Fókuszált ionsugaras megmunkálás
|
|
- Viktória Török
- 4 évvel ezelőtt
- Látták:
Átírás
1 FEI Quanta 3D SEM/FIB Dankházi Zoltán március 1
2 FIB = Focused Ion Beam (Fókuszált ionnyaláb) Miből áll egy SEM/FIB berendezés? elektron oszlop ion oszlop gáz injektorok detektor CDEM (SE, SI) 2
3 Dual-Beam System Kétsugaras mikroszkóp 19 mm 10 mm Elektron nyaláb függőlegesen ionnyaláb 52 o -ot zár be a függőlegessel Hogy a FIB merőlegesen lássa a mintát, dönteni kell azt 52 o -kal Két nyaláb koincidenciája 3
4 LMIS = Liquid Metal Ion Source (Folyékony fémion forrás) Leggyakrabban használt fém ion FIB készülékekben: Ga + Miért Ga +? Alacsony olvadáspont (T olv = 29,8 o C) Minimális kölcsönhatás a volfrám tűvel Nem illékony, alacsony gőznyomás Kicsi felületi feszültség Kellően viszkózus Könnyen túlhűthető (a Ga hetekig folyékony marad) 4
5 LMIS = Liquid Metal Ion Source (Folyékony fémion forrás) Hogyan működik? Ga folyadék megnedvesíti a W tűt tű átmérője: 2-5 μm 10 8 V/cm mező pontforrássá formázza a Ga-ot 2-5 nm átmérővel Kihúzófeszültség ionizálja az atomokat és elindítja a Ga áramot (10 8 A/cm 2 ) Alacsony emisszió: 1-3 μa kisebb energia-szórás, stabilabb nyaláb Fűtő tekercsek W tű Ga tartály Kihúzó feszültség elektródái A nyalábban: ionok, semleges atomok, töltött fürtök (minél nagyobb áram, annál több) A Ga fogy! Ha már nem tartható fenn a nyaláb újra kell melegíteni, növelni a kihúzó- feszültséget vagy cserélni a Ga tartályt; átlagos élettartam: 400 óra 5
6 Ion oszop LIMS Kondenzor lencse Toronyban a gyorsító feszültség: 2-30 kv Két lencse általában: kondenzor és objektív Kondenzor lencse formázza a nyalábot Objektív lencse fókuszálja a nyalábot a mintára Az ionáram apertúrákkal állítható 1.5 pa-től 65 na-ig Objektív lencse Munkatávolság nagy: 19 mm (elektron nyaláb esetében 10 mm) Ion oszlop 6
7 Ion nyaláb anyag kölcsönhatása (ion-atom ütközés) vákuum minta primer ion szekunder elektronok szekunder ion továbbá töltött vagy semleges porlasztott részecskék, fürtök, röntgen fotonok. Mélység: nm (30 kev) Porlasztás ionnyalábbal implantált ion Kellően nagy áramú ion nyalábbal a minta anyaga hatékonyan eltávolítható. 7
8 Mit lehet az ionnyalábbal tenni? Képalkotás - CDEM - Continuous Dynode Electron Multiplier (Folytonos dinódájú elektron sokszorozó) SE, SI (secondary electron, ion) - ETD (Everhart-Thornley Detector ) Gázkémia Keresztmetszeti minták készítése TEM minta készítés Tomográfia (3D megjelenítés) Maratás bitmap maszkkal 8
9 CVD Chemical Vapour Deposition (Gázkémia) Különböző anyagokat (szén, szigetelő vegyület, platina) választhatunk le a minta felületére nanométeres mérettartományban. Prekurzor molekulák Ion nyaláb Illékony termékek Miért jó? Nanolitográfia Védi a mintát az ionnyalábbal történő megmunkálás során (pontosabb vonalak) Hogy működik? A tű megközelíti a mintát ( μm) Prekurzor gázt juttat a felületre Az ion nyaláb pásztázza a felületet, hatására a prekurzor elbomlik illékony molekulákra és a felületére szánt anyagra A leválasztott anyag a felületen marad Minta Párologtatott réteg 9
10 Keresztmetszet készítése Ion oszop Elektron oszop Asztal 52 -kal döntve Keresztmetszet 10
11 Felületre párologtatott platina réteg
12 Keresztmetszet készítése
13 Keresztmetszet készítése
14 Keresztmetszet készítése
15 Keresztmetszet készítése
16 Keresztmetszet készítése
17 Érintő bemetszés EBSD vizsgálathoz
18 Mikropillar (Cu) készítés
19 Mikropillar (Cu) készítés
20 Mikropillar (Cu) készítés
21 Mikropillar (Cu) készítés
22 Mikropillar (Cu) készítés
23 Mikropillar (Cu) készítés
24 Mikropillar (Cu) készítés
25 Minta készítése TEM vizsgálathoz
26 Minta készítése TEM vizsgálathoz
27 Minta készítése TEM vizsgálathoz
28 Minta készítése TEM vizsgálathoz
29 Minta készítése TEM vizsgálathoz
30 Minta készítése TEM vizsgálathoz
31 Minta készítése TEM vizsgálathoz
32 Minta készítése TEM vizsgálathoz
33 Minta készítése TEM vizsgálathoz
34 Tomográfia (Slice And View)
35 Tomográfia (Slice And View)
36 Maratás szürkeárnyalatos bitmap maszkkal (Si)
37 37
38 38
39 Köszönöm a figyelmet! 39
Fókuszált ionsugaras megmunkálás
1 FEI Quanta 3D SEM/FIB Fókuszált ionsugaras megmunkálás Ratter Kitti 2011. január 19-21. 2 FIB = Focused Ion Beam (Fókuszált ionnyaláb) Miből áll egy SEM/FIB berendezés? elektron oszlop ion oszlop gáz
RészletesebbenFókuszált ionsugaras megmunkálás
FEI Quanta 3D SEM/FIB Fókuszált ionsugaras megmunkálás Dankházi Zoltán 2013. március 1 FIB = Focused Ion Beam (Fókuszált ionnyaláb) Miből áll egy SEM/FIB berendezés? elektron oszlop ion oszlop gáz injektorok
RészletesebbenELTE Fizikai Intézet. FEI Quanta 3D FEG kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp
ELTE Fizikai Intézet FEI Quanta 3D FEG kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp mintatartó mikroszkóp nyitott ajtóval Fő egységek 1. Elektron forrás 10-7 Pa 2. Mágneses lencsék 10-5 Pa 3. Pásztázó mágnesek
RészletesebbenEnergia-diszperzív röntgen elemanalízis és Fókuszált ionsugaras megmunkálás FEI Quanta 3D SEM/FIB
Energia-diszperzív röntgen elemanalízis és Fókuszált ionsugaras megmunkálás FEI Quanta 3D SEM/FIB Dankházi Zoltán 2015. március 1 Energia-diszperzív Fókuszált ionsugaras röntgen megmunkálás elemanalízis
RészletesebbenFEI Quanta 3D. Nanoszerkezetek vizsgálatára alkalmas kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTE TTK-n
FEI Quanta 3D Nanoszerkezetek vizsgálatára alkalmas kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTE TTK-n Havancsák Károly, Dankházi Zoltán, Varga Gábor, Ratter Kitti ELTE TTK Anyagfizikai Tanszék ELFT
RészletesebbenA nanotechnológia mikroszkópja
1 Havancsák Károly, ELTE Fizikai Intézet A nanotechnológia mikroszkópja EGIS 2011. június 1. FEI Quanta 3D SEM/FIB 2 Havancsák Károly, ELTE Fizikai Intézet A nanotechnológia mikroszkópja EGIS 2011. június
RészletesebbenHavancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények
Havancsák Károly Nagyfelbontású kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp az ELTÉ-n: lehetőségek, eddigi eredmények Nanoanyagok és nanotechnológiák Albizottság ELTE TTK 2013. Havancsák Károly Nagyfelbontású
RészletesebbenHavancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja. Archeometriai műhely ELTE TTK 2013.
Havancsák Károly Az ELTE TTK kétsugaras pásztázó elektronmikroszkópja Archeometriai műhely ELTE TTK 2013. Elektronmikroszkópok TEM SEM Transzmissziós elektronmikroszkóp Átvilágítós vékony minta < 100
RészletesebbenNagyműszeres vegyész laboratórium programja. 8:15-8:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly)
Nagyműszeres vegyész laboratórium programja 8:15-8:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly) 8:30-9:15 A pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) alapjai. (Havancsák Károly) 9:30-10:15
RészletesebbenQuanta 3D SEM/FIB Kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp. Havancsák Károly
Quanta 3D SEM/FIB Kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóp Havancsák Károly http://sem.elte.hu 1 FEI Quanta 3D SEM/FIB Anton van Leeuwenhoek (1632-1723, Delft) FEI (Philips) Eindhoven 2 A Képképzés fajtái
RészletesebbenNagyműszeres vegyész laboratórium programja. 9:15-9:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly)
Nagyműszeres vegyész laboratórium programja 9:15-9:25 Rövid vizuális ismerkedés a SEM laborral. (Havancsák Károly) 9:30-11:00 A pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) alapjai és visszaszórtelektron diffrakció
RészletesebbenDankházi Z., Kalácska Sz., Baris A., Varga G., Ratter K., Radi Zs.*, Havancsák K.
Dankházi Z., Kalácska Sz., Baris A., Varga G., Ratter K., Radi Zs.*, Havancsák K. ELTE, TTK KKMC, 1117 Budapest, Pázmány Péter sétány 1/A. * Technoorg Linda Kft., 1044 Budapest, Ipari Park utca 10. Műszer:
RészletesebbenA nanotechnológia mikroszkópjai. Havancsák Károly, 2011. január
1 A nanotechnológia mikroszkópjai Havancsák Károly, 2011. január Az előadás tematikája 2 - Transzmissziós elektronmikroszkóp (SEM), - Pásztázó elektronmikroszkóp (TEM), - Pásztázó alagútmikroszkóp (STM),
RészletesebbenMIKRO- ÉS NANOTECHNIKA II
NANO MIKRO- ÉS NANOTECHNIKA II Dr. Pődör Bálint Óbudai Egyetem KVK Mikroelektronikai és Technológia Intézet 4. ELŐADÁS: ELEKTRON- ÉS IONSUGARAS NANOMEGMUNKÁLÁS 2012/2013 tanév 1. félév 1 4. ELŐADÁS: ELEKTRON-
RészletesebbenKépalkotás a pásztázó elektronmikroszkóppal
1 Képalkotás a pásztázó elektronmikroszkóppal Anton van Leeuwenhoek (1632-1723, Delft) Havancsák Károly, 2011. január FEI Quanta 3D SEM/FIB 2 A TÁMOP pályázat eddigi történései 3 Időrend A helyiség kialakítás
RészletesebbenMilyen simaságú legyen a minta felülete jó minőségű EBSD mérésekhez
1 Milyen simaságú legyen a minta felülete jó minőségű EBSD mérésekhez Havancsák Károly Dankházi Zoltán Ratter Kitti Varga Gábor Visegrád 2012. január Elektron diffrakció 2 Diffrakció - kinematikus elmélet
RészletesebbenPásztázó elektronmikroszkóp. Alapelv. Szinkron pásztázás
Pásztázó elektronmikroszkóp Scanning Electron Microscope (SEM) Rasterelektronenmikroskope (REM) Alapelv Egy elektronágyúval vékony elektronnyalábot állítunk elő. Ezzel pásztázzuk (eltérítő tekercsek segítségével)
RészletesebbenFinomszemcsés anyagok mikroszerkezetének vizsgálata kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóppal
Finomszemcsés anyagok mikroszerkezetének vizsgálata kétsugaras pásztázó elektronmikroszkóppal Szakdolgozat Írta: Laschober Dóra Ágnes ELTE TTK, Fizika BSc Témavezető: Havancsák Károly CSc ELTE TTK Anyagfizikai
RészletesebbenFEI Quanta 3D SEM/FIB. Havancsák Károly 2010. december
1 Havancsák Károly 2010. december 2 Időrend A helyiség kialakítás tervezése 2010. május Mágneses tér, vibráció mérése 2010. május A helyiség kialakítása 2010. augusztus 4 22. A berendezés szállítása 2010.
RészletesebbenEBSD-alkalmazások. Minta-elôkészítés, felületkezelés
VISSZASZÓRTELEKTRON-DIFFRAKCIÓS VIZSGÁLATOK AZ EÖTVÖS LORÁND TUDOMÁNYEGYETEMEN 2. RÉSZ Havancsák Károly, Kalácska Szilvia, Baris Adrienn, Dankházi Zoltán, Varga Gábor Eötvös Loránd Tudományegyetem, Természettudományi
RészletesebbenEnergia-diszperzív röntgen elemanalízis
Fókuszált ionsugaras megmunkálás Energia-diszperzív röntgen elemanalízis FEI Quanta 3D SEM/FIB Dankházi Zoltán 2016. március 1 EDS = Energy Dispersive Spectroscopy Hol található a SEM/FIB berendezésen?
RészletesebbenElektronmikroszkópia. Nagy Péter (peter.v.nagy@gmail.com) Debreceni Egyetem, Biofizikai és Sejtbiológiai Intézet 1/47
Elektronmikroszkópia Nagy Péter (peter.v.nagy@gmail.com) Debreceni Egyetem, Biofizikai és Sejtbiológiai Intézet 1/47 x Miért van szükség elektronmikroszkópra? intenzitásprofil képernyő apertúra Egy fénnyel
RészletesebbenRöntgensugárzás az orvostudományban. Röntgen kép és Komputer tomográf (CT)
Röntgensugárzás az orvostudományban Röntgen kép és Komputer tomográf (CT) Orbán József, Biofizikai Intézet, 2008 Hand mit Ringen: print of Wilhelm Röntgen's first "medical" x-ray, of his wife's hand, taken
Részletesebben6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT
6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT BUDAPEST UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND ECONOMICS DEPARTMENT OF ELECTRONICS TECHNOLOGY PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP
RészletesebbenMikro- és nanomechanika avagy mire IS lehet használni SEM/FIB-et. Lendvai János ELTE Anyagfizikai Tanszék
Mikro- és nanomechanika avagy mire IS lehet használni SEM/FIB-et Lendvai János ELTE Anyagfizikai Tanszék 1947-ben kezdődött a bipoláris germánium tranzisztor létrehozásával (Bell Laboratory). mikrotechnológia
RészletesebbenA TÖMEGSPEKTROMETRIA ALAPJAI
A TÖMEGSPEKTROMETRIA ALAPJAI web.inc.bme.hu/csonka/csg/oktat/tomegsp.doc alapján tömeg-töltés arány szerinti szétválasztás a legérzékenyebb módszerek közé tartozik (Nagyon kis anyagmennyiség kimutatására
Részletesebben7.3. Plazmasugaras megmunkálások
7.3. Plazmasugaras megmunkálások (Plasma Beam Machining, PBM) Plazma: - nagy energiaállapotú gáz - az anyag negyedik halmazállapota - ionok és elektronok halmaza - egyenáramú ív segítségével állítják elő
RészletesebbenRadioaktív sugárzások tulajdonságai és kölcsönhatásuk az elnyelő közeggel. A radioaktív sugárzások detektálása.
Különböző sugárzások tulajdonságai Típus töltés Energia hordozó E spektrum Radioaktí sugárzások tulajdonságai és kölcsönhatásuk az elnyelő közeggel. A radioaktí sugárzások detektálása. α-sugárzás pozití
RészletesebbenMARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFOM
MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MA RKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARKETINFO MARK ETINFO MARKETINFO MARKETINFO
RészletesebbenMikroszerkezeti vizsgálatok
Mikroszerkezeti vizsgálatok Dr. Szabó Péter BME Anyagtudomány és Technológia Tanszék 463-2954 szpj@eik.bme.hu www.att.bme.hu Tematika Optikai mikroszkópos vizsgálatok, klasszikus metallográfia. Kristálytan,
RészletesebbenA sugárzás és az anyag kölcsönhatása. A béta-sugárzás és anyag kölcsönhatása
A sugárzás és az anyag kölcsönhatása A béta-sugárzás és anyag kölcsönhatása Cserenkov-sugárzás v>c/n, n törésmutató cos c nv Cserenkov-sugárzás Pl. vízre (n=1,337): 0,26 MeV c 8 m / s 2. 2* 10 A sugárzás
RészletesebbenRöntgensugárzás 9/21/2014. Röntgen sugárzás keltése: Röntgen katódsugárcső. Röntgensugárzás keletkezése Tulajdonságok Anyaggal való kölcsönhatás
9/1/014 Röntgen Röntgen keletkezése Tulajdonságok Anyaggal való kölcsönhatás Hand mit Ringen: print of Wilhelm Röntgen's first "medical" x-ray, of his wife's hand, taken on December 1895 and presented
RészletesebbenGyorsítók. Veszprémi Viktor ATOMKI, Debrecen. Supported by NKTH and OTKA (H07-C 74281) 2009. augusztus 17 Hungarian Teacher Program, CERN 1
Gyorsítók Veszprémi Viktor ATOMKI, Debrecen Supported by NKTH and OTKA (H07-C 74281) 2009. augusztus 17 Hungarian Teacher Program, CERN 1 Az anyag felépítése Részecskefizika kvark, lepton Erős, gyenge,
RészletesebbenRöntgen-gamma spektrometria
Röntgen-gamma spektrométer fejlesztése radioaktív anyagok elemi összetétele és izotópszelektív radioaktivitása egyidejű meghatározására Szalóki Imre, Gerényi Anita, Radócz Gábor Nukleáris Technikai Intézet
RészletesebbenNAGYFELBONTÁSÚ PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP AZ EÖTVÖS EGYETEMEN
NAGYFELBONTÁSÚ PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP AZ EÖTVÖS EGYETEMEN Havancsák Károly, Lendvai János ELTE Természettudományi Kar 2010 ôszén az Eötvös Loránd Tudományegyetem Európai Léptékkel a Tudásért, ELTE
RészletesebbenPÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA
PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1 Havancsák Károly, Dankházi Zoltán ELTE Anyagfizikai Tanszék PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1. BEVEZETÉS A hagyományos optikai mikroszkóp felbontóképessége a diffrakciós korlát
RészletesebbenA szubmikronos anyagtudomány néhány eszköze. Havancsák Károly ELTE TTK Központi Kutató és Műszer Centrum július.
1 A szubmikronos anyagtudomány néhány eszköze Havancsák Károly ELTE TTK Központi Kutató és Műszer Centrum 2012. július. Mikroszkópok 2 - Transzmissziós elektronmikroszkóp (TEM), - Pásztázó elektronmikroszkóp
RészletesebbenFelületmódosító technológiák
ANYAGTUDOMÁNY ÉS TECHNOLÓGIA TANSZÉK Biokompatibilis anyagok 2011. Felületm letmódosító eljárások Dr. Mészáros István 1 Felületmódosító technológiák A leggyakrabban változtatott tulajdonságok a felület
RészletesebbenFizika 2 (Modern fizika szemlélete) feladatsor
Fizika 2 (Modern fizika szemlélete) feladatsor 1. Speciális relativitáselmélet 1. A Majmok bolygója című mozifilm és könyv szerint hibernált asztronauták a Föld távoli jövőjébe utaznak, amikorra az emberi
RészletesebbenÁbrajegyzék. Táblajegyzék
Tartalomjegyzék 1. Bevezetés... 3 2. Fizikai háttér... 4 2.2 A fókuszált ionsugaras mikroszkóp (FIB) általános felépítése és működési elve... 6 2.3 Kétsugaras mikroszkópok... 8 2.4 Anyag-ion kölcsönhatások...
RészletesebbenElektronsugaras mikroanalízis restaurátoroknak. I. rész: pásztázó elektronmikroszkópia
Elektronsugaras mikroanalízis restaurátoroknak. I. rész: pásztázó elektronmikroszkópia Tóth Attila Lajos 1. Bevezetés A pásztázó (scanning) elektronmikroszkópot (SEM), és röntgensugaras kémiai elemzésre
RészletesebbenCCD detektorok Spektrofotométerek Optikai méréstechnika. Németh Zoltán 2013.11.15.
CCD detektorok Spektrofotométerek Optikai méréstechnika Németh Zoltán 2013.11.15. Detektorok Működésük, fontosabb jellemző adataik Charge Coupled Device - töltéscsatolt eszköz Az alapelvet 1970 körül fejlesztették
RészletesebbenProgramozható vezérlő rendszerek. Elektromágneses kompatibilitás II.
Elektromágneses kompatibilitás II. EMC érintkező védelem - az érintkezők nyitása és zárása során ún. átívelések jönnek létre - ezek csökkentik az érintkezők élettartamát - és nagyfrekvenciás EM sugárzások
RészletesebbenTextíliák felületmódosítása és funkcionalizálása nem-egyensúlyi plazmákkal
Óbudai Egyetem Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Textíliák felületmódosítása és funkcionalizálása nem-egyensúlyi plazmákkal Balla Andrea Témavezetők: Dr. Klébert Szilvia, Dr. Károly Zoltán
RészletesebbenSugárzás és anyag kölcsönhatásán alapuló módszerek
Sugárzás és anyag kölcsönhatásán alapuló módszerek Elektronmikroszkópok A leképzendő mintára elektronsugarakat bocsátunk. Mivel az elektronsugár (mint hullám) hullámhossza kb. 5 nagyságrenddel kisebb a
RészletesebbenMegmérjük a láthatatlant
Megmérjük a láthatatlant (részecskefizikai detektorok) Hamar Gergő MTA Wigner FK 1 Tartalom Mik azok a részecskék? mennyi van belőlük? miben különböznek? Részecskegyorsítók, CERN mire jó a gyorsító? hogy
RészletesebbenPásztázó elektronmikroszkópia (SEM) Elektronsugaras mikroanalízis (EPMA)
Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) Elektronsugaras mikroanalízis (EPMA) Anyagtudományi analitikai vizsgálati módszerek Koczka Béla Szervetlen és Analitikai kémia Tanszék Mikroszkópos leképezési technikák
RészletesebbenKristályorientáció-térképezés (SEM-EBSD) opakásványok és fluidzárványaik infravörös mikroszkópos vizsgálatához
Kristályorientáció-térképezés (SEM-EBSD) opakásványok és fluidzárványaik infravörös mikroszkópos vizsgálatához Takács Ágnes, Molnár Ferenc & Dankházi Zoltán Ásványtani Tanszék & Anyagfizikai Tanszék Centrumban
RészletesebbenA testek részecskéinek szerkezete
A testek részecskéinek szerkezete Minden test részecskékből, atomokból vagy több atomból álló molekulákból épül fel. Az atomok is összetettek: elektronok, protonok és neutronok találhatók bennük. Az elektronok
RészletesebbenElektromos áram, egyenáram
Elektromos áram, egyenáram Áram Az elektromos töltések egyirányú, rendezett mozgását, áramlását, elektromos áramnak nevezzük. (A fémekben az elektronok áramlanak, folyadékokban, oldatokban az oldott ionok,
RészletesebbenTypotex Kiadó. Tartalomjegyzék
Tartalomjegyzék Előszó 1 1. Az alapok 3 1.1. A pásztázó elektronmikroszkópia helye a korszerű tudományban 3 Irodalom 6 1.2. Elektron anyag kölcsönhatás 7 1.2.1. Rugalmas szórás 12 1.2.2. Rugalmatlan szórás
RészletesebbenNehéz töltött részecskék (pl. α-sugárzás) kölcsönhatása
Az ionizáló sugárzások kölcsönhatása anyaggal, nehéz és könnyű töltött részek kölcsönhatása, röntgen és γ-sugárzás kölcsönhatása Az ionizáló sugárzások mérése, gáztöltésű detektorok (ionizációs kamra,
RészletesebbenElektromos áram, áramkör, ellenállás
Elektromos áram, áramkör, ellenállás Az anyagok szerkezete Az anyagokat atomok, molekulák építik fel, ezekben negatív elektromos állapotú elektronok és pozitív elektromos állapotú protonok vannak. Az atomokban
RészletesebbenAz expanziós ködkamra
A ködkamra Mi az a ködkamra? Olyan nyomvonaljelző detektor, mely képes ionizáló sugárzások és töltött részecskék útját kimutatni. A kamrában túlhűtött gáz található, mely a részecskék által keltett ionokon
RészletesebbenAZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA
95 AZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA DUAL BEAM SCANNING ELECTRONMICROSCOPE AT EÖTVÖS LORÁND UNIVERSITY HAVANCSÁK KÁROLY 1, BARIS ADRIENN 2, KALÁCSKA SZILVIA 3 Eötvös Loránd Tudományegyetem,
RészletesebbenPásztázó elektronmikroszkóp (SEM scanning electronmicroscope)
Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM scanning electronmicroscope) Laborgykorlat Thiele Ádám Az EM és az OM összehasonlítása Az elektronmikroszkóp (EM) működési elve azonos az optikai mikroszkópéval (OM). Az
RészletesebbenMézerek és lézerek. Berta Miklós SZE, Fizika és Kémia Tsz. 2006. november 19.
és lézerek Berta Miklós SZE, Fizika és Kémia Tsz. 2006. november 19. Fény és anyag kölcsönhatása 2 / 19 Fény és anyag kölcsönhatása Fény és anyag kölcsönhatása E 2 (1) (2) (3) E 1 (1) gerjesztés (2) spontán
RészletesebbenAtomfizika. Fizika kurzus Dr. Seres István
Atomfizika Fizika kurzus Dr. Seres István Történeti áttekintés 440 BC Democritus, Leucippus, Epicurus 1660 Pierre Gassendi 1803 1897 1904 1911 19 193 John Dalton Joseph John (J.J.) Thomson J.J. Thomson
RészletesebbenMikropillárok plasztikus deformációja 3.
Mikropillárok plasztikus deformációja 3. TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KMR-2010-0003 projekt Visegrád 2012 Mikropillárok plasztikus deformációja 3.: Ultra-finomszemcsés Al-30Zn ötvözet plasztikus deformációjának
RészletesebbenA gamma-sugárzás kölcsönhatásai
Ref. [3] A gamma-sugárzás kölcsönhatásai Az anyaggal való kölcsönhatás kis valószínűségű hatótávolság nagy A sugárzás gyengülését 3 féle kölcsönhatás okozza. fotoeffektus Compton-szórás párkeltés A gamma-fotonok
RészletesebbenEDX EBSD. Elméleti háttér Spektrumok alakja Gyakorlati alkalmazása
EDX Elméleti háttér Spektrumok alakja Gyakorlati alkalmazása EBSD Elméleti háttér Felület előkészítése Orientálás Hough-transzformáció IPF, IQ Felület minősége 2 Elektron besugárzás Röntgen foton kisugárzás
Részletesebben9. Radioaktív sugárzás mérése Geiger-Müller-csővel. Preparátum helyének meghatározása. Aktivitás mérés.
9. Radioaktív sugárzás mérése Geiger-Müller-csővel. Preparátum helyének meghatározása. ktivitás mérés. MÉRÉS CÉLJ: Megismerkedni a radioaktív sugárzás jellemzésére szolgáló mértékegységekkel, és a sugárzás
RészletesebbenÁltalános Kémia, BMEVESAA101
Általános Kémia, BMEVESAA101 Dr Csonka Gábor, egyetemi tanár Az anyag Készítette: Dr. Csonka Gábor egyetemi tanár, csonkagi@gmail.com 1 Jegyzet Dr. Csonka Gábor http://web.inc.bme.hu/csonka/ Óravázlatok:
RészletesebbenA kromatográfia és szerepe a sokalkotós rendszerek minőségi és mennyiségi jellemzésében. Dr. Balla József 2019.
A kromatográfia és szerepe a sokalkotós rendszerek minőségi és mennyiségi jellemzésében. Dr. Balla József 2019. 1 Kromatográfia 2 3 A kromatográfia definíciója 1. 1993 IUPAC: New Unified Nomenclature for
RészletesebbenNagytöltésű ionok áthaladása nanokapillárisokon
Nagytöltésű ionok áthaladása nanokapillárisokon Juhász Zoltán 20 éves az Elektron-ciklotronrezonanciás Ionforrás Laboratórium Felfedezés (2002): Lassú ionok képesek áthaladni szigetelő fóliákban kialakított
RészletesebbenÁltalános Kémia, BMEVESAA101 Dr Csonka Gábor, egyetemi tanár. Az anyag Készítette: Dr. Csonka Gábor egyetemi tanár,
Általános Kémia, BMEVESAA101 Dr Csonka Gábor, egyetemi tanár Az anyag Készítette: Dr. Csonka Gábor egyetemi tanár, csonkagi@gmail.com 1 Jegyzet Dr. Csonka Gábor http://web.inc.bme.hu/csonka/ Facebook,
RészletesebbenCsapágyak szigetelési lehetőségei a kóbor áram ellen. Schaeffler Gruppe
Csapágyak szigetelési lehetőségei a kóbor áram ellen Kóbor áram Kóbor áram okozta csapágy károk Szigetelés a kóbor áram ellen 23.11.2009 Seite 2 Kóbor áram Kóbor áram okozta csapágy károk Szigetelés a
RészletesebbenJegyzet. Kémia, BMEVEAAAMM1 Műszaki menedzser hallgatók számára Dr Csonka Gábor, egyetemi tanár Dr Madarász János, egyetemi docens.
Kémia, BMEVEAAAMM Műszaki menedzser hallgatók számára Dr Csonka Gábor, egyetemi tanár Dr Madarász János, egyetemi docens Jegyzet dr. Horváth Viola, KÉMIA I. http://oktatas.ch.bme.hu/oktatas/konyvek/anal/
RészletesebbenMunkagázok hatása a hegesztési technológiára és a hegesztési kötésre a CO 2 és a szilárdtest lézersugaras hegesztéseknél
Munkagázok hatása a hegesztési technológiára és a hegesztési kötésre a CO 2 és a szilárdtest lézersugaras hegesztéseknél Fémgőz és plazma Buza Gábor, Bauer Attila Messer Innovation Forum 2016. december
RészletesebbenAtomfizika. Fizika kurzus Dr. Seres István
Atomfizika Fizika kurzus Dr. Seres István Történeti áttekintés J.J. Thomson (1897) Katódsugárcsővel végzett kísérleteket az elektron fajlagos töltésének (e/m) meghatározására. A katódsugarat alkotó részecskét
RészletesebbenLakos István WESSLING Hungary Kft. Zavaró hatások kezelése a fémanalitikában
Lakos István WESSLING Hungary Kft. Zavaró hatások kezelése a fémanalitikában AAS ICP-MS ICP-AES ICP-AES-sel mérhető elemek ICP-MS-sel mérhető elemek A zavarások felléphetnek: Mintabevitel közben Lángban/Plazmában
RészletesebbenPÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA
PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1 Havancsák Károly, Dankházi Zoltán ELTE Anyagfizikai Tanszék PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA 1. BEVEZETÉS A hagyományos optikai mikroszkóp felbontóképessége a diffrakciós korlát
RészletesebbenElektrosztatikai alapismeretek
Elektrosztatikai alapismeretek THALÉSZ: a borostyánt (élektron) megdörzsölve az a könnyebb testeket magához vonzza. Az egymással szorosan érintkező anyagok elektromosan feltöltődnek, elektromos állapotba
RészletesebbenAnyagfelvitellel járó felületi technológiák 2. rész
SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM GYŐR Felületi technológiák Anyagfelvitellel járó felületi technológiák 2. rész 4. Gőzfázisból történő bevonatolás PVD eljárás CVD eljárás 5. Ionimplantáció 6. Passziválás Áttekintés
Részletesebben4. Szervetlen anyagok atomemissziós színképének meghatározása
Környezet diagnosztika fizikai módszerei, Környezettudományi MSc, környezetfizika szakirány 4. Szervetlen anyagok atomemissziós színképének meghatározása 1.1. Emissziós lángspektrometria, 1.2. Induktív
Részletesebben----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------2.beugro
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------2.beugro -----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------3.beugró
RészletesebbenKÖZÉPSZINTŰ ÍRÁSBELI VIZSGA
Név:... osztály:... ÉRETTSÉGI VIZSGA 2006. május 15. FIZIKA KÖZÉPSZINTŰ ÍRÁSBELI VIZSGA 2006. május 15. 8:00 Az írásbeli vizsga időtartama: 120 perc Pótlapok száma Tisztázati Piszkozati OKTATÁSI MINISZTÉRIUM
RészletesebbenDetektorok. Siklér Ferenc MTA KFKI Részecske- és Magfizikai Kutatóintézet Budapest
Detektorok Siklér Ferenc sikler@rmki.kfki.hu MTA KFKI Részecske- és Magfizikai Kutatóintézet Budapest Hungarian Teachers Programme 2008 Genf, 2008. augusztus 19. Detektorok 1970 16 GeV π nyaláb, folyékony
RészletesebbenElektromosság, áram, feszültség
Elektromosság, áram, feszültség Elektromos alapjelenségek Egymással szorosan érintkező ( pl. megdörzsölt) felületű anyagok a szétválás után elektromos állapotba kerülnek. Azonos elektromos állapotú anyagok
RészletesebbenELEKTROSZTATIKA. Ma igazán feltöltődhettek!
ELEKTROSZTATIKA Ma igazán feltöltődhettek! Elektrosztatikai alapismeretek THALÉSZ: a borostyánt (élektron) megdörzsölve az a könnyebb testeket magához vonzza. Elektrosztatikai alapjelenségek Az egymással
RészletesebbenHibrid Integrált k, HIC
Hordozók Hibrid Integrált Áramkörök, k, HIC Az alábbi bemutató egyes ábráit a Dr. Illyefalvi Vitéz Zsolt Dr. Ripka Gábor Dr. Harsányi Gábor: Elektronikai technológia, ill. Dr Ripka Gábor: Hordozók, alkatrészek
RészletesebbenRöntgensugárzás. Röntgensugárzás
Röntgensugárzás 2012.11.21. Röntgensugárzás Elektromágneses sugárzás (f=10 16 10 19 Hz, E=120eV 120keV (1.9*10-17 10-14 J), λ
RészletesebbenNAGY ENERGIA SŰRŰSÉGŰ HEGESZTÉSI ELJÁRÁSOK
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem NAGY ENERGIA SŰRŰSÉGŰ HEGESZTÉSI ELJÁRÁSOK Dr. Palotás Béla Mechanikai Technológia és Anyagszerkezettani Tanszék Elektronsugaras hegesztés A katódból kilépő
RészletesebbenSugárterápia. Ionizáló sugárzások elnyelődésének következményei. Konzultáció: minden hétfőn 15 órakor. 1. Fizikai történések
Sugárterápia 40% 35% 30% 25% 20% 15% % 5% 0% 2014/2015. tanév FOK biofizika kollokvium jegyspektruma 5 4,5 4 3,5 3 2,5 2 1,5 1 Konzultáció: minden hétfőn 15 órakor Ionizáló sugárzások elnyelődésének következményei
RészletesebbenFinomszerkezetvizsgálat
Anyagszerkezettan és anyagvizsgálat 2015/16 Finomszerkezetvizsgálat Dr. Szabó Péter János szpj@eik.bme.hu Szerkezetvizsgálat szintjei Atomi elrendeződés vizsgálata (röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkóp,
RészletesebbenSzerkezetvizsgálat szintjei
Anyagszerkezettan és anyagvizsgálat 2015/16 Finomszerkezetvizsgálat Dr. Szabó Péter János szpj@eik.bme.hu Szerkezetvizsgálat szintjei Atomi elrendeződés vizsgálata (röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkóp,
RészletesebbenIntegrált áramkörök/1. Informatika-elekronika előadás 10/20/2007
Integrált áramkörök/1 Informatika-elekronika előadás 10/20/2007 Mai témák Fejlődési tendenciák, roadmap-ek VLSI alapfogalmak A félvezető gyártás alapműveletei A MOS IC gyártás lépései 10/20/2007 2/48 Integrált
RészletesebbenKéprekonstrukció 2. előadás
Képrekonstrukció 2. előadás Balázs Péter Képfeldolgozás és Számítógépes Grafika tanszék Szegedi Tudományegyetem Az atomszerkezet Atommag (nukleusz): {protonok (poz. töltés) és neutronok} = nukleonok Keringő
Részletesebben100 o C víz forrása 212 o F 0 o C víz olvadása 32 o F T F = 9/5 T C Példák: 37 o C (láz) = 98,6 o F 40 o C = 40 o F 20 o C = 68 o F
III. HőTAN 1. A HŐMÉSÉKLET ÉS A HŐ Látni fogjuk: a mechanika fogalmai jelennek meg mikroszkópikus szinten 1.1. A hőmérséklet Mindennapi általános tapasztalatunk van. Termikus egyensúly a résztvevők hőmérséklete
RészletesebbenSugárterápia. Ionizáló sugárzások elnyelődésének következményei
Sugárterápia Sugárterápia: ionizáló sugárzások klinikai alkalmazása malignus daganatok eltávolításában. A sugárkezelés során célunk az ionizáló sugárzás terápiás dózisának elérése a kezelt daganatban a
RészletesebbenPorózus szerkezetű fémes anyagok. Kerámiák és kompozitok ORBULOV IMRE
Porózus szerkezetű fémes anyagok Kerámiák és kompozitok ORBULOV IMRE 2006.11.07. Az előadás során megismerjük......a porózus szerkezetű fémes anyagok fogalmát...az előállítási lehetőségeiket...az alapvető
RészletesebbenTÖMEGSPEKTROMÉTEREK SZEREPE A FÖLDTUDOMÁNYBAN. Palcsu László MTA Atommagkutató Intézet (Atomki) Környezet- és Földtudományi Laboratórium, Debrecen
TÖMEGSPEKTROMÉTEREK SZEREPE A FÖLDTUDOMÁNYBAN Palcsu László MTA Atommagkutató Intézet (Atomki) Környezet- és Földtudományi Laboratórium, Debrecen Miről lesz szó? - Előzmények - Meglévő, hamarosan beszerzendő
RészletesebbenMágnesség és elektromos vezetés kétdimenziós
Mágnesség és elektromos vezetés kétdimenziós molekulakristályokban Jánossy András Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Fizikai Intézet, Fizika Tanszék Kondenzált Anyagok MTA-BME Kutatócsoport
RészletesebbenAz elektron hullámtermészete. Készítette Kiss László
Az elektron hullámtermészete Készítette Kiss László Az elektron részecske jellemzői Az elektront Joseph John Thomson fedezte fel 1897-ben. 1906-ban Nobel díj! Az elektronoknak, az elektromos és mágneses
RészletesebbenPelletek ablációjának dinamikai vizsgálata
Pelletek ablációjának dinamikai vizsgálata Készítette: Cseh Gábor Fizika BSc 3. évf. Témavezető: Dr. Kocsis Gábor RMKI Plazmafizikai főosztály Plazma és tokamak Az anyag negyedik halmazállapota Ionizált
RészletesebbenPÁSZTÁZÓSZONDÁS MIKROSZKÓPIA
PÁSZTÁZÓSZONDÁS MIKROSZKÓPIA Molnár László Milán Mikro- és nanotechnológia 2008.10.14. MIKROSZKÓPOS MÓDSZEREK I. OPTIKAI ÉS ELEKTRON Név Mőkıdés elve Elınyök Hátrányok Optikai Egyszerő Diffrakciólimitált
RészletesebbenAbszorpciós spektrometria összefoglaló
Abszorpciós spektrometria összefoglaló smétlés: fény (elektromágneses sugárzás) tulajdonságai, kettős természet fény anyag kölcsönhatás típusok (reflexió, transzmisszió, abszorpció, szórás) Abszorpció
RészletesebbenElőadás menete. Magfúzióból nyerhető energia és az energiatermelés feltétele. Fúziós kutatási ágazatok
Előadás menete Magfúzióból nyerhető energia és az energiatermelés feltétele Fúziós kutatási ágazatok Hőmérséklet és sűrűségmérés egyik módszere plazmafizikában a Thomson szórás Fúziós kutatás célja A nap
RészletesebbenAz anyagi rendszerek csoportosítása
Kémia 1 A kémiai ismeretekről A modern technológiai folyamatok és a környezet védelmére tett intézkedések alig érthetőek kémiai tájékozottság nélkül. Ma már minden mérnök számára alapvető fontosságú a
RészletesebbenMTA Atommagkutató Intézet, 4026 Debrecen, Bem tér 18/c.
Negatív hidrogénionok keletkezése 7 kev-es OH + + Ar és OH + + aceton ütközésekben: Egy általános mechanizmus hidrogént tartalmazó molekuláris rendszerekre JUHASZ Zoltán a), BENE Erika a), RANGAMA Jimmy
Részletesebben