Havancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja. Archeometriai műhely ELTE TTK 2013.

Méret: px

Mutatás kezdődik a ... oldaltól:

Download "Havancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja. Archeometriai műhely ELTE TTK 2013."

Rebeka Barta
5 évvel ezelőtt
Látták:

1 Havancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja Archeometriai műhely ELTE TTK 2013.

3 Elektronmikroszkópok TEM SEM Transzmissziós elektronmikroszkóp Átvilágítós vékony minta < 100 nm párhuzamos képalkotás maximális felbontás (HRTEM): 0,1 nm Pásztázó elektronmikroszkóp Visszaszórásos vastag minta soros képalkotás maximális felbontás: 1 nm

4 A SEM működés alapjai 1. Fókuszált elektronnyaláb pásztázza a minta felületét

5 A SEM működés alapjai 1. Fókuszált elektronnyaláb pásztázza a minta felületét

6 2. Kiváltott termékek: szekunder elektronok, visszaszórt elektronok, röntgen fotonok. A SEM működés alapjai 1. Fókuszált elektronnyaláb pásztázza a minta felületét 3. A szekunder és visszaszórt elektronokkal képalkotás

7 2. Kiváltott termékek: szekunder elektronok, visszaszórt elektronok, röntgen fotonok. A SEM működés alapjai 1. Fókuszált elektronnyaláb pásztázza a minta felületét 3. A szekunder és visszaszórt elektronokkal képalkotás 4. A röntgen fotonokkal spektrum létrehozása, elemanalízis

8 A SEM felépítése 1. Elektron forrás (Schottky-forrás) 10-7 Pa 2. Mágneses lencsék 3. Pásztázó mágnesek 10-5 Pa 4. Detektorok (SED, BSED, EDX) 5. Vákuum rendszer vezető minták esetén szigetelő minták esetén biológiai minták esetén 100% páratartalom 10-3 Pa nagyvákuum üzemmód Pa alacsony-vákuum üzemmód Pa környezeti üzemmód

9 Röntgen elemanalízis Röntgen detektor (Energia diszperziv röntgen detektor = EDX) - Szilícium drift detektor, elemanalízis - Nem igényel folytonos folyékony N hűtést Peltier-hűtés ~ - 60 o C. - A detektor sebessége: 10 5 cps. - A detektor energia felbontásra: 130 Mn K α.

Peltier-hűtés ~ - 60 o C. - A detektor sebessége: 10 5 cps.

10 Röntgen elemanalízis Röntgen detektor (Energia diszperziv röntgen detektor = EDX) - Szilícium drift detektor, elemanalízis - Nem igényel folytonos folyékony N hűtést Peltier-hűtés ~ - 60 o C. - A detektor sebessége: 10 5 cps. - A detektor energia felbontásra: 130 Mn K α. - Elemtérkép készítése (gyökérkövület) visszaszórt elektron kép röntgen elemtérkép

11 Kétsugaras mikroszkóp elektron nyaláb + ion nyaláb (FIB = focused ion beam) 19 mm 10 mm Elektron nyaláb függőleges, az ionnyaláb 52 o -ot zár be a függőlegessel Két nyaláb a munkatávolságon találkozik, megmunkálás közben látható az eredményt

13 Az ionnyaláb szerepe Gallium ionforrás Porlasztás ionnyalábbal Gázkémia (nanolitográfia)

14 FIB: keresztmetszeti minta készítése

15 FIB: keresztmetszeti minta készítése

16 FIB: keresztmetszeti minta készítése

17 FIB: keresztmetszeti minta készítése

18 FIB: keresztmetszeti minta készítése

19 FIB: keresztmetszeti minta készítése

20 FIB: keresztmetszeti minta készítése

21 FIB: keresztmetszeti minta készítése

22 FIB: keresztmetszeti minta készítése

23 FIB: keresztmetszeti minta készítése

24 Visszaszórt elektron diffrakció (EBSD) Polikristályos minta vizsgálata pontról-pontra Felbontás: nm kristály típusa szemcsék orientációs térképe textúravizsgálat Kikuchi-sávok

25 Visszaszórt elektron diffrakció (EBSD) Kikuchi - mintázat EBSD orientációs térkép

26 Gyógyszertranszprot polimer nanorészecskékkel

27 Mikripillárok deformációs tulajdonságainak vizsgálata

28 Régészeti vizsgálatok 28 VI. századi avar kengyel vas anyaga Középkori arany díszítőszál

29 Budai meleg források baktérium telepeinek vizsgálata 29

30 Ősi vulkánok kőzeteiben a zárványok vizsgálata 30

31 Összefoglalás 31 - A régióban egyedülálló berendezés; - Nagyvákuum-, alacsony vákuum- és környezeti üzemmódok; - Képi felbontás üzemmódtól függően 1 5 nm (a nanotartomány vizsgálatára alkalmas); - Gyors röntgen detektor, nagyfelbontású elem-térképezés; - Fókuszált ionsugár: keresztmetszeti minta, nanolitográfia; - Visszaszórt elektron diffrakció: kristály orientáció- és textúravizsgálat; - Eddig több mint 100 publikáció referált folyóiratban, konferencia és ismeretterjesztő előadás; - Nyitottak vagyunk külső K + F együttműködésekre.

Hasonló dokumentumok

Havancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények

Havancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények Nanoanyagok és nanotechnológiák Albizottság ELTE TTK 2013. Havancsák Károly Nagyfelbontású