation, The Transactions of the Institute of Metal Finishing, 52: pp. 95-102, April 1974. [Cobb, 1946]. H.L. Cobb, Cadmium Whiskers, Monthly Rev. Am. Electroplaters Soc., 33 (28):pp.28-30,Jan.1946. [Compton és Társai, 1951] K.G. Compton, A. Mendizza, and S.M. Arnold, Filamentary Growths on Metal Surfaces Whiskers, Corrosion 7: pp. 327-334, 1951. [Glazunova, 1963]. V.K. Glazunova and N.T. Kudryavtsev, An Investigation of the Conditions of Spontaneous Growth of Filiform Crystals on Electrolytic Coatings, translated from Zhurnal Prikladnoi Khimii, 36(3), pp. 543-550, March 1963. [Horváth és Társai, 2013] B. Horváth, T. Shinohara, B. Illés: Corrosion properties of tin copper alloy coatings in aspect of tin whisker growth, Journal of Alloys and Compounds 577 (2013) 439 444. [Illés és Társai, 2010] B. Illés, B. Horváth, G. Harsányi: Effect of strongly oxidizing environment on whisker growth form tin coating; Surface & Coatings Technology 205 (2010) 2262 2266. [INT. HULL] http://www.schloetter.co.uk/hullcellsplatingt.htm [Kakeshita és Társai, 1982]. T. Kakeshita, K. Shimizu, R. Kawanaka, T. Hasegawa, Grain Size effect on Electroplated Tin Coatings on Whisker Growth, J. Matls. Sci., 17: pp. 2560-2566,1982. [Lee, 1998] B.-Z. Lee and D. N. Lee : Spontaneous growth mechanism of tin whiskers Acta mater. Vol. 46, No. 10, pp. 3701±3714, 1998. [Tu, 1973] K.N. Tu, Interdiffusion and Reaction in Bimetallic Cu-Sn Thin films, Acta Metallurgica, 21: pp. 347-354, April 1973. [Tu, 1994] K.N. Tu, Irreversible Processes of Spontaneous Whisker Growth in Bimetallic CuSn Thin Reactions, Phys. Rev. B, 49(3): pp. 2030-2034, January 1994.