Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM scanning electronmicroscope)
|
|
- Anna Kiss
- 9 évvel ezelőtt
- Látták:
Átírás
1 Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM scanning electronmicroscope) Laborgykorlat Thiele Ádám
2 Az EM és az OM összehasonlítása Az elektronmikroszkóp (EM) működési elve azonos az optikai mikroszkópéval (OM). Az OM-nál a képalkotásra a látható fény hullámhossztartományába ( nm) eső fénysugarakat használjuk, amelyeket lencsékkel fókuszálunk. Az EM-nál a képalkotás mintegy öt nagyságrenddel kisebb hullámhosszú elektronsugarat használnak fel a képalkotásra, amelyeket elektromos vagy mágneses lencsék segítségével fókuszálhatunk. Ezzel lényegesen nagyobb felbontóképességet érhetünk el.
3 Nagy nagyítás és jó mélységélesség! A pásztázó elektronmikroszkóp népszerűsége elsősorban az elérhető nagy nagyításnak és a jó mélységélességnek köszönhető. Az optikai mikroszkóppal szemben, mellyel maximum szeres nagyítás és 1-10 μm mélységélesség érhető el, a SEM nagyítása elérheti a szerest, mélységélessége pedig akár a 3-4 mm-t is, melynek segítségével rendkívül plasztikus, már-már térhatásúnak tűnő képek készíthetők.
4 A felbontóképesség A hullámhossz csökkentésével csökken az a d méret, amit még két külön pontnak látunk. d szem = kb. 0,1mm d OM = kb. 1μm d EM = kb. 1nm
5 Az elektronmikroszkópok két legfontosabb típusa Transzmissziós elektronmikroszkóp (TEM transmission electronmicroscope) Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM scanning electronmicroscope)
6 A TEM és a SEM működési elve Transzmissziós elektronmikroszkóp: Vékonycsiszolatok átvilágítása hasonlóan az OM-hoz. A képalkotás a geometriai optika törvényein alapul, az elektronok hullámtermészetét használjuk ki. Pásztázó elektronmikroszkóp: Egy elektronágyúval vékony elektronnyalábot állítunk elő. Ezzel pásztázzuk (eltérítő tekercsek segítségével) a minta felszínét. A válaszként kilépő jeleket detektáljuk. A képalkotás során a detektált jelek intenzitásával moduláljuk egy szinkronban pásztázó katódsugárcső képét.
7 OM, TEM és SEM összehasonlító felépítése
8 SEM vs. TEM Egyszerűbb mintaelőkészítés 3D minták Kisebb felbontóképesség Elektronsugaras mikroanalízis Kiegészíthető EBSD berendezéssel Körülményesebb mintaelőkészítés 2D minták Nagyobb felbontóképesség Elektrondiffrakciós felvétel
9 A kezdetek 1897, J. J. Thomson, elektronok felfedezése, 1924, L. de Broglie, a részecskék hullámtermészetéről, 1926, H. Busch mágneses és villamos teret használ lencseként elektronok irányítására, 1929, E. Ruska PhD tézisei a mágneses lencsékről, 1931, Knoll és Ruska, az első TEM, 1940, az első TEM-ek kereskedelmi forgalomban, 1942, Zworykin és mtsi, az első SEM 1965, az első SEM-ek kereskedelmi forgalomban.
10 SEM 1951-ből
11 Az SEM felépítése
12 Az elektronágyú 1. Izzókatódos, amelynek anyaga volfrám (W) vagy lantán-hexaborid (LaB6). 2. Téremissziós forrás (field emission gun = FEG), általában W heggyel. Ezt a forrást hidegkatódos forrásnak is szokták nevezni, mivel az elektronokat nem a katód hevítésével, hanem elektrosztatikus térrel nyerjük ki a fém felületéből. Termikus wolfram LaB 6 Termikus (ZrO) Téremissziós Hideg (W) Élettartam [óra] felett Vákuum [Pa] Működési hőmérséklet [ C] Az elektronsugár árama [μa] környezeti
13 Elektronágyúk Termikus katód Téremissziós katód
14 Elektromágneses lencsék Az elektronnyalábot elektromágneses lencsék segítségével párhuzamosítjuk és fókuszáljuk a minta felszínére. Külön eltérítő lencsék végzik az x és y irányú pásztázást. Az elektronok a lencsében spirális pályán mozognak. A lencse fókusztávolsága az elektromágnes áramával szabályozható.
15 Lencsehibák szférikus aberráció Oka: a fókusztávolság változása az optikai tengelytől távolodva.
16 Lencsehibák kromatikus aberráció Oka: az elektronáram nem teljesen monokromatikus.
17 Lencsehibák - asztigmatizmus Oka: a lencse nem tökéletesen forgásszimmetrikus. Így két egymásra merőleges fókuszsíkban mások a fókusztávolságok.
18 Elektromágneses lencsék A korrekciós mágnesek (stigmator) az objektív lencse asztigmatikus hibáját korrigálják. Az objektív lencse a pásztázó tekercsekkel, korrekciós mágnesekkel és az apertúrával
19 A SEM képalkotása A minta felületét pásztázó elektronnyalábot a pásztázó generátor vezérli. Ugyanez a generátor vezérli pontról-pontra a képernyő pontjainak aktiválását. A nyaláb által kiváltott elektronok vagy röntgen fotonok intenzitását egy detektor érzékeli. A detektor jele modulálja a megjelenítő képernyő pontjainak intenzitását.
20 A SEM paraméterei Felbontás Két tényező befolyásolja: a nyaláb mérete a mintán és a nyaláb-minta kölcsönhatási térfogat. A mai legkorszerűbb berendezéseken is mindkét paraméter nagyobb, mint az atomok közötti távolság, ezért a SEM-mel atomi felbontás nem érhető el. A legkisebb kölcsönhatási térfogat miatt a legnagyobb felbontás a szekunder elektron képpel érhető el. Nagyítás Mélységélesség Jóval nagyobb mint az OM-nál (mert α kicsi), de ha nő a nagyítás, akkor csökken.
21 Elektron-anyag kölcsönhatás Szekunder elektronok (SE) Az alapanyag atomjainak külső héjairól leszakított kis energiájú elektronok. E<50 ev. Csak a minta legfelső 5-10 nm vastagságú rétegeiből képesek kijutni, rendkívül érzékenyek a felszín egyenetlenségeire, ezért segítségükkel nagy felbontású képek készíthetők. Visszaszórt elektronok (BSE) A primer nyalábból visszavert nagy energiájú elektronok. E>50 ev. A nagyobb rendszámú atomok nagyobb visszaszórási hányadot eredményeznek. Emiatt a visszaszórt elektronokból előállított képen a magasabb átlagos rendszámú területek világosabbnak látszanak.
22 BSE vs. SE
23 DETEKTOR TÍPUSOK BSE A+B
24 DETEKTOR TÍPUSOK BSE A-B
25 Mintaelőkészítés - SEM A minták nagy része előkészítés nélkül vizsgálható, a másik részük pedig kis idő- és energiaráfordítással vizsgálatra alkalmassá tehető. Fő követelmény: hogy a minta elektromosan vezető legyen. Vezetőréteg (pl. C, Au, Pt, Al, Ag, Cu) felvitele történhet: vákuumpárologtatással, katódporlasztással.
26 Biológiai minták előkészítése - SEM 1. Fixálás Célja: megakadályozni, hogy a mintában bomlási folyamatok indulhassanak meg a) Kémiai fixálás (kicsapatással vagy denaturálással, pl. glutaraldehid) b) Fagyasztva szárítás 2. Víztelenítés a) Kritikus ponton való szárítás A folyékony CO 2 kritikus hőmérsékletén, 31 C-on. b) Fagyasztva szárítás Pl. folyékony N-be merítéssel, C között. c) Fagyasztásos helyettesítés A minta szövetei közötti részeket más anyaggal helyettesítik, majd beágyazzák. d) Egyéb folyamatok 3. Vezető anyaggal való bevonás
27 Mintaelőkészítés TEM#1 A transzmissziós elektronmikroszkópi vizsgálatok legkritikusabb mozzanata a minta megfelelő előkészítése, aminek az oka, hogy a mintát úgy kell előkészíteni, hogy az alkalmas legyen a kívánt vizsgálatok elvégzéséhez, továbbá megőrizze a megfigyelni kívánt sajátosságokat. Az alkalmasság azt jelenti, hogy olyan vékonyra kell munkálni, hogy az elektronok áthatolhassanak rajta. A minta maximális vastagsága így nagyrészt az elektronok energiájától, valamint a vizsgálat módjától és a minta anyagának rendszámától is függ, pl kev-os elektronok esetén a minta vastagsága nm között kell legyen. A minta átmérője 2 3 mm között szokott lenni.
28 Mintaelőkészítés TEM#2 A minta anyagával szembeni fizikai követelmények, hogy a villamos áramot vezesse, a 100 kev-nál sokszor jóval nagyobb energiájú elektronok ne károsítsák és az elektronsugárzás hatására bekövetkező néhányszor C -os hőmérsékletemelkedés ne okozzon elváltozásokat. A minták készülhetnek vékonyréteg-technikával, valamint vastag minták vékonyításával. A minták vékonyréteg-technikával való készítéséhez szükséges egy önhordó, villamos áramot vezető, az elektronok számára átlátszó, nm vastag hordozó (szubsztrát). A hordozók anyaga általában amorf szén, SiO x, MoSi 2. Ha vastag mintát vékonyítunk, akkor az anyagot először mechanikai úton (csiszolással, köszörüléssel, szikraforgácsolással) elővékonyítjuk; majd kémiai, elektrokémiai vagy ionsugaras eljárásokkal vékonyítjuk véglegesre.
29 Elektronsugaras mikroanalízis A primer elektronnyaláb képes a minta atomjainak valamelyik belső elektronpályájáról egy elektront kiütni. Az így megüresedő elektronpályára egy külső héjon lévő elektron "visszaugorhat". Az így felszabaduló energia (azaz a külső és a belső elektonpálya energiáinak különbsége) röntgenfoton formájában kisugárzódik. Mivel egy adott atomfajtánál az elektronpályák energiái meghatározott értéűek, a kisugárzott röntgenfoton energiája (illetve az E = hλ = hc/ λ egyenlet alapján a hullámhossza) jellemző lesz az adott atomfajtára.
30 Módszerek és alkalmazások 1. WDS (wavelength dispersive spectroscopy) Hullámhossz szerinti szétválasztás Érzékeny ( ppm), de lassú 2. EDS (energy dispersive spectroscopy) Energia szerinti szétválasztás Kevésbé érzékeny (kb ppm), de gyors Kvalitatív és kvantitatív elemösszetétel-meghatározás Kémiai kötésre nem érzékeny Pontszerű, vonalmenti és területi elemzés Kis felületi objektumok (kiválások, zárványok) összetételének vizsgálata
31 Pontszerű elemeloszlás
32 Vonalmenti analízis PbM SnL NiK CuK
33 EDS elemtérkép Cu Pb Sn
34 EBSD Electron Back Scatter Diffraction (visszaszórt elektron diffrakció) A primer elektronnyaláb útjában elhelyezett mintában a primer elektronok rugalmatlan szóródást szenvednek, majd ezek a rugalmatlanul szórt elektronok az egyes kristálytani síkokon rugalmasan ismét szóródnak. Ez utóbbi diffrakció eredményeképpen az elektronok a kristálytani síkról egy kúppalást mentén szóródnak, és ennek a kúppalástnak, valamint egy alkalmas helyen elhelyezett felfogó ernyőnek a metszéssíkjában egy jellegzetes vonalas rajzolat, az ún. Kikuchi-ábra alakul ki. A vonalak elhelyezkedéséből a vizsgált pont (illetve annak környezetének) kristálytani szerkezete és orientációja meghatározható.
35 Az EBSD által nyerhető információk Az EBSD lehetővé teszi, hogy egy mérési pont (pontosabban annak véges térfogatú környezetének) kristályszerkezetét, rácsállandóját és kristálytani orientációját meghatározzuk. Ezekből a mérési adatokból következtethetünk a minta szemcséinek orientációjára, a szemcsék közti elorientáltságra, a szemcsehatárok tulajdonságaira, a fázisok milyenségére, ill. az egyes szemcséken belüli deformációra. Fázis térkép Orientációs térkép
36 Gyepvasérc#1
37 Gyepvasérc#2
38 Gyepvasérc#3
39 Gyepvasérc#4
40 Gyepvasérc#5
41 Gyepvasérc#6
42 Vassalak#1
43 Vassalak#2
44 Vassalak#3
Pásztázó elektronmikroszkóp. Alapelv. Szinkron pásztázás
Pásztázó elektronmikroszkóp Scanning Electron Microscope (SEM) Rasterelektronenmikroskope (REM) Alapelv Egy elektronágyúval vékony elektronnyalábot állítunk elő. Ezzel pásztázzuk (eltérítő tekercsek segítségével)
Mikroszerkezeti vizsgálatok
Mikroszerkezeti vizsgálatok Dr. Szabó Péter BME Anyagtudomány és Technológia Tanszék 463-2954 szpj@eik.bme.hu www.att.bme.hu Tematika Optikai mikroszkópos vizsgálatok, klasszikus metallográfia. Kristálytan,
Havancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények
Havancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények Nanoanyagok és nanotechnológiák Albizottság ELTE TTK 2013. Havancsák Károly Nagyfelbontású
Havancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja. Archeometriai műhely ELTE TTK 2013.
Havancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja Archeometriai műhely ELTE TTK 2013. Elektronmikroszkópok TEM SEM Transzmissziós elektronmikroszkóp Átvilágítós vékony minta < 100
A nanotechnológia mikroszkópja
1 Havancsák Károly, ELTE Fizikai Intézet A nanotechnológia mikroszkópja EGIS 2011. június 1. FEI Quanta 3D SEM/FIB 2 Havancsák Károly, ELTE Fizikai Intézet A nanotechnológia mikroszkópja EGIS 2011. június
ELTE Fizikai Intézet. FEI Quanta 3D FEG kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp
ELTE Fizikai Intézet FEI Quanta 3D FEG kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp mintatartó mikroszkóp nyitott ajtóval Fő egységek 1. Elektron forrás 10-7 Pa 2. Mágneses lencsék 10-5 Pa 3. Pásztázó mágnesek
6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT
6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT BUDAPEST UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND ECONOMICS DEPARTMENT OF ELECTRONICS TECHNOLOGY PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP
Szerkezetvizsgálat szintjei
Anyagtudomány 2013/14 Szerkezetvizsgálat Dr. Szabó Péter János szpj@eik.bme.hu Szerkezetvizsgálat szintjei Atomi elrendeződés vizsgálata (röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkóp, atomerő-mikroszkóp)
Typotex Kiadó. Tartalomjegyzék
Tartalomjegyzék Előszó 1 1. Az alapok 3 1.1. A pásztázó elektronmikroszkópia helye a korszerű tudományban 3 Irodalom 6 1.2. Elektron anyag kölcsönhatás 7 1.2.1. Rugalmas szórás 12 1.2.2. Rugalmatlan szórás
Sugárzás és anyag kölcsönhatásán alapuló módszerek
Sugárzás és anyag kölcsönhatásán alapuló módszerek Elektronmikroszkópok A leképzendő mintára elektronsugarakat bocsátunk. Mivel az elektronsugár (mint hullám) hullámhossza kb. 5 nagyságrenddel kisebb a
Finomszerkezetvizsgálat
Anyagszerkezettan és anyagvizsgálat 2015/16 Finomszerkezetvizsgálat Dr. Szabó Péter János szpj@eik.bme.hu Szerkezetvizsgálat szintjei Atomi elrendeződés vizsgálata (röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkóp,
Szerkezetvizsgálat szintjei
Anyagszerkezettan és anyagvizsgálat 2015/16 Finomszerkezetvizsgálat Dr. Szabó Péter János szpj@eik.bme.hu Szerkezetvizsgálat szintjei Atomi elrendeződés vizsgálata (röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkóp,
Milyen simaságú legyen a minta felülete jó minőségű EBSD mérésekhez
1 Milyen simaságú legyen a minta felülete jó minőségű EBSD mérésekhez Havancsák Károly Dankházi Zoltán Ratter Kitti Varga Gábor Visegrád 2012. január Elektron diffrakció 2 Diffrakció - kinematikus elmélet
Nagyműszeres vegyész laboratórium programja. 8:15-8:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly)
Nagyműszeres vegyész laboratórium programja 8:15-8:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly) 8:30-9:15 A pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) alapjai. (Havancsák Károly) 9:30-10:15
Quanta 3D SEM/FIB Kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp. Havancsák Károly
Quanta 3D SEM/FIB Kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp Havancsák Károly http://sem.elte.hu 1 FEI Quanta 3D SEM/FIB Anton van Leeuwenhoek (1632-1723, Delft) FEI (Philips) Eindhoven 2 A Képképzés fajtái
A szubmikronos anyagtudomány néhány eszköze. Havancsák Károly ELTE TTK Központi Kutató és Műszer Centrum július.
1 A szubmikronos anyagtudomány néhány eszköze Havancsák Károly ELTE TTK Központi Kutató és Műszer Centrum 2012. július. Mikroszkópok 2 - Transzmissziós elektronmikroszkóp (TEM), - Pásztázó elektronmikroszkóp
Fókuszált ionsugaras megmunkálás
FEI Quanta 3D SEM/FIB Dankházi Zoltán 2016. március 1 FIB = Focused Ion Beam (Fókuszált ionnyaláb) Miből áll egy SEM/FIB berendezés? elektron oszlop ion oszlop gáz injektorok detektor CDEM (SE, SI) 2 Dual-Beam
Fókuszált ionsugaras megmunkálás
1 FEI Quanta 3D SEM/FIB Fókuszált ionsugaras megmunkálás Ratter Kitti 2011. január 19-21. 2 FIB = Focused Ion Beam (Fókuszált ionnyaláb) Miből áll egy SEM/FIB berendezés? elektron oszlop ion oszlop gáz
Nagyműszeres vegyész laboratórium programja. 9:15-9:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly)
Nagyműszeres vegyész laboratórium programja 9:15-9:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly) 9:30-11:00 A pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) alapjai és visszaszórtelektron diffrakció
Az elektron hullámtermészete. Készítette Kiss László
Az elektron hullámtermészete Készítette Kiss László Az elektron részecske jellemzői Az elektront Joseph John Thomson fedezte fel 1897-ben. 1906-ban Nobel díj! Az elektronoknak, az elektromos és mágneses
Dankházi Z., Kalácska Sz., Baris A., Varga G., Ratter K., Radi Zs.*, Havancsák K.
Dankházi Z., Kalácska Sz., Baris A., Varga G., Ratter K., Radi Zs.*, Havancsák K. ELTE, TTK KKMC, 1117 Budapest, Pázmány Péter sétány 1/A. * Technoorg Linda Kft., 1044 Budapest, Ipari Park utca 10. Műszer:
Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) Elektronsugaras mikroanalízis (EPMA)
Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) Elektronsugaras mikroanalízis (EPMA) Anyagtudományi analitikai vizsgálati módszerek Koczka Béla Szervetlen és Analitikai kémia Tanszék Mikroszkópos leképezési technikák
Rövid ismertető. Modern mikroszkópiai módszerek. A mikroszkóp. A mikroszkóp. Az optikai mikroszkópia áttekintése
Rövid ismertető Modern mikroszkópiai módszerek Nyitrai Miklós 2010. március 16. A mikroszkópok csoportosítása Alapok, ismeretek A működési elvek Speciális módszerek A mikroszkópia története ld. Pdf. Minél
V. előadás március 4.
Bevezetés s az anyagtudományba nyba V. előadás 2010. március 4. Az z optikai vagy fénymikroszkóp Olyan összetett nagyítórendszer, amely két gyűjtőlencse-rendszer segítségével kis méretű tárgyak jelentősen
FIATAL MŰSZAKIAK TUDOMÁNYOS ÜLÉSSZAKA
FIATAL MŰSZAKIAK TUDOMÁNYOS ÜLÉSSZAKA Kolozsvár, 2003. március 21-22. A Fe-C-Mo SZINTERELT ANYAGOK SEM / EDS VIZSGÁLATA Zsók János Csaba, Dr. Pálfalvi Attila 1.Összefoglaló A dolgozat a szintereit alkatrészek
SZERKEZETVIZSGÁLAT. ANYAGMÉRNÖK BSc KÉPZÉS (nappali munkarendben) TANTÁRGYI KOMMUNIKÁCIÓS DOSSZIÉ
SZERKEZETVIZSGÁLAT ANYAGMÉRNÖK BSc KÉPZÉS (nappali munkarendben) TANTÁRGYI KOMMUNIKÁCIÓS DOSSZIÉ MISKOLCI EGYETEM MŰSZAKI ANYAGTUDOMÁNYI KAR FÉMTANI, KÉPLÉKENYALAKÍTÁSI ÉS NANOTECHNOLÓGIAI INTÉZET Miskolc,
MIKRO- ÉS NANOTECHNIKA II: NANOTECHNOLÓGIA
NANO MIKRO- ÉS NANOTECHNIKA II: NANOTECHNOLÓGIA Dr. Pődör Bálint Óbudai Egyetem KVK Mikroelektronikai és Technológia Intézet 2. A NANOTECHNOLÓGIA ESZKÖZEI I 2012/2013 1. félév 1 2. ELŐADÁS A NANOTECHNOLÓGIA
Szerkezetvizsgálat ANYAGMÉRNÖK ALAPKÉPZÉS (BSc)
Szerkezetvizsgálat ANYAGMÉRNÖK ALAPKÉPZÉS (BSc) TANTÁRGYI KOMMUNIKÁCIÓS DOSSZIÉ MISKOLCI EGYETEM MŰSZAKI ANYAGTUDOMÁNYI KAR ANYAGTUDOMÁNYI INTÉZET Miskolc, 2008. 1. Tantárgyleírás Szerkezetvizsgálat kommunikációs
Gyorsítók. Veszprémi Viktor ATOMKI, Debrecen. Supported by NKTH and OTKA (H07-C 74281) 2009. augusztus 17 Hungarian Teacher Program, CERN 1
Gyorsítók Veszprémi Viktor ATOMKI, Debrecen Supported by NKTH and OTKA (H07-C 74281) 2009. augusztus 17 Hungarian Teacher Program, CERN 1 Az anyag felépítése Részecskefizika kvark, lepton Erős, gyenge,
PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA
PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1 Havancsák Károly, Dankházi Zoltán ELTE Anyagfizikai Tanszék PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1. BEVEZETÉS A hagyományos optikai mikroszkóp felbontóképessége a diffrakciós korlát
Elektronmikroszkópia. Nagy Péter (peter.v.nagy@gmail.com) Debreceni Egyetem, Biofizikai és Sejtbiológiai Intézet 1/47
Elektronmikroszkópia Nagy Péter (peter.v.nagy@gmail.com) Debreceni Egyetem, Biofizikai és Sejtbiológiai Intézet 1/47 x Miért van szükség elektronmikroszkópra? intenzitásprofil képernyő apertúra Egy fénnyel
Az elektromágneses sugárzás kölcsönhatása az anyaggal
Az elektromágneses sugárzás kölcsönhatása az anyaggal Radiometriai alapfogalmak Kisugárzott felületi teljesítmény Besugárzott felületi teljesítmény A fény kölcsönhatása az anyaggal 1. M ΔP W ΔA m 2 E be
4.3 Transzmissziós elektronmikroszkóp és a nagyfeloldású elektronmikroszkópia (HREM)
4.3 Transzmissziós elektronmikroszkóp és a nagyfeloldású elektronmikroszkópia (HREM) A transzmissziós elektronmikroszkópia [27,28] kifejlesztése idestova 70 éves múltra tekint vissza. Ernst Ruska 1933
Képalkotás a pásztázó elektronmikroszkóppal
1 Képalkotás a pásztázó elektronmikroszkóppal Anton van Leeuwenhoek (1632-1723, Delft) Havancsák Károly, 2011. január FEI Quanta 3D SEM/FIB 2 A TÁMOP pályázat eddigi történései 3 Időrend A helyiség kialakítás
A nanotechnológia mikroszkópjai. Havancsák Károly, 2011. január
1 A nanotechnológia mikroszkópjai Havancsák Károly, 2011. január Az előadás tematikája 2 - Transzmissziós elektronmikroszkóp (SEM), - Pásztázó elektronmikroszkóp (TEM), - Pásztázó alagútmikroszkóp (STM),
Röntgensugárzás az orvostudományban. Röntgen kép és Komputer tomográf (CT)
Röntgensugárzás az orvostudományban Röntgen kép és Komputer tomográf (CT) Orbán József, Biofizikai Intézet, 2008 Hand mit Ringen: print of Wilhelm Röntgen's first "medical" x-ray, of his wife's hand, taken
Alapvető eljárások Roncsolásmentes anyagvizsgálat
Anyagszerkezettan és anyagvizsgálat 2015/16 Roncsolásmentes anyagvizsgálat Dr. Szabó Péter János szpj@eik.bme.hu Alapvető eljárások Szemrevételezés (vizuális vizsgálat, VT) Folyadékbehatolásos vizsgálat
FEI Quanta 3D. Nanoszerkezetek vizsgálatára alkalmas kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTE TTK-n
FEI Quanta 3D Nanoszerkezetek vizsgálatára alkalmas kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTE TTK-n Havancsák Károly, Dankházi Zoltán, Varga Gábor, Ratter Kitti ELTE TTK Anyagfizikai Tanszék ELFT
Finomszemcsés anyagok mikroszerkezetének vizsgálata kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóppal
Finomszemcsés anyagok mikroszerkezetének vizsgálata kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóppal Szakdolgozat Írta: Laschober Dóra Ágnes ELTE TTK, Fizika BSc Témavezető: Havancsák Károly CSc ELTE TTK Anyagfizikai
Vizsgálatok Scanning elektronmikroszkóppal
Óbuda University e Bulletin Vol. 2, No. 1, 2011 Nagyné Halász Erzsébet Óbudai Egyetem, Bánki Donát Gépész és Biztonságtechnikai Mérnöki Kar nagyne.halasz@bgk.uni-obuda.hu Abstract: The paper describes
A sugárzás és az anyag kölcsönhatása. A béta-sugárzás és anyag kölcsönhatása
A sugárzás és az anyag kölcsönhatása A béta-sugárzás és anyag kölcsönhatása Cserenkov-sugárzás v>c/n, n törésmutató cos c nv Cserenkov-sugárzás Pl. vízre (n=1,337): 0,26 MeV c 8 m / s 2. 2* 10 A sugárzás
Elektronsugaras mikroanalízis restaurátoroknak. I. rész: pásztázó elektronmikroszkópia
Elektronsugaras mikroanalízis restaurátoroknak. I. rész: pásztázó elektronmikroszkópia Tóth Attila Lajos 1. Bevezetés A pásztázó (scanning) elektronmikroszkópot (SEM), és röntgensugaras kémiai elemzésre
NAGYFELBONTÁSÚ PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP AZ EÖTVÖS EGYETEMEN
NAGYFELBONTÁSÚ PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP AZ EÖTVÖS EGYETEMEN Havancsák Károly, Lendvai János ELTE Természettudományi Kar 2010 ôszén az Eötvös Loránd Tudományegyetem Európai Léptékkel a Tudásért, ELTE
Vázlat a transzmissziós elektronmikroszkópiához (TEM) dr. Dódony István
Dódony István: TEM, vázlat vegyészeknek, 1996 1 Vázlat a transzmissziós elektronmikroszkópiához (TEM) dr. Dódony István A TEM a szilárd anyagok kémiai és szerkezeti jellemzésére alkalmas vizsgálati módszer.
Modern mikroszkópiai módszerek 1 2011 2012
MIKROSZKÓPIA AZ ORVOS GYÓGYSZERÉSZ GYAKORLATBAN - DIAGOSZTIKA -TERÁPIA például: szemészet nőgyógyászat szövettan bakteriológia patológia gyógyszerek fejlesztése, tesztelése Modern mikroszkópiai módszerek
Az elektromágneses tér energiája
Az elektromágneses tér energiája Az elektromos tér energiasűrűsége korábbról: Hasonlóképpen, a mágneses tér energiája: A tér egy adott pontjában az elektromos és mágneses terek együttes energiasűrűsége
Orvosi Biofizika I. 12. vizsgatétel. IsmétlésI. -Fény
Orvosi iofizika I. Fénysugárzásanyaggalvalókölcsönhatásai. Fényszóródás, fényabszorpció. Az abszorpciós spektrometria alapelvei. (Segítséga 12. tételmegértéséhezésmegtanulásához, továbbá a Fényabszorpció
Röntgen-gamma spektrometria
Röntgen-gamma spektrométer fejlesztése radioaktív anyagok elemi összetétele és izotópszelektív radioaktivitása egyidejű meghatározására Szalóki Imre, Gerényi Anita, Radócz Gábor Nukleáris Technikai Intézet
Roncsolás mentes anyagvizsgálat mintakérdések. 1. Mit jelent a kristályorientáció? Hogyan lehet meghatározni?
Roncsolás mentes anyagvizsgálat mintakérdések 1. Mit jelent a kristályorientáció? Hogyan lehet meghatározni? Makroszerkezethez rendelt koord.r. (RD,TD,ND)hengerléssel párhuzamos, hengerlésre merőleges,
Energia-diszperzív röntgen elemanalízis
Fókuszált ionsugaras megmunkálás Energia-diszperzív röntgen elemanalízis FEI Quanta 3D SEM/FIB Dankházi Zoltán 2016. március 1 EDS = Energy Dispersive Spectroscopy Hol található a SEM/FIB berendezésen?
Opakásványok kristályorientáció vizsgálata a lahócai Cu-Au ércesedésben
Opakásványok kristályorientáció vizsgálata a lahócai Cu-Au ércesedésben Takács Ágnes & Molnár Ferenc Ásványtani Tanszék Visegrád, 2012. január 18-20. Kutatási téma Infravörös fluidzárvány vizsgálathoz
Felületvizsgáló és képalkotó módszerek
Felületvizsgáló és képalkotó módszerek Galbács Gábor Bevezetés A felületvizsgáló módszere köre az elmúlt évtizedekben az egyik leggyorsabban fejlődő területe volt az analitikai kémiának (és az anyagtudománynak).
EBSD vizsgálatok alkalmazása a geológiában: Enargit és luzonit kristályok orientációs vizsgálata
ELTE TTK, Ásványtani Tanszék EBSD vizsgálatok alkalmazása a geológiában: Enargit és luzonit kristályok orientációs vizsgálata Takács Ágnes & Molnár Ferenc TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KMR-2010-0003 Szubmikroszkópos
elektronmikroszkóppal
JÖVÕNK ANYAGAI, TECHNOLÓGIÁI ROVATVEZETÕK: dr. Buzáné dr. Dénes Margit és dr. Klug Ottó SZABÓ PÉTER JÁNOS A lokális szemcseorientáció meghatározása pásztázó elektronmikroszkóppal A pásztázó elektronmikroszkópos
A visszaszórt elektrondiffrakció alkalmazása az anyagvizsgálatban
A visszaszórt elektrondiffrakció alkalmazása az anyagvizsgálatban Bevezetés Szabó Péter János BME Anyagtudomány és Technológia Tanszék 1111 Budapest, Goldmann tér 3., V2/153. szpj@eik.bme.hu Hagyományos
PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA
PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1 Havancsák Károly, Dankházi Zoltán ELTE Anyagfizikai Tanszék PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1. BEVEZETÉS A hagyományos optikai mikroszkóp felbontóképessége a diffrakciós korlát
Fókuszált ionsugaras megmunkálás
FEI Quanta 3D SEM/FIB Fókuszált ionsugaras megmunkálás Dankházi Zoltán 2013. március 1 FIB = Focused Ion Beam (Fókuszált ionnyaláb) Miből áll egy SEM/FIB berendezés? elektron oszlop ion oszlop gáz injektorok
AZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA
95 AZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA DUAL BEAM SCANNING ELECTRONMICROSCOPE AT EÖTVÖS LORÁND UNIVERSITY HAVANCSÁK KÁROLY 1, BARIS ADRIENN 2, KALÁCSKA SZILVIA 3 Eötvös Loránd Tudományegyetem,
Történeti áttekintés
A fény Történeti áttekintés Arkhimédész tükrök segítségével gyújtotta fel a római hajókat. A fény hullámtermészetét Cristian Huygens holland fizikus alapozta meg a 17. században. A fénysebességet először
FIZIKA KÖZÉPSZINTŐ SZÓBELI FIZIKA ÉRETTSÉGI TÉTELEK Premontrei Szent Norbert Gimnázium, Gödöllı, 2012. május-június
1. Egyenes vonalú mozgások kinematikája mozgásokra jellemzı fizikai mennyiségek és mértékegységeik. átlagsebesség egyenes vonalú egyenletes mozgás egyenes vonalú egyenletesen változó mozgás mozgásokra
ATOMMODELLEK, SZÍNKÉP, KVANTUMSZÁMOK. Kalocsai Angéla, Kozma Enikő
ATOMMODELLEK, SZÍNKÉP, KVANTUMSZÁMOK Kalocsai Angéla, Kozma Enikő RUTHERFORD-FÉLE ATOMMODELL HIBÁI Elektromágneses sugárzáselmélettel ellentmondásban van Mivel: a keringő elektronok gyorsulnak Energiamegmaradás
SZERKEZETVIZSGÁLAT. ANYAGMÉRNÖK BSc KÉPZÉS (nappali munkarendben) TANTÁRGYI KOMMUNIKÁCIÓS DOSSZIÉ
SZERKEZETVIZSGÁLAT ANYAGMÉRNÖK BSc KÉPZÉS (nappali munkarendben) TANTÁRGYI KOMMUNIKÁCIÓS DOSSZIÉ MISKOLCI EGYETEM MŰSZAKI ANYAGTUDOMÁNYI KAR FÉMTANI, KÉPLÉKENYALAKÍTÁSI ÉS NANOTECHNOLÓGIAI INTÉZET Miskolc,
Röntgendiffrakció. Orbán József PTE, ÁOK, Biofizikai Intézet november
Röntgendiffrakció Orbán József PTE, ÁOK, Biofizikai Intézet 2013. november Előadás vázlata Röntgen sugárzás Interferencia, diffrakció (elektromágneses hullámok) Kristályok szerkezete Röntgendiffrakció
Sugárzáson, és infravörös sugárzáson alapuló hőmérséklet mérés.
Sugárzáson, és infravörös sugárzáson alapuló hőmérséklet mérés. A sugárzáson alapuló hőmérsékletmérés (termográfia),azt a fizikai jelenséget használja fel, hogy az abszolút nulla K hőmérséklet (273,16
100 kérdés Optikából (a vizsgára való felkészülés segítésére)
1 100 kérdés Optikából (a vizsgára való felkészülés segítésére) _ 1. Ismertesse a Rayleigh kritériumot? 2. Ismertesse egy objektív felbontóképességének definícióját? 3. Hogyan kell egy CCD detektort és
Az opakásványok infravörös-mikroszkópos sajátosságai és ezek jelentősége a fluidzárvány vizsgálatokban
ELTE TTK, Ásványtani Tanszék Az opakásványok infravörös-mikroszkópos sajátosságai és ezek jelentősége a fluidzárvány vizsgálatokban Takács Ágnes & Molnár Ferenc 6. Téli Ásványtudományi Iskola, Balatonfüred
EDX EBSD. Elméleti háttér Spektrumok alakja Gyakorlati alkalmazása
EDX Elméleti háttér Spektrumok alakja Gyakorlati alkalmazása EBSD Elméleti háttér Felület előkészítése Orientálás Hough-transzformáció IPF, IQ Felület minősége 2 Elektron besugárzás Röntgen foton kisugárzás
A látás és látásjavítás fizikai alapjai. Optikai eszközök az orvoslásban.
A látás és látásjavítás fizikai alapjai. Optikai eszközök az orvoslásban. Orvosi fizika és statisztika Varjú Katalin 202. október 5. Vizsgára készüléshez ajánlott: Damjanovich Fidy Szöllősi: Orvosi biofizika
Az ipari komputer tomográfia vizsgálati lehetőségei
Az ipari komputer tomográfia vizsgálati lehetőségei Dr. Czinege Imre, Kozma István Széchenyi István Egyetem 6. ANYAGVIZSGÁLAT A GYAKORLATBAN KONFERENCIA Cegléd, 2012. június 7-8. Tartalom A CT technika
Kiss László 2011. Blog: www.elka-kl.blogspot.com Email: kislacika@gmail.com
Kiss László 2011. Blog: www.elka-kl.blogspot.com Email: kislacika@gmail.com Ólommentes környezetvédelem RoHS (Restriction of Hazardous Substances), [2002/95/EC] EU irányelv az ólom leváltásáról, 2006.
E (total) = E (translational) + E (rotation) + E (vibration) + E (electronic) + E (electronic
Abszorpciós spektroszkópia Abszorpciós spektrofotometria 29.2.2. Az abszorpciós spektroszkópia a fényabszorpció jelenségét használja fel híg oldatok minőségi és mennyiségi vizsgálatára. Abszorpció Az elektromágneses
Az atommag összetétele, radioaktivitás
Az atommag összetétele, radioaktivitás Az atommag alkotórészei proton: pozitív töltésű részecske, töltése egyenlő az elektron töltésével, csak nem negatív, hanem pozitív: 1,6 10-19 C tömege az elektron
Röntgensugárzás. Röntgensugárzás
Röntgensugárzás 2012.11.21. Röntgensugárzás Elektromágneses sugárzás (f=10 16 10 19 Hz, E=120eV 120keV (1.9*10-17 10-14 J), λ
Fény- és fluoreszcens mikroszkópia. A mikroszkóp felépítése Brightfield mikroszkópia
Fény- és fluoreszcens mikroszkópia A mikroszkóp felépítése Brightfield mikroszkópia Történeti áttekintés 1595. Jensen (Hollandia): első összetett mikroszkóp (2 lencse, állítható távolság) 1625. Giovanni
FEI Quanta 3D SEM/FIB. Havancsák Károly 2010. december
1 Havancsák Károly 2010. december 2 Időrend A helyiség kialakítás tervezése 2010. május Mágneses tér, vibráció mérése 2010. május A helyiség kialakítása 2010. augusztus 4 22. A berendezés szállítása 2010.
Kristályorientáció-térképezés (SEM-EBSD) opakásványok és fluidzárványaik infravörös mikroszkópos vizsgálatához
Kristályorientáció-térképezés (SEM-EBSD) opakásványok és fluidzárványaik infravörös mikroszkópos vizsgálatához Takács Ágnes, Molnár Ferenc & Dankházi Zoltán Ásványtani Tanszék & Anyagfizikai Tanszék Centrumban
10. előadás Kőzettani bevezetés
10. előadás Kőzettani bevezetés Mi a kőzet? Döntően nagy földtani folyamatok során képződik. Elsősorban ásványok keveréke. Kőzetalkotó ásványok építik fel. A kőzetalkotó komponensek azonban nemcsak ásványok,
Biofizika. Sugárzások. Csik Gabriella. Mi a biofizika tárgya? Mi a biofizika tárgya? Biológiai jelenségek fizikai leírása/értelmezése
Mi a biofizika tárgya? Biofizika Csik Gabriella Biológiai jelenségek fizikai leírása/értelmezése Pl. szívműködés, membránok szerkezete és működése, érzékelés stb. csik.gabriella@med.semmelweis-univ.hu
Atommodellek. Az atom szerkezete. Atommodellek. Atommodellek. Atommodellek, A Rutherford-kísérlet. Atommodellek
Démokritosz: a világot homogén szubsztanciájú oszthatatlan részecskék, atomok és a közöttük lévı őr alkotja. Az atom szerkezete Egy atommodellt akkor fogadunk el érvényesnek, ha megmagyarázza a tapasztalati
Atomfizika. Fizika kurzus Dr. Seres István
Atomfizika Fizika kurzus Dr. Seres István Történeti áttekintés J.J. Thomson (1897) Katódsugárcsővel végzett kísérleteket az elektron fajlagos töltésének (e/m) meghatározására. A katódsugarat alkotó részecskét
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------2.beugro
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------2.beugro -----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------3.beugró
2008 Small World contest -18th Prize - Dr. Tamily Weissman (Harvard University - Cambridge, Massachusetts, United States) Specimen: Brainbow
2008 Small World contest -18th Prize - Dr. Tamily Weissman (Harvard University - Cambridge, Massachusetts, United States) Specimen: Brainbow transgenic mouse hippocampus (40x) Technique: Confocal Mikroszkóp
Abszorpció, emlékeztetõ
Hogyan készültek ezek a képek? PÉCI TUDMÁNYEGYETEM ÁLTALÁN RVTUDMÁNYI KAR Fluoreszcencia spektroszkópia (Nyitrai Miklós; február.) Lumineszcencia - elemi lépések Abszorpció, emlékeztetõ Energia elnyelése
NAGY ENERGIA SŰRŰSÉGŰ HEGESZTÉSI ELJÁRÁSOK
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem NAGY ENERGIA SŰRŰSÉGŰ HEGESZTÉSI ELJÁRÁSOK Dr. Palotás Béla Mechanikai Technológia és Anyagszerkezettani Tanszék Elektronsugaras hegesztés A katódból kilépő
Munkagázok hatása a hegesztési technológiára és a hegesztési kötésre a CO 2 és a szilárdtest lézersugaras hegesztéseknél
Munkagázok hatása a hegesztési technológiára és a hegesztési kötésre a CO 2 és a szilárdtest lézersugaras hegesztéseknél Fémgőz és plazma Buza Gábor, Bauer Attila Messer Innovation Forum 2016. december
Színképelemzés. Romsics Imre 2014. április 11.
Színképelemzés Romsics Imre 2014. április 11. 1 Más néven: Spektrofotometria A színképből kinyert információkból megállapítható: az atomok elektronszerkezete az elektronállapotokat jellemző kvantumszámok
ELEKTROMÁGNESES REZGÉSEK. a 11. B-nek
ELEKTROMÁGNESES REZGÉSEK a 11. B-nek Elektromos Kondenzátor: töltés tárolására szolgáló eszköz (szó szerint összesűrít) Kapacitás (C): hány töltés fér el rajta 1 V-on A homogén elektromos mező energiát
7.3. Plazmasugaras megmunkálások
7.3. Plazmasugaras megmunkálások (Plasma Beam Machining, PBM) Plazma: - nagy energiaállapotú gáz - az anyag negyedik halmazállapota - ionok és elektronok halmaza - egyenáramú ív segítségével állítják elő
Műszeres analitika. Abrankó László. Molekulaspektroszkópia. Kémiai élelmiszervizsgálati módszerek csoportosítása
Abrankó László Műszeres analitika Molekulaspektroszkópia Minőségi elemzés Kvalitatív Cél: Meghatározni, hogy egy adott mintában jelen vannak-e bizonyos ismert komponensek. Vagy ismeretlen komponensek azonosítása
Röntgen. W. C. Röntgen. Fizika-Biofizika
Röntgen Fizika-Biofizika 2014. 11. 11. Thomas Edison (1847-1931, USA) Első működő fluoroszkóp (röntgen-készülék) feltalálása, 1896 Sugárvédelem hiánya égési sérülések Clarence Madison Dally (Edison aszisztense):
Sugárzások kölcsönhatása az anyaggal
Radioaktivitás Biofizika előadások 2013 december Sugárzások kölcsönhatása az anyaggal PTE ÁOK Biofizikai Intézet, Orbán József Összefoglaló radioaktivitás alapok Nukleononkénti kötési energia (MeV) Egy
Lencse típusok Sík domború 2x Homorúan domború Síkhomorú 2x homorú domb. Homorú
Jegyzeteim 1. lap Fotó elmélet 2015. október 9. 14:42 Lencse típusok Sík domború 2x Homorúan domború Síkhomorú 2x homorú domb. Homorú Kardinális elemek A lencse képalkotását meghatározó geometriai elemek,
Bevezetés a lézeres anyagmegmunkálásba
Bevezetés a lézeres anyagmegmunkálásba FBN332E-1 Dr. Geretovszky Zsolt 2010. október 6. Anyagcsaládok Fémek Kerámiák, üvegek Műanyagok Kompozitok A családok közti különbségek tárgyalhatóak: atomi szinten
SZAKÁLL SÁNDOR, ÁsVÁNY- És kőzettan ALAPJAI
SZAKÁLL SÁNDOR, ÁsVÁNY- És kőzettan ALAPJAI 30 Műszeres ÁSVÁNYHATÁROZÁS XXX. Műszeres ÁsVÁNYHATÁROZÁs 1. BEVEZETÉs Az ásványok természetes úton, a kémiai elemek kombinálódásával keletkezett (és ma is keletkező),
Armco-vas speciális szemcsehatárainak vizsgálata EBSD-vel
Armco-vas speciális szemcsehatárainak vizsgálata EBSD-vel Gaál Zoltán, Dr. Szabó Péter János, Dr. Ginsztler János Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Anyagtudomány és Technológia Tanszék, BME-MTA
Az elektromágneses hullámok
203. október Az elektromágneses hullámok PTE ÁOK Biofizikai Intézet Kutatók fizikusok, kémikusok, asztronómusok Sir Isaac Newton Sir William Herschel Johann Wilhelm Ritter Joseph von Fraunhofer Robert
A TÖMEGSPEKTROMETRIA ALAPJAI
A TÖMEGSPEKTROMETRIA ALAPJAI web.inc.bme.hu/csonka/csg/oktat/tomegsp.doc alapján tömeg-töltés arány szerinti szétválasztás a legérzékenyebb módszerek közé tartozik (Nagyon kis anyagmennyiség kimutatására
Modern fizika laboratórium
Modern fizika laboratórium Röntgen-fluoreszcencia analízis Készítette: Básti József és Hagymási Imre 1. Bevezetés A röntgen-fluoreszcencia analízis (RFA) egy roncsolásmentes anyagvizsgálati módszer. Rövid
Gamma-röntgen spektrométer és eljárás kifejlesztése anyagok elemi összetétele és izotópszelektív radioaktivitása egyidejű elemzésére
Gamma-röntgen spektrométer és eljárás kifejlesztése anyagok elemi összetétele és izotópszelektív radioaktivitása egyidejű elemzésére OAH-ABA-16/14-M Dr. Szalóki Imre, egyetemi docens Radócz Gábor, PhD
OPTIKA. Fénykibocsátás mechanizmusa fényforrás típusok. Dr. Seres István
OPTIKA Fénykibocsátás mechanizmusa Dr. Seres István Bohr modell Niels Bohr (19) Rutherford felfedezte az atommagot, és igazolta, hogy negatív töltésű elektronok keringenek körülötte. Niels Bohr Bohr ezt