Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez
|
|
- Ödön Király
- 5 évvel ezelőtt
- Látták:
Átírás
1 Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola, Mikroelektronika és Technológia Szakmacsoport Magyar Tudományos Akadémia, Energiatudományi Kutatóközpont, Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet, Mikrotechnológia Laboratórium Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez Doktori (Ph.D.) értekezés tézisfüzete készítette: Kárpáti Tamás témavezető: Dr. Pap Andrea Edit konzulens: Dr. Mizsei János 2015
2 2
3 A doktori munka készítésének helye és címe: Magyar Tudományos Akadémia, Energiakutató Központ, Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet, Mikrotechnológiai Laboratórium 1121 Budapest, Konkoly Thege Miklós út 29-33, 29B épület. 3
4 Bevezetés Az MTA EK MFA Mikrotechnológia Laboratóriumában integrált MEMS/NEMS (MEMS Micro-Electro-Mechanical System/NEMS Nano-Electro-Mechanical System) érzékelők, beavatkozók, mikrofluidikai rendszerek kutatása és fejlesztése folyik. A széles spektrumot felölelő, különböző mikrotechnológiai eljárásokat és az ezekhez szükséges berendezéseket tartalmazó sornak szerves része a szeletkötő készülék is. A szeletkötési technológia lehetőséget nyújt háromdimenziós mikroszerkezetek kialakítására. Szeletkötéssel kiegészítve a tömbi- vagy felületi mikromechanikát, lehetségessé válik összetettebb geometriájú szenzorok, vagy éppen mikrofluidikai csatornahálózatok megvalósítása is. Munkámban alapvető célom volt a MEMS gyártástechnológiában felmerülő szeletkötési eljárások kutatásfejlesztése, alkalmazásukkal és optimalizálásukkal, részben konkrét alkalmazási feladatok megoldása, illetve új eszközök és technológiák kidolgozása és megvalósítása. A dolgozatban többek között egy új, hibrid kötési technológiát ismertetek, amelyben anódos és fémdiffúziós szeletkötést alkalmaztam egyidejűleg, ezzel hoztam létre mechanikai és elektromos kötést két, a célnak megfelelő szelet között. A hibrid kötés alkalmazását egy 3D erőmérő szenzor megvalósításával demonstrálom, kitérve elektromos, mechanikai, termikus tulajdonságaira és az új szeletkötési technológia azokra gyakorolt előnyös hatásaira. A szeletkötés közben a berendezésben lejátszódó folyamatok in-situ követésére kifejlesztettem az anódos kötést a művelet közben folyamatosan monitorozó mérési eljárást. Ez a módszer valósidejű információkat szolgáltat a kötés során kialakuló elektrosztatikus erő nagyságáról, melynek ismerete pontosabb és gyorsabb folyamatoptimalizálásra ad lehetőséget. 4
5 Munkám során felismertem, hogy a mikrofluidikai rendszerekben sok előnnyel járhat mikroplazma lokális alkalmazása. Ez motivált abban, hogy mikrofluidikai rendszerekbe illeszthető, felületmódosításra is alkalmas mikroplazma-generátor struktúrát tervezzek, és valósítsak meg szeletkötési eljárás alkalmazásával. Bemutatom ennek két lehetséges alkalmazását is: egy mikroszkopikus méretekben megvalósított lokális kémiai felületmódosítási eljárást dolgoztam ki és egy molekula-emissziós spektroszkópiai vizsgálatokra alkalmas mikrofluidikai reaktorszerkezetet valósítottam meg. 5
6 A kutatómunka új tudományos eredményei 1. tézis Elektrosztatikus erővel segített alumínium fém fúziós kötési eljárás kidolgozása és minősítése Elsőként dolgoztam ki és optimalizáltam az elektrosztatikus erővel segített alumínium fémdiffúziós szeletkötési eljárást. Bizonyítottam, hogy alkalmazásával megbízható mechanikai és elektromos kötés alakítható ki a szilícium MEMS eszköz és az üveghordozó között. Megmutattam, hogy az általam optimalizált 450 C kötési hőmérséklet, 60 perc kötési időtartam és 1000 V elektromos előfeszítés beállításával kialakuló elektrosztatikus erő a kötésben résztvevő alumínium felületeken roncsolja a natív Al 2 O 3 réteget, így biztosítva a fémdiffúzió feltételeit. [T1, T2] 1.1. altézis 1.2. altézis Szerkezeti vizsgálatokkal és funkcionális mérésekkel bizonyítottam az Al-Al rétegek között létrejövő kötés kialakulását és annak ohmos jellegét. Igazoltam az Al rétegek között a diffúzió létrejöttét, valamint, hogy a határfelületen dominánsan <111> orientációjú kristályszerkezet alakul ki. A kialakított kontaktusok hosszú távú megbízhatóságát ciklikus hőkezelési teszttel bizonyítottam. Igazoltam az eljárás alkalmazhatóságát nyomásmérő és 3D erőmérő mikro-érzékelők kialakításában. A nemlineáris hőmérsékletfüggő nyugalmi kimeneti jel vizsgálatával bizonyítottam a módszer termo-mechanikai feszültséget csökkentő hatását. 6
7 1. ábra. Al rétegek között kialakított diffúziós kötés eredménye (TEM). 2. ábra. Üveghordozóra kötött 3D erőmérő chip SEM képe. 3. ábra. Üveghordozóra kötött 3D erőmérő chipek. 7
8 2. tézis Anódos kötés során a szeletek között kialakuló elektrosztatikus erő in-situ mérési módszerének kidolgozása Ipari szeletkötő berendezésbe is integrálható, új in-situ mérési módszert dolgoztam ki az anódos kötés során kialakuló elektrosztatikus erő monitorozására. Ehhez specifikus, Sibórszilikátüveg szeletpáron kialakított teszteszközt terveztem, amely lehetővé teszi a szeletkötés közben az elektrosztatikus erő in-situ mérését. Igazoltam, hogy a kapacitív elven működő mérőstruktúra elektródái között az elektromos potenciál változását mérve valós időben meghatározható az elektrosztatikus erő nagysága. [T3] 2.1. altézis 2.2. altézis A mérési módszert különböző kötési paraméterek (200 C / V; 300 C / 800 V; 400 C / 800 V) mellett alkalmazva, és a mért elektromos jellemzők alapján számított erőértéket alapul véve kísérletileg igazoltam az irodalomban szereplő elméleti számításokon alapuló, a kötési erőre vonatkozó becslések helyességét. Megterveztem és megvalósítottam egy szilícium mikromechanikai technológiával készült tesztstruktúrát, amely a szeletkötő berendezés átalakítása nélkül alkalmas a kötési folyamat in-situ monitorozására. 8
9 4. ábra. Elektrosztatikus erő in-situ mérésére alkalmas elrendezés sematikus rajza. 5. ábra. Méréshez előkészített szeletpár. 6. ábra. Érzékelőelemeken detektált elektrosztatikus térerősség. 9
10 3. tézis Mikrofluidikai rendszerekbe integrálható mikroplazmagenerátor tervezése, megvalósítása és kísérleti vizsgálata Megterveztem és elkészítettem egy mikrotechnológiai lépésekkel megvalósítható DBD (dielektrikummal határolt kisülés) mikro-plazmareaktort. Köztes polikristályos szilíciumréteg alkalmazásán alapuló üveg-üveg kötési technológiát dolgoztam ki, amely lehetővé tette az eszköz mikrofluidikai rendszerbe, illetve reaktorba való integrációját. Normál környezeti nyomás és 13 khz frekvenciájú gerjesztés mellett az eszköz alkalmas különböző gázok (levegő, N 2, He, Ar, Ne, CO 2, aceton-gőz) ionizálására és a kialakuló plazma stabil fenntartására, kevesebb, mint 1,07 W/mm 3 teljesítmény-felvétel mellett. [T4, T5] 3.1. altézis A kidolgozott technológia alkalmazásával kis mennyiségű (< 0,75 mm 3 ) gáz/gőz molekula-emissziós spektroszkópiai vizsgálatára alkalmas vákuum-tömör reaktorszerkezet hoztam létre, az eszközt plazmaforrásként integrálva. Az eszköz analitikai célú alkalmazását különböző gázok és gőzök (N 2, He, Ar, Ne, CO 2, acetongőz) fotoemissziós spektroszkópián alapuló vizsgálatával demonstráltam. 10
11 7. ábra. Megvalósított mikro-plazmagenerátor. 8. ábra. Mikrofluidikai csatornába integrált plazmareaktor részlet (SEM). 9. ábra. A csatornában generált neon plazma. (1 atm Ne, U pp =542 V, f=13 khz, fénykép exponálási ideje: 15 s) 11
12 Tézisekhez kapcsolódó publikációk [T1] T. Kárpáti, A.E. Pap, Gy. Radnóczi, B. Beke, I. Bársony and P. Fürjes. Reliable aluminum contact formation by electrostatic bonding. J. Micromech. Microeng. 25(075009):1-8, 2015 [T2] T. Kárpáti, S. Kulinyi, R. Végvári, J. Ferencz, A. Nagy, A.E. Pap and G. Battistig. Packaging of a 3-axial Piezoresistive Force Sensor with Backside Contacts. Microsyst. Technol. 20: , 2014 [T3] T. Karpati, A. E. Pap, M. Adam, J. Ferencz, P. Furjes, G. Battistig and I. Barsony. Electrostatic force detection during anodic wafer bonding. Sensors, 2012 IEEE, pp.1-4, Oct , 2012 [T4] T. Kárpáti, E. Holczer, J. Ferencz, A. E. Pap and P. Fürjes. In-situ surface modification of microfluidic channels by integrated plasma source. Eurosensors 2014 XXVIII, Procedia Engineering 87: , 2014 [T5] T. Kárpáti, I. Bársony and P. Fürjes. Microplasma Chamber for Molecular Emission Spectroscopy. Sensors, 2014 IEEE, pp ,
13 Tézisekhez szorosan nem kapcsolódó publikációk [N1] T. Kárpáti, Andrea Edit Pap, Sándor Kulinyi. Prototype MEMS Capacitive Pressure Sensor Design and Manufacturing. Periodica Polytechnica-EE 57(1):3-7, 2013 [N2] S. Kulinyi, R. Vegvari, A. Pongracz, A. Nagy, T. Karpati, M. Adam, G. Battistig, I. Bársony. Flexible packaging for tyre integrated shear force sensor. Sensors, 2012 IEEE, pp.1-4, Oct , 2012 [N3] Z. Fekete, P. Furjes, T. Karpati, G. A. B. Gal, I. Rajta. MEMScompatible hard coating technique of moveable 3D silicon microstructures. Material Science Forum 659: , 2010 [N4] Kárpáti Tamás. Szilícium alapú 3 dimenziós erőmérők kialakítása és tokozása: (1. rész). Elektronet, 22(7):36-37, 2013 [N5] Kárpáti Tamás. Szilícium alapú 3 dimenziós erőmérők kialakítása és tokozása: (2. rész). Elektronet, 22(8):28-30, 2013 [N6] Kárpáti Tamás. MEMS Kapacitív Nyomásmérő Kialakítása: (1. rész). Elektronet, 19(5): 20-22, 2010 [N7] Kárpáti Tamás. MEMS Kapacitív Nyomásmérő Kialakítása: (2. rész). Elektronet, 19(6):18-19,
14 14
15 15
MIKROELEKTRONIKAI ÉRZÉKELİK I
MIKROELEKTRONIKAI ÉRZÉKELİK I Dr. Pıdör Bálint BMF KVK Mikroelektronikai és Technológia Intézet és MTA Mőszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutató Intézet 8. ELİADÁS: MECHANIKAI ÉRZÉKELİK I 8. ELİADÁS 1.
RészletesebbenTextíliák felületmódosítása és funkcionalizálása nem-egyensúlyi plazmákkal
Óbudai Egyetem Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Textíliák felületmódosítása és funkcionalizálása nem-egyensúlyi plazmákkal Balla Andrea Témavezetők: Dr. Klébert Szilvia, Dr. Károly Zoltán
RészletesebbenDoktori (Ph.D.) értekezés
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola Mikroelektronika és Technológia Szakmacsoport Magyar Tudományos Akadémia, Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki
RészletesebbenENIAC SE2A ENIAC CAJAL
1 Nyertes ENIAC projektek az MTA orjából ENIAC SE2A ENIAC CAJAL Contact email: dragon@ttk.mta.hu Phone: +36-1-392-2614 Fax: +36-1-392-2226 Mailing Address: P.O.B. 49, H-1525 Budapest, HUNGARY Visiting
RészletesebbenSZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK
SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 2. ELŐADÁS: ÉRZÉKELŐK TECHNOLÓGIÁI: SPECIÁLIS ANYAGTÍPUSOK ÉS TECHNOLÓGIÁK 2015/2016 tanév 2. félév 1 TECHNOLÓGIÁK ÉS ANYAGOK: ÁTTEKINTÉS 1. Monolit félvezető technológiák 2.
RészletesebbenMoore & more than Moore
1 Moore & more than Moore Fürjes Péter E-mail:, www.mems.hu 2 A SZILÍCIUM (silex) 3 A SZILÍCIUM Felfedező: Jons Berzelius 1823, Svédország Természetes előfordulás: gránit, kvarc, agyag, homok 2. leggyakoribb
RészletesebbenMW-PECVD GYÉMÁNTRÉTEG NUKLEÁCIÓJA ÉS NÖVEKEDÉSE KÜLÖNBÖZŐ HORDOZÓKON. Ph.D. értekezés tézisfüzet
MW-PECVD GYÉMÁNTRÉTEG NUKLEÁCIÓJA ÉS NÖVEKEDÉSE KÜLÖNBÖZŐ HORDOZÓKON Ph.D. értekezés tézisfüzet Kováchné Csorbai Hajnalka Témavezetők: Dr. Hárs György Dr. Kálmán Erika 2007 A kutatások előzménye A gyémánt,
RészletesebbenImmunkomplexek által elindított gyulladási folyamatok követésére alkalmas mikrofluidikai rendszer fejlesztése
1 Immunkomplexek által elindított gyulladási folyamatok követésére alkalmas mikrofluidikai rendszer fejlesztése Fürjes Péter MTA Energiatudományi Kutatóközpont MEMS Lab és Papp Krisztián MTA-ELTE Immunológia
RészletesebbenFényérzékeny amorf nanokompozitok: technológia és alkalmazásuk a fotonikában. Csarnovics István
Új irányok és eredményak A mikro- és nanotechnológiák területén 2013.05.15. Budapest Fényérzékeny amorf nanokompozitok: technológia és alkalmazásuk a fotonikában Csarnovics István Debreceni Egyetem, Fizika
RészletesebbenMozgáselemzés MEMS alapúgyorsulás mérőadatai alapján
Mozgáselemzés MEMS alapúgyorsulás mérőadatai alapján Nyers Szabina Konzulens: Tihanyi Attila Pázmány Péter Katolikus Egyetem Információs Technológia Kar Feladatok: Végezzen irodalom kutatást, mely tartalmazza
RészletesebbenMTA AKI Kíváncsi Kémikus Kutatótábor Kétdimenziós kémia. Balogh Ádám Pósa Szonja Polett. Témavezetők: Klébert Szilvia Mohai Miklós
MTA AKI Kíváncsi Kémikus Kutatótábor 2 0 1 6. Kétdimenziós kémia Balogh Ádám Pósa Szonja Polett Témavezetők: Klébert Szilvia Mohai Miklós A műanyagok és azok felületi kezelése Miért népszerűek napjainkban
RészletesebbenÚj típusú anyagok (az autóiparban) és ezek vizsgálati lehetőségei (az MFA-ban)
Új típusú anyagok (az autóiparban) és ezek vizsgálati lehetőségei (az MFA-ban) Menyhárd Miklós Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutató Intézet Támogatás NTPCRASH: # TECH_08-A2/2-2008-0104 Győr, 2010 október
RészletesebbenKlórbenzol lebontásának vizsgálata termikus rádiófrekvenciás plazmában
Klórbenzol lebontásának vizsgálata termikus rádiófrekvenciás plazmában Fazekas Péter Témavezető: Dr. Szépvölgyi János Magyar Tudományos Akadémia, Természettudományi Kutatóközpont, Anyag- és Környezetkémiai
RészletesebbenPatkó Dániel. Tézisfüzet. Pannon Egyetem Molekuláris- és Nanotechnológiák Doktori Iskola
Patkó Dániel Nagyérzékenységű jelölésmentes bioszenzorika: optikai, mikrofluidikai fejlesztések a fehérjék, baktériumok és extracelluláris vezikulák felületi kitapadásainak detektálásához Tézisfüzet Pannon
RészletesebbenZÁRÓJELENTÉS. Aktuálási elvek mozgó 3D mikroszerkezetekben (F 61583) (2006. január 1-től 2010. január 31-ig)
Zárójelentés - Aktuálási elvek mozgó 3D mikroszerkezetekben (F 61583) 1 ZÁRÓJELENTÉS Aktuálási elvek mozgó 3D mikroszerkezetekben (F 61583) (2006. január 1-től 2010. január 31-ig) Fürjes Péter MTA Műszaki
RészletesebbenMikrohullámú abszorbensek vizsgálata
Óbudai Egyetem Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Mikrohullámú abszorbensek vizsgálata Balla Andrea Témavezetők: Dr. Klébert Szilvia, Dr. Károly Zoltán MTA Természettudományi Kutatóközpont
RészletesebbenPhD DISSZERTÁCIÓ TÉZISEI
Budapesti Muszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Fizikai Kémia Tanszék MTA-BME Lágy Anyagok Laboratóriuma PhD DISSZERTÁCIÓ TÉZISEI Mágneses tér hatása kompozit gélek és elasztomerek rugalmasságára Készítette:
RészletesebbenMEMS, szenzorok. Tóth Tünde Anyagtudomány MSc
MEMS, szenzorok Tóth Tünde Anyagtudomány MSc 2016. 05. 04. 1 Előadás vázlat MEMS Története Előállítása Szenzorok Nyomásmérők Gyorsulásmérők Szögsebességmérők Áramlásmérők Hőmérsékletmérők 2 Mi is az a
RészletesebbenA Dräger PEX 1000 egy 4-20 ma távadó modul, amelyik a Dräger Polytron SE Ex DD szenzor fejek mv jeleit ma jelekké alakítja, és elküldi őket a
Dräger PEX 1000 A Dräger PEX 1000 egy 4-20 ma távadó modul, amelyik a Dräger Polytron SE Ex DD szenzor fejek mv jeleit ma jelekké alakítja, és elküldi őket a vezérlőegységhez, mint amilyen a Dräger REGARD
RészletesebbenJános Radó MTA EK MFA MEMS labratory. Third semester
Fabrication and application of 3D force sensors based on piezoelectric and piezoresistive effects János Radó MTA EK MFA MEMS labratory Third semester Supervisor: Csikósné Papp Andrea Edit Introduction
RészletesebbenJános Radó MTA EK MFA MEMS labratory. Fourth semester
Fabrication and application of 3D force sensors based on piezoelectric and piezoresistive effects János Radó MTA EK MFA MEMS labratory Fourth semester Supervisor: Csikósné Papp Andrea Edit Introduction
RészletesebbenMikrohullámú abszorbensek vizsgálata 4. félév
Óbudai Egyetem Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Mikrohullámú abszorbensek vizsgálata 4. félév Balla Andrea Témavezetők: Dr. Klébert Szilvia, Dr. Károly Zoltán MTA Természettudományi Kutatóközpont
RészletesebbenA jövő anyaga: a szilícium. Az atomoktól a csillagokig 2011. február 24.
Az atomoktól a csillagokig 2011. február 24. Pavelka Tibor, Tallián Miklós 2/24/2011 Szilícium: mindennapjaink alapvető anyaga A szilícium-alapú technológiák mindenütt jelen vannak Mikroelektronika Számítástechnika,
RészletesebbenMEMS TECHNOLÓGIÁK MEMS-EK ALKALMAZÁSI PÉLDÁI
MEMS TECHNOLÓGIÁK MEMS-EK ALKALMAZÁSI PÉLDÁI Dr. Bonyár Attila, adjunktus bonyar@ett.bme.hu Budapest, 2015.10.13. BUDAPEST UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND ECONOMICS DEPARTMENT OF ELECTRONICS TECHNOLOGY Tematika
RészletesebbenHiszterézis: Egy rendszer kimenete nem csak az aktuális állapottól függ, hanem az állapotváltozás aktuális irányától is.
1. Mi az érzékelő? Definiálja a típusait (belső/külső). Mit jelent a hiszterézis? Miért nem tudunk közvetlenül mérni, miért származtatunk? Hogyan kapcsolódik össze az érzékelés és a becslés a mérések során?
RészletesebbenMérés és adatgyűjtés
Mérés és adatgyűjtés 7. óra Mingesz Róbert Szegedi Tudományegyetem 2013. április 11. MA - 7. óra Verzió: 2.2 Utolsó frissítés: 2013. április 10. 1/37 Tartalom I 1 Szenzorok 2 Hőmérséklet mérése 3 Fény
RészletesebbenPlazmasugaras felülettisztítási kísérletek a Plasmatreater AS 400 laboratóriumi kisberendezéssel
Plazmasugaras felülettisztítási kísérletek a Plasmatreater AS 400 laboratóriumi kisberendezéssel Urbán Péter Kun Éva Sós Dániel Ferenczi Tibor Szabó Máté Török Tamás Tartalom A Plasmatreater AS400 működési
RészletesebbenTELJES PUBLIKÁCIÓS LISTA FÜRJES PÉTER (2014. március)
TELJES PUBLIKÁCIÓS LISTA FÜRJES PÉTER (2014. március) Referált folyóiratcikk Konferenciakiadvány Könyvfejezet Szabadalom Kumulált impakt 33 72 1 2 ~46,064 Nemzetközi folyóiratokban megjelent közlemények
RészletesebbenMIKRO- ÉS NANOTECHNIKA II
NANO MIKRO- ÉS NANOTECHNIKA II Dr. Pődör Bálint Óbudai Egyetem, KVK Mikroelektronikai és Technológia Intézet 11. ELŐADÁS: MIKRO- ÉS NANOAKTUÁTOROK, MIKRO- ÉS NANOFLUIDIKAI ESZKÖZÖK 2012/2013 tanév 1. félév
RészletesebbenSZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK
SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 9. ELŐADÁS: MECHANIKAI ÉRZÉKELŐK I: NYOMÁS ÉS ERŐÉRZÉKELŐK 2014/2015 tanév 2. félév 1 1. Mechanikai érzékelők 2. Piezorezisztív effektus félvezetőkben 3. Si alapú nyomásérzékelők
RészletesebbenMEMS eszközök redukált rendű modellezése a Smart Systems Integration mesterképzésben Dr. Ender Ferenc
MEMS eszközök redukált rendű modellezése a Smart Systems Integration mesterképzésben Dr. Ender Ferenc BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Smart Systems Integration EMMC+ Az EU által támogatott 2 éves mesterképzési
RészletesebbenIntelligens és összetett szenzorok
Intelligens és összetett szenzorok Galbács Gábor Összetett és intelligens szenzorok Bevezetés A mikroelektronika fejlődésével, a mikroprocesszorok (CPU), mikrokontrollerek (µc, MCU), mikroprogramozható
RészletesebbenSZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 9. ELŐADÁS: MECHANIKAI ÉRZÉKELŐK I: NYOMÁS ÉS ERŐÉRZÉKELŐK
SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 9. ELŐADÁS: MECHANIKAI ÉRZÉKELŐK I: NYOMÁS ÉS ERŐÉRZÉKELŐK 2015/2016 tanév 2. félév 1 1. Mechanikai érzékelők 2. Piezorezisztív effektus félvezetőkben 3. Si alapú nyomásérzékelők
RészletesebbenDIGIT. ÁRAMLÁSÉRZÉKELŐ
Integrált kijelző típus Gáz DIGIT. ÁRAMLÁSÉRZÉKELŐ FM-2SOROZAT Ro RoHS. / /, / 2//24 Könnyen látható, két színű kijelző kijelzővel! A beállítások a segédkijelzőn jeleníthetők meg, így könnyebben követhetők
RészletesebbenProgramozható vezérlő rendszerek. Elektromágneses kompatibilitás II.
Elektromágneses kompatibilitás II. EMC érintkező védelem - az érintkezők nyitása és zárása során ún. átívelések jönnek létre - ezek csökkentik az érintkezők élettartamát - és nagyfrekvenciás EM sugárzások
RészletesebbenKoherens lézerspektroszkópia adalékolt optikai egykristályokban
Koherens lézerspektroszkópia adalékolt optikai egykristályokban Kis Zsolt MTA Wigner Fizikai Kutatóközpont H-1121 Budapest, Konkoly-Thege Miklós út 29-33 2015. június 8. Hogyan nyerjünk információt egyes
RészletesebbenTapintásérzékelés és. Analogikai Algoritmusok
Tapintásérzékelés és Analogikai Algoritmusok Tézisfüzet a Ph.D. disszertációhoz Kis Attila Témavezető: Kovács Ferenc MTA Doktora Konzulens: Szolgay Péter MTA Doktora Pázmány Péter Katolikus Egyetem Információs
RészletesebbenMikrohullámú abszorbensek vizsgálata
Óbudai Egyetem Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Mikrohullámú abszorbensek vizsgálata 3. félév Balla Andrea Témavezetők: Dr. Klébert Szilvia, Dr. Károly Zoltán MTA Természettudományi Kutatóközpont
RészletesebbenAz alábbiakban röviden összefoglaljuk, hogy a tudományos iskola milyen eredményeket ért el az OTKA projekt 5 vizsgált területén.
49893 OTKA Kutatási pályázat (Nagy megbízhatóságú integrált mikro- és nanorendszerek új tesztelési és vizsgálati módszerei, különös tekintettel az ambient intellegince kihívásaira) Zárójelentés Szakmai
RészletesebbenDigitális mikrofluidika THz-es képalkotáshoz
Digitális mikrofluidika THz-es képalkotáshoz Földesy Péter a, Fekete Zoltán b, Pardy Tamás c, Gergelyi Domonkos a,c a Celluláris Érzékelő és Optikai Hullámszámítógépek Kutatólaboratórium, MTA SzTAKI b
RészletesebbenM2037IAQ-CO - Adatlap
M2037IAQ-CO - Adatlap Szénmonoxid + Hőmérséklet + Páratartalom (opció) Két szénmonoxid riasztási szint Valós idejű környezeti szénmonoxid érzékelő és szabályzó Hőmérséklet- és relatív páratartalom-mérés
RészletesebbenEgyéni munkabeszámoló (2012. január 1-től 2012. december 31-ig)
1 Egyéni munkabeszámoló (2012. január 1-től 2012. december 31-ig) Fürjes Péter tudományos főmunkatárs Mikrotechnológia Osztály MEMS Laboratórium furjes.peter @ mta.ttk.hu, www.mems.hu MEMS-től a BIOMEMS-ig
RészletesebbenFé nyké pék, á brá k Szábá lyozott ho mé rsé klétét fénntárto égé szsé gü gyi észko z
Fé nyké pék, á brá k Szábá lyozott ho mé rsé klétét fénntárto égé szsé gü gyi észko z Tartalomjegyzék 1. Konstrukció 1.1. Külső oldal: a készülék sematikus rajza a külvilág (a testfelülettel átellenben
RészletesebbenXXI. Nemzetközi Gépészeti Találkozó - OGÉT 2013
XXI. Nemzetközi Gépészeti Találkozó - OGÉT 2013 Termikus szórással készült NiCrBSi rétegek utókezelése lézersugaras újraolvasztással Molnár András PhD hallgató témavezetők: Dr. Balogh András egyetemi docens
RészletesebbenSOIC Small outline IC. QFP Quad Flat Pack. PLCC Plastic Leaded Chip Carrier. QFN Quad Flat No-Lead
1. Csoportosítsa az elektronikus alkatrészeket az alábbi szempontok szerint! Funkció: Aktív, passzív Szerelhetőség: furatszerelt, felületszerelt, tokozatlan chip Funkciók száma szerint: - diszkrét alkatrészek
RészletesebbenAnyagvizsgálati módszerek Elemanalitika. Anyagvizsgálati módszerek
Anyagvizsgálati módszerek Elemanalitika Anyagvizsgálati módszerek Pannon Egyetem Mérnöki Kar Anyagvizsgálati módszerek Kémiai szenzorok 1/ 18 Elemanalitika Elemek minőségi és mennyiségi meghatározására
RészletesebbenFelületmódosító eljárások
Felületmódosító eljárások ANYAGMÉRNÖK BSC KÉPZÉS Felülettechnikai félszakirány (levelező munkarendben) TANTÁRGYI KOMMUNIKÁCIÓS DOSSZIÉ MISKOLCI EGYETEM MŰSZAKI ANYAGTUDOMÁNYI KAR FÉMTANI, KÉPLÉKENYALAKÍTÁSI
RészletesebbenA polimer elektronika
Tartalom A polimer elektronika Mi a polimer elektronika? Vezető szerves molekulák, ; a vezetés mechanizmusa Anyagválaszték: vezetők, félvezetők, fénykibocsátók szigetelők, hordozók Technológiák Eszközök
RészletesebbenKísérleti üzemek az élelmiszeriparban alkalmazható fejlett gépgyártás-technológiai megoldások kifejlesztéséhez, kipróbálásához és oktatásához
1 Nemzeti Workshop Kísérleti üzemek az élelmiszeriparban alkalmazható fejlett gépgyártás-technológiai megoldások kifejlesztéséhez, kipróbálásához és oktatásához Berczeli Attila Campden BRI Magyarország
RészletesebbenMikroelektromechanikai szerkezetek szilárdsági és megbízhatósági vizsgálata
OTKA nyilvántartási szám: T 049848 Mikroelektromechanikai szerkezetek szilárdsági és megbízhatósági vizsgálata Témavezetı: Dr. Kovács Ádám egyetemi docens, BME Mőszaki Mechanikai Tanszék Kutatási beszámoló:
RészletesebbenHIGANYMENTES DBD FÉNYFORRÁSOK FEJLESZTÉSE. Beleznai Szabolcs. Témevezet : Dr. Richter Péter TÉZISFÜZET
HIGANYMENTES DBD FÉNYFORRÁSOK FEJLESZTÉSE TÉZISFÜZET Beleznai Szabolcs Témevezet : Dr. Richter Péter Konzulens: Balázs László Budapesti M szaki és Gazdaságtudományi Egyetem 2009 A kutatás el zménye A napjainkban
RészletesebbenIpari kondenzációs gázkészülék
Ipari kondenzációs gázkészülék L.H.E.M.M. A L.H.E.M.M. egy beltéri telepítésre szánt kondenzációs hőfejlesztő készülék, mely több, egymástól teljesen független, előszerelt modulból áll. Ez a tervezési
RészletesebbenBÍRÁLAT. Kállay Mihály Automatizált módszerek a kvantumkémiában című MTA doktori értekezéséről.
BÍRÁLAT Kállay Mihály Automatizált módszerek a kvantumkémiában című MTA doktori értekezéséről. Kállay Mihály Automatizált módszerek a kvantumkémiában című az MTA doktora cím elnyerésére benyújtott 132
RészletesebbenKülönböző öntészeti technológiák szimulációja
Különböző öntészeti technológiák szimulációja Doktoranduszok Fóruma 2012. 11.08. Készítette: Budavári Imre, I. éves doktorandusz hallgató Konzulensek: Dr. Dúl Jenő, Dr. Molnár Dániel Predoktoranduszi időszak
RészletesebbenPhD beszámoló. 2015/16, 2. félév. Novotny Tamás. Óbudai Egyetem, június 13.
PhD beszámoló 2015/16, 2. félév Novotny Tamás Óbudai Egyetem, 2016. június 13. Tartalom Tézisek Módszer bemutatása Hidrogénezés A hidrogénezett minták gyűrűtörő vizsgálatai Eredmények Konklúzió 2 Tézisek
RészletesebbenANYAGTUDOMÁNY ÉS TECHNOLÓGIA TANSZÉK Fémek technológiája
ANYAGTUDOMÁNY ÉS TECHNOLÓGIA TANSZÉK Fémek technológiája ACÉLOK ÁTEDZHETŐ ÁTMÉRŐJÉNEK MEGHATÁROZÁSA Dr. Palotás Béla / Dr. Németh Árpád palotasb@eik.bme.hu A gyakorlat előkészítő előadás fő témakörei Az
RészletesebbenMiskolci Egyetem GÉPÉSZMÉRNÖKI ÉS INFORMATIKAI KAR. Osztályozási fák, durva halmazok és alkalmazásaik. PhD értekezés
Miskolci Egyetem GÉPÉSZMÉRNÖKI ÉS INFORMATIKAI KAR Osztályozási fák, durva halmazok és alkalmazásaik PhD értekezés Készítette: Veres Laura okleveles matematikus-informatikus Hatvany József Informatikai
RészletesebbenNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány
Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány Magyarázó feliratok Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány Növekvő ütemű fejlődés Helyzetelemzés Technológia és minősítés Nanoszekezetek fabrikált építkező
RészletesebbenHŐÁTVITEL SZILÍCIUM MIKROGÉPÉSZETI SZERKEZETEKBEN
HŐÁTVITEL SZILÍCIUM MIKROGÉPÉSZETI SZERKEZETEKBEN PhD tézisfüzet FÜRJES PÉTER TÉMAVEZETŐ: Dr. BÁRSONY ISTVÁN BUDAPEST 2003. 1. ELŐZMÉNYEK A technikai fejlődés, az automatizálás terjedése egyre nagyobb
RészletesebbenAz elektromágneses tér energiája
Az elektromágneses tér energiája Az elektromos tér energiasűrűsége korábbról: Hasonlóképpen, a mágneses tér energiája: A tér egy adott pontjában az elektromos és mágneses terek együttes energiasűrűsége
RészletesebbenÉRZÉKELŐK TRANSDUCERS, SENSORS, ACTUATORS SZABÁLYOZÓ RENDSZER BEAVATKOZÓK A FOLYAMATSZABÁLYOZÁS VÁZLATA. Dr. Pődör Bálint
ÉRZÉKELŐK Dr. Pődör Bálint Óbudai Egyetem KVK Mikroelektronikai és Technológia Intézet 21. ELŐADÁS: AKTUÁTOROK (BEAVATKOZÓK ÉS MŰKÖDTETŐK) BEAVATKOZÓK ÉS MŰKÖDTETŐK Harsányi Gábor: Érzékelők és beavatkozók
RészletesebbenFürjes Péter MTA Természettudományi Kutatóközpont MEMS Lab és Papp Krisztián MTA-ELTE Immunológia Kutatócsoport
1 Immunkomplexek által elindított gyulladási folyamatok követésére alkalmas mikrofluidikai rendszer fejlesztése Fürjes Péter MTA Természettudományi Kutatóközpont MEMS Lab és Papp Krisztián MTA-ELTE Immunológia
RészletesebbenVillamosipari anyagismeret. Program, követelmények ősz
Villamosipari anyagismeret Program, követelmények 2015. ősz I. félév: 2 óra előadás, vizsga II. félév: 1 óra labor, évközi jegy* Követelmények: Előadás látogatása kötelező; ellenőrzése (katalógus) minimum
RészletesebbenÜZEM ALATTI RÉSZLEGES KISÜLÉS MÉRÉS. AZ AKTIVITÁS VÁLTOZÁSAINAK MEGFIGYELÉSE Tuza János (Diagnostics Kft.)
ÜZEM ALATTI RÉSZLEGES KISÜLÉS MÉRÉS AZ AKTIVITÁS VÁLTOZÁSAINAK MEGFIGYELÉSE Tuza János (Diagnostics Kft.) Cél: Könnyen kezelhető, nagyszámú berendezésen, gyors, előszűrő jellegű mérések végzése a berendezés
RészletesebbenSzilícium alapú mikrofluidikai eszközök és rendszerek kidolgozása és vizsgálata
Budapesti Műszaki es Gazdasagtudomanyi Egyetem, Elektronikai Technológia Tanszek MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet Mikrotechnológia Osztály Szilícium alapú mikrofluidikai eszközök és
RészletesebbenGALAKTURONSAV SZEPARÁCIÓJA ELEKTRODIALÍZISSEL
PANNON EGYETEM VEGYÉSZMÉRNÖKI- ÉS ANYAGTUDOMÁNYOK DOKTORI ISKOLA GALAKTURONSAV SZEPARÁCIÓJA ELEKTRODIALÍZISSEL DOKTORI (PhD) ÉRTEKEZÉS TÉZISEI KÉSZÍTETTE: MOLNÁR ESZTER OKL. ÉLELMISZERMÉRNÖK TÉMAVEZETŐ:
RészletesebbenJegyzetelési segédlet 8.
Jegyzetelési segédlet 8. Informatikai rendszerelemek tárgyhoz 2009 Szerkesztett változat Géczy László Billentyűzet, billentyűk szabványos elrendezése funkció billentyűk ISO nemzetközi írógép alap billentyűk
RészletesebbenDIPLOMAMUNKA TÉMÁK AZ MSC HALLGATÓK RÉSZÉRE A SZILÁRDTEST FIZIKAI TANSZÉKEN 2018/19.II.félévre
DIPLOMAMUNKA TÉMÁK AZ MSC HALLGATÓK RÉSZÉRE A SZILÁRDTEST FIZIKAI TANSZÉKEN 2018/19.II.félévre Nanostruktúrák számítógépes modellezése Atomi vastagságú rétegek előállítása ALD (Atomic Layer Deposition)
RészletesebbenBodnár István PhD hallgató Miskolci Egyetem Sályi István Gépészeti Tudományok Doktori Iskola
Szerves ipari hulladékok energetikai célú hasznosításának vizsgálata üvegházhatású gázok kibocsátása tekintetében kapcsolt energiatermelés esetén Bodnár István PhD hallgató Miskolci Egyetem Sályi István
RészletesebbenVIII. BERENDEZÉSORIENTÁLT DIGITÁLIS INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK (ASIC)
VIII. BERENDEZÉSORIENTÁLT DIGITÁLIS INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK (ASIC) 1 A korszerű digitális tervezés itt ismertetendő (harmadik) irányára az a jellemző, hogy az adott alkalmazásra céleszközt (ASIC - application
RészletesebbenCorvus Aircraft Kft Tervezési, gyártási technológiák. Győr, 2008. április 16.
Corvus Aircraft Kft Tervezési, gyártási technológiák Győr, 2008. április 16. Cég történet STA RT 2002 Prototípus építés Mk I 2004 Cég alapítás Corvus Aircraft Kft 2005 Prototípus építés Corvus Corone Mk
RészletesebbenPLATTÍROZOTT ALUMÍNIUM LEMEZEK KÖTÉSI VISZONYAINAK TECHNOLÓGIAI VIZSGÁLATA TECHNOLOGICAL INVESTIGATION OF PLATED ALUMINIUM SHEETS BONDING PROPERTIES
Anyagmérnöki Tudományok, 37. kötet, 1. szám (2012), pp. 371 379. PLATTÍROZOTT ALUMÍNIUM LEMEZEK KÖTÉSI VISZONYAINAK TECHNOLÓGIAI VIZSGÁLATA TECHNOLOGICAL INVESTIGATION OF PLATED ALUMINIUM SHEETS BONDING
RészletesebbenMechanikai érzékelők II. Szenzorok
Mechanikai érzékelők II. Szenzorok Battistig Gábor MTA EK Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet Mikrotechnológiai laboratórium battistig@mfa.kfki.hu 1 MECHANIKAI ÉRZÉKELŐK Érzékelő: a mérendő fizikai,
Részletesebben. -. - Baris A. - Varga G. - Ratter K. - Radi Zs. K.
2. TEREM KEDD Orbulov Imre 09:00 Bereczki P. -. - Varga R. - Veres A. 09:20 Mucsi A. 09:40 Karacs G. 10:00 Cseh D. Benke M. Mertinger V. 10:20 -. 10:40 14 1. TEREM KEDD Hargitai Hajnalka 11:00 I. 11:20
RészletesebbenSZENZORFÚZIÓS ELJÁRÁSOK KIDOLGOZÁSA AUTONÓM JÁRMŰVEK PÁLYAKÖVETÉSÉRE ÉS IRÁNYÍTÁSÁRA
infokommunikációs technológiák SZENZORFÚZIÓS ELJÁRÁSOK KIDOLGOZÁSA AUTONÓM JÁRMŰVEK PÁLYAKÖVETÉSÉRE ÉS IRÁNYÍTÁSÁRA BEVEZETŐ A KUTATÁS CÉLJA Autonóm járművek és robotok esetén elsődleges feladat a robotok
RészletesebbenNagynyomású csavarással tömörített réz - szén nanocső kompozit mikroszerkezete és termikus stabilitása
Nagynyomású csavarással tömörített réz - szén nanocső kompozit mikroszerkezete és termikus stabilitása P. Jenei a, E.Y. Yoon b, J. Gubicza a, H.S. Kim b, J.L. Lábár a,c, T. Ungár a a Anyagfizikai Tanszék,
RészletesebbenA hatékony mérnöki tervezés eszközei és módszerei a gyakorlatban
A hatékony mérnöki tervezés eszközei és módszerei a gyakorlatban Korszerű mérnöki technológiák (CAD, szimuláció, stb.) alkalmazásának bemutatása a készülékfejlesztés kapcsán Előadó: Szarka Zsolt H-TEC
RészletesebbenOTKA 48978 beszámoló
OTKA 48978 beszámoló A pályázat Kutatás munkaterve című 2. sz. mellékletben leírt célok sorrendjében adom meg a feladat teljesítését. 1. Munkaszakasz, 2005 év A nanokristályok szintézise területén a kitűzött
RészletesebbenÁLTALÁNOS METEOROLÓGIA 2.
ÁLTALÁNOS METEOROLÓGIA 2. METEOROLÓGIAI MÉRÉSEK ÉS MEGFIGYELÉSEK 06 Víz a légkörben világóceán A HIDROSZFÉRA krioszféra 1338 10 6 km 3 ~3 000 év ~12 000 év szárazföldi vizek légkör 24,6 10 6 km 3 0,013
RészletesebbenAz Integrált Mikro/Nanorendszerek Nemzeti Technológiai Platform létrehozása és működése
Az Integrált Mikro/Nanorendszerek Nemzeti Technológiai Platform létrehozása és működése SZAKOLCZAI Krisztina Irodavezető, IMNTP Iroda, MTA MFA Az IMNTP megalakulása NKTH Nemzeti Technológiai Platform pályázatok
RészletesebbenTávvezetéki szigetelők, szerelvények és sodronyok diagnosztikai módszerei és fejlesztések a KMOP-1.1.4-09-2010-0067 számú pályázat keretében Fogarasi
Távvezetéki szigetelők, szerelvények és sodronyok diagnosztikai módszerei és fejlesztések a KMOP-1.1.4-09-2010-0067 számú pályázat keretében Fogarasi Tiborné - Dr. Varga László VILLENKI VEIKI VEIKI-VNL
RészletesebbenPhD témakiírás Villamosmérnöki Doktori Iskola
3D MEMS erőmérők integrált hőkompenzálása A Si alapú MEMS érzékelők olyan jelátalakítók, amelyek a mérendő fizikai mennyiséget lefordítják elektromosan mérhető (ellenállás, feszültség, frekvencia, stb.)
RészletesebbenMikrohullámú abszorbensek vizsgálata
Óbudai Egyetem Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola Mikrohullámú abszorbensek vizsgálata 6. félév Balla Andrea Témavezetők: Dr. Klébert Szilvia, Dr. Károly Zoltán MTA Természettudományi Kutatóközpont
Részletesebben3. (b) Kereszthatások. Utolsó módosítás: április 1. Dr. Márkus Ferenc BME Fizika Tanszék
3. (b) Kereszthatások Utolsó módosítás: 2013. április 1. Vezetési együtthatók fémekben (1) 1 Az elektrongáz hővezetési együtthatója A levezetésben alkalmazott feltételek: 1. Minden elektron ugyanazzal
RészletesebbenKorszerű mérőeszközök alkalmazása a gépszerkezettan oktatásában
Korszerű mérőeszközök alkalmazása a gépszerkezettan oktatásában Dr. Kátai László, tanszékvezető, egyetemi docens Mechanikai és Géptani Intézet Gépszerkezettan Tanszék Bevezetés Gépszerkezettan a tantervben
RészletesebbenJózsef Attila Gimnázium és Eü. Szakközépiskola spec. mat.
1 MESTERSÉGEM CÍMERE F, mint FIZIKUS Tateyama Kagaku Ind. Co. Ltd., Toyama, Japan 3 irányú szilícium gyorsulásérzékelő József Attila Gimnázium és Eü. Szakközépiskola spec. mat. Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi
RészletesebbenKészítette: Geda Dávid
Készítette: Geda Dávid A ph fogalma A ph (pondus Hidrogenii, hidrogénion-kitevő) egy dimenzió nélküli kémiai mennyiség, mely egy adott oldat kémhatását (savasságát vagy lúgosságát) jellemzi. A tiszta víz
RészletesebbenSokcsatornás DSP alapú, komplex elektromos impedancia mérő rendszer fejlesztése
Sokcsatornás DSP alapú, komplex elektromos impedancia mérő rendszer fejlesztése Karotázs Tudományos, Műszaki és Kereskedelmi Kft. Audiotechnika Kft. Projektbemutató előadás Elektromos Impedancia Mérésére
RészletesebbenMÓDOSÍTOTT RÉSZLETEZŐ OKIRAT (1) a NAH /2015 nyilvántartási számú 1 akkreditált státuszhoz
MÓDOSÍTOTT RÉSZLETEZŐ OKIRAT (1) a NAH-1-1214/2015 nyilvántartási számú 1 akkreditált státuszhoz A VEKOR Korrózióvédelmi Analitikai Kft. bevonatvizsgáló laboratórium (8200 Veszprém, Wartha Vince u. 1/2.
RészletesebbenAnyagvizsgálati módszerek
Anyagvizsgáló és Állapotellenőrző Laboratórium Atomerőművi anyagvizsgálatok Az akusztikus emisszió vizsgálata a műszaki diagnosztikában Anyagvizsgálati módszerek Roncsolásos metallográfia, kémia, szakító,
RészletesebbenTANMENET FIZIKA. 10. osztály. Hőtan, elektromosságtan. Heti 2 óra
TANMENET FIZIKA 10. osztály Hőtan, elektromosságtan Heti 2 óra 2012-2013 I. Hőtan 1. Bevezetés Hőtani alapjelenségek 1.1. Emlékeztető 2. 1.2. A szilárd testek hőtágulásának törvényszerűségei. A szilárd
RészletesebbenInnocity Kft. terméktervezés, szerszámtervezés öntészeti szimuláció készítés + 3 6 / 7 0 / 4 2 1 8-407. w w w. i n n o c i t y.
terméktervezés, szerszámtervezés öntészeti szimuláció készítés I n n o c i t y K u t a t á s i é s I n n o v á c i ó s T a n á c s a d ó K f t 2 6 0 0 V á c, P e t ő f i S á n d o r u. 5 5 / A + 3 6 /
RészletesebbenMéréstechnika. Hőmérséklet mérése
Méréstechnika Hőmérséklet mérése Hőmérséklet: A hőmérséklet a termikus kölcsönhatáshoz tartozó állapotjelző. A hőmérséklet azt jelzi, hogy egy test hőtartalma milyen szintű. Amennyiben két eltérő hőmérsékletű
RészletesebbenElektrotermikus mikrorendszerek modellezése és karakterizációja
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Villamosmérnöki és Informatikai Kar Elektrotermikus mikrorendszerek modellezése és karakterizációja Doktori értekezés tézisfüzete Szerző: Témavezető: Szabó
RészletesebbenSzívbetegségek hátterében álló folyamatok megismerése a ciklusosan változó szívélettani paraméterek elemzésén keresztül
Dr. Miklós Zsuzsanna Semmelweis Egyetem, ÁOK Klinikai Kísérleti Kutató- és Humán Élettani Intézet Szívbetegségek hátterében álló folyamatok megismerése a ciklusosan változó szívélettani paraméterek elemzésén
RészletesebbenHidrogénezett amorf Si és Ge rétegek hőkezelés okozta szerkezeti változásai
Hidrogénezett amorf Si és Ge rétegek hőkezelés okozta szerkezeti változásai Csík Attila MTA Atomki Debrecen Vizsgálataink célja Amorf Si és a-si alapú ötvözetek (pl. Si-X, X=Ge, B, Sb, Al) alkalmazása:!
RészletesebbenMulti-20 modul. Felhasználói dokumentáció 1.1. Készítette: Parrag László. Jóváhagyta: Rubin Informatikai Zrt.
Multi-20 modul Felhasználói dokumentáció. Készítette: Parrag László Jóváhagyta: Rubin Informatikai Zrt. 49 Budapest, Egressy út 7-2. telefon: +36 469 4020; fax: +36 469 4029 e-mail: info@rubin.hu; web:
RészletesebbenA Paksi Atomerőmű üzemidő hosszabbításához. kábelek üzemzavari minősítő vizsgálata
A Paksi Atomerőmű üzemidő hosszabbításához (ÜH) kapcsolódó, biztonsági funkciót ellátó kábelek üzemzavari minősítő vizsgálata Ferenczi Zoltán VEIKI-VNL Kft. IX. Szigetelésdiagnosztikai Konferencia Siófok,
RészletesebbenSzakmai önéletrajz. 2000 szeptember 1.- MTA-ME Anyagtudományi Kutatócsoport Miskolci Egyetem, Anyagtudományi Intézet tudományos segédmunkatárs
Szakmai önéletrajz Személyi adatok: Munkahely: Név: Kissné Dr. Svéda Mária Leánykori név: Svéda Mária Születési hely, év: Miskolc, 1975. november 5. Anyja neve: Simkó Mária Julianna Családi állapot: férjezett
Részletesebben