SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 6. ELŐADÁS: OPTIKAI SUGÁRZÁSÉRZÉKELŐK I.

Átírás

1 SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 6. ELŐADÁS: OPTIKAI SUGÁRZÁSÉRZÉKELŐK I. 2015/2016 tanév 2. félév 1

2 1. A fény tulajdonságai 2. Félvezetőanyagok optikai tulajdonságai 3. Félvezető fényérzékelők (fotodetektorok) általános tulajdonságai 4. Fotoellenállások fizikája 5. Fotoellenállások konstrukciója, tulajdonságai és alkalmazásai 2

3 ESZKÖZÖK ÉS ALKALMAZÁSOK Photoresistor Photodiode Phototransistor Photovoltaics Solar Cells Light Activated Silicon Controlled Rectifiers Optoisolators Dopler-light Optoswitches Sound measurement Fiber Optics 3

4 ELŐNYÖK ÉS HÁTRÁNYOK Advantages Cheap Non-contact Disadvantages Non-linear response Distance Ambient light affects them 4

5 A FÉNY KETTŐS TERMÉSZETE Terjedés a fény (többnyire ) hullám Emisszió és abszorpció a fény (többnyire ) részecske A fény emissziója és abszorpciója: diszkrét adagok ezek a fény kvantumok azaz a fotonok E foton = h A foton energia a fény frekvenciájától függ de nem függ a fény intenzitásától. A fényintenzitás a a fotonok számával arányos. 5

6 A FÉNY: ELEKTROMÁGNESES HULLÁM A fény elektromágneses hullám, melynek elektromágneses terét egymáshoz csatolt elektromos tér, E és egy mágneses tér B vagy H (B = µh) alkotja. Síkhullám: a két térvektor E és B továbbá a terjedés iránya (a k hullámszámvektor) egymásra kölcsönösen merőlegesek, és az E, B, k sorendben jobbsodrású koordinátarendszer tengelyeivel párhuzamosak. A hullámszám k = 2π/λ (λ a fény hullámhossza). Síkhullám: TEM-módus (Transverse Electric and Magnetic mode). 6

7 A FÉNY (EM HULLÁM) TULAJDONSÁGAI A fény terjedési sebessége anyagban v = c/ (με) = c/n törésmutató n = (με). A fény hullámhossza az egy periódus alatt megtett út λ = v/f = c/(nf) A törésmutató függ a hullámhossztól! 7

8 A HULLÁMEGYENLET MEGOLDÁSA Ha a terjedés iránya a +z tengely, és az E elektromos tér az x tengellyel párhuzamos, ekkor H az y tengellyel párhuzamos, és = kc = 2 c/λ E x = E xo cos ( t kz) = E xo cos 2 ( t z/ ) H y = H yo cos ( t kz) = H yo cos 2 ( t z/ ) EM hullámok (fény) sebessége vákuumban c = 1/ (μ o ε o ) = 2, x10 8 m/s 3x10 8 m/s A c fénysebesség rögzített érték mely az SI mértékrendszer egyik pillére. Az µ o = 4 x10-7 Vs/Am értéke definiált, ezek együtt meghatározzák ε o értékét is. 8

9 TELJESÍTMÉNYSŰRŰSÉG: A POYTING VEKTOR Az EM hullám, és így a fény teljesítménysűrűsége (a hullámfront egységnyi keresztmetszetén időegység alatt áthaladó energia) S = E x H S a Poyting vektor, dimenziója [VA/m 2 ]. Effektív értékekkel számolva a teljesítménysűrűség P/A = cε o E 2 = cb 2 /µ o 9

10 A FÉNY: RÉSZECSKE Max Planck (1990): fekete test sugárzási spektruma úgy érthető meg, hogy a kisugárzott energia kvantált E = h = hc/λ E = h λ = c/ azaz a sugárzás és anyag kölcsönhatásakor az energiacsere csak diszkrét energiakvantumokban megy végbe. A Planck állandó h = 6, x VAs 2, a h vonás = h/2 = 1, x10-34 VAs 2. 10

11 Albert Einstein (1905): A FÉNY: RÉSZECSKE Minden sugárzás (EM sugárzás, fény) kvantált, független energiakvantumokból ( részecskék ) áll. A fény (EM hullám) kvantuma a foton. Közvetlen klasszikus kísérleti bizonyíték: fényelektromos jelenség, elektronok kilépése fémekből fénnyel való megvilágítás hatására. Einstein fizikai Nobel díj (1921) érdemdús matematikaifizikai kutatásaiért, különös tekintettel a fotoelektromoseffektus törvényének felfedezéséért. 11

12 RADIOMETRIAI ÉS FOTOMETRIAI EGYSÉGEK Radiometriai egységek: a sugárzás által vitt energiára vonatkoznak, ezek az SI mértékrendszer részei. Fotometriai egységek: Ezek az emberi szem által érzékelt spektrális tartományra és az ember fényérzetére vonatkoznak. Ez szubjektív, mivel benne van az emberi szem spektrális érzékenysége! CIE (Commission International d Eclairage): Emberi szem standardizált érzékenységi görbéje szerint a relatív érzékenység maximuma = 0,550 µm-nél van, (sárgás-zöld), itt 1 watt sugárzási teljesítmény 680 lumennel egyenértékű (1 lm megfelel 1,47 mw-nak). A relatív érzékenység 0,380 µm-nél (ibolya) és 0,780 µm-nél (vörös) válik nullává. 12

13 AZ EMBERI SZEM ÉRZÉKENYSÉGI GÖRBÉJE ÉS A FÉLVEZETŐK 13

14 RADIOMETRIA ÉS FOTOMETRIA Mennyiség Radiometria Fotometria Fényáram W lumen Fényerősség W/szteradián kandela Megvilágítás W/m 2 lux = lumen/m 2 Fényerősség egységnyi térszögbe kibocsátott fényáram Egy kandela erősségű fényforrás 4 lument bocsát ki. 14

15 RADIOMETRIA ÉS FOTOMETRIA A kandela (cd) mai definíciója (1979): Annak a fényforrásnak az erőssége, mely adott irányba 540x10 12 Hz frekvenciájú monokromatikus fényt bocsát ki és sugárerőssége 1/683 W/szteradián. Az adott frekvencia 556 nm hullámhossznak (zöld fény) felel meg. Az így definiált kandela az SI rendszerben alapegység. 15

16 FÉNY ÉS FÉLVEZETŐ E = h = hc/ E [ev] = 1,24/ [μm] = 1240/ [nm] E a kölcsönhatás karakterisztikus energiája, pl. tiltott sáv, szennyezési centrum ionizációs energiája, stb. Példa: látható zöld fény = 500 nm, E = 2,48 ev Példa: szilícium tiltott sáv E = 1,12 ev, fotoválasz küszöbhullámhossza = 1107 nm 16

17 OPTIKAI TULAJDONSÁGOK: FÉNY ÉS FÉLVEZETŐ KÖLCSÖNHATÁSA Optikai tulajdonságok: az energiasáv-szerkezet a meghatározó. Az EM sugárzás, így a fény is elnyelődik (elektron-lyuk párok keletkezése mellett), ha h = hc/ g E g A hosszúhullámú levágás λ g határhullámhossza g = hc/e G, gyakorlati egységekben g [m] = 1,24/E G [ev]. A tiltott sávénál kisebb energiájú fotonok, illetve a határhullámhossznál hosszabb hullámhosszú fény számára a félvezető átlátszó. Ezt a határt abszorpciós élnek is nevezik. 17

18 FÉLVEZETŐK FÉNYELNYELÉSE ILLETVE ÁTLÁTSZÓSÁGA Egy félvezetőkristály elnyeli a tiltott sávjánál nagyobb energiájú fotonokkal jellemezhető fényt, a kisebb energiájú fotonokból álló, azaz nagyobb hullámhosszú fényt pedig átengedi. A küszöbhullámhossz és a félvezető tiltott sávja nagysága közötti kapcsolat szintén a Max Planck/Einstein-féle összefüggést tükrözi. A szilíciumban tiltott sávja 1,12 ev. A fényspektrum milyen tartományába esik a levágási hullámhossz? A levágási hullámhossz lényegében az adott energiával (tiltott sáv) egyenértékű hullámhossz. A megoldáshoz az ev-ban megadott energiát át kell számítani SI egységbe! 18

19 SZILÍCIUM HATÁRHULLÁMHOSSZA ÉS TRANSZMISSZIÓJA hc 6,626x10-34 x3 x10 8 1,24 [μm] = = = = 1,11 μm E E [ev]x 1,603x10-19 E [ev] Ez a hullámhossz a közeli infravörös tartományba esik. A Si elnyeli az ennél rövidebb hullámhosszúságú fényt, így a látható fény tartományában fotodiódaként, napelemként, stb. használható. A m-ben kifejezett hullámhossz És az ev-ban kifejezett E energia között tehát az átszámítási összefüggés = 1,24/E. 19

20 SZILÍCIUM SZELET TRANSZMISSZIÓJA 0.6 Si wafer reference Transmission Si wafer Si-SiO2 T-ref Si refl. coeff. Si-SiO2 refl. coeff Wavelength (nm) 380 μm Si szelet transzmissziója nm felett a be- és kilépési felületeken való reflexió határozza meg a fényáteresztést. 20

21 FÉNYATERESZTÉS A HULLÁMHOSSZ FÜGGVÉNYÉBEN Normalizált transzmisszió 1,0 0,9 0,8 0,7 0,6 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 Si GaSb Ga 1-x In x As y Sb 1-y /GaSb 0, Hullámhossz (nm) Különböző félvezető anyagok fényáteresztése a hullámhossz függvényében. A határhullámhosszra, illetve a tiltott sávra jó közelítő érték adódik az 50 %-os transzmisszióból. 21

22 HATÁRHULLÁMHOSSZ A λ g III-V típusú félvezetőkben a tiltott sávnak megfelelően kb. 0,35 µm (AlP) és 6,9 µm (InSb) közé esik. Ez átfogja a teljes látható és a közeli infravörös tartományt. Példa: a kadmium-szulfid (CdS) és kadmium-szelenid (CdSe), illetve elegyük a kadmiumszulfid-szelenid (CdSSe) mint fotoellenállások a látható fény spektrális tartományában érzékenyek, a CdSSe fotoellenállás érzékenysége jól követi az emberi szemét. CdS fotoellenállás karakterisztikája. A szaggatott vonal az emberi szem hullámhossz-érzékenysége. 22

23 ELEMI ÉS VEGYÜLET-FÉLVEZETŐK 23

24 TILTOTT SÁV ÉS HATÁRHULLÁMHOSSZ A tiltott sáv szélessége, a határhullámhossz (abszorpciós él) és a kristály rácsállandójának kapcsolata különböző félvezetőkben. 24

25 HATÁRHULLÁMHOSSZ: IR A közeli infravörös tartományban érzékeny az ólomszulfid (PbS E G = 0,41 ev, G = 3,02 μm) fotoellenállás, melynek érzékenységi spektrális tartománya μm. Kadmium-higany-tellurid (CdHgTe) vegyület-félvezetővel 0,1 ev nagyságrendű tiltott sáv realizálható, az ebből készült fotoellenállás érzékeny pl. a 8-12 μm spektrális tartományban (éjjel látó készülék, night vision). 25

26 ABSZORPCIÓS TÉNYEZŐ Bouguer-Lambert törvény: az anyagon áthaladó fény intenzitásának a távolsággal (x) való változását (csökkenését) írja le I(x) = I o exp(-αx) α [m -1 ] az abszorpciós (elnyelési) tényező. Az abszorpciós él feletti energiáknál az elnyelési tényező igen nagy ( cm -1 ). α nagyobb és gyorsabban emelkedik az ún. direkt sávszerkezetű félvezetőkben (pl. GaAs, InP, GaN, CdS) mint az ún. indirekt sávszerkezetűekben (pl. Si, Ge, GaP, SiC).4 26

27 FÉLVEZETŐK ABSZORPCIÓS TÉNYEZŐJE Az abszorpciós él feletti energiáknál az α abszorpciós tényező igen nagy. α nagyobb és gyorsabban emelkedik az ún. direkt sávszerkezetű félvezetőkben (pl. GaAs, CdTe) mint az ún. indirekt sávszerkezetű-ekben (pl. Si, Ge, GaP). 27

28 OPTIKAI ÁTMENETEK FIZIKÁJA Optikai átmenetek az energia-impulzus (hullámszám) diagramon. (a) direkt sávszerkezet (pl. GaAs); (b) indirekt sávszerkezet (pl. Si). 28

29 Direkt tiltott sávú félvezető: elegendő egy foton elnyelése/kibocsátása elektron-lyuk pár keltéséhez/rekombinációjához. Példák: GaAs, GaSb, CdSe, CdTe Indirekt tiltott sávú félvezető: egy foton és egy fonon kevésbé valószínű egyidejű elnyelése/kibocsátása szükséges egy elektron-lyuk pár keltéséhez/rekombinációjához. Példák: gyémánt, Si, Ge, GaP 29

30 DIREKT ÉS INDIREKT ÁTMENET A sávok közötti átmenetek: energia és impulzus-megmaradás! Egy elektron-lyuk pár keltéséhez két sáv energiája különbségének megfelelő energiájú foton szükséges. Mivel a foton impulzusa elhanyagolhatóan kicsi a töltéshordozók tipikus impulzusaihoz képest, ezért az impulzus-megmaradás megköveteli, hogy közvetlen (direkt) elektron-lyuk keltésnél csak azonos impulzusú töltéshordozók keletkezhetnek. Eltérő impulzusú elektron és lyuk csak egy, az impulzusmegmaradás feltételét biztosító harmadik részecske, esetünkben egy vagy több fonon (a rácsrezgés kvantuma) részvételével mehet végbe (indirekt folyamat). 30

31 DIREC T AND INDIRECT MATERIALS Only specific materials have a direct bandgap Material determines the bandgap Material Element Group Bandgap Energy Bandgap wavelength E g (ev) g ( m) Type Ge IV I Si IV I AlP III-V I AlAs III-V I AlSb III-V I GaP III-V I GaAs III-V D GaSb III-V D InP III-V D InAs III-V D AnSb III-V D 31

32 ABSZORPCIÓS TÉNYEZŐ MÉRÉSE In x Ga 1-x As y Sb 1-y /GaSb (x=0.168, y/x=0.9) Abszorpciós tényező (cm -1 ) ,54 0,56 0,58 0,60 0,62 0,64 0,66 0,68 Foton energia (ev) Az abszorpciós tényező a félvezető optikai transzmissziós spektrumának méréséből határozható meg. Indium-gallium-arzenidantimonid elegykristály esetén mely az adott összetételben a GaSbhoz illeszkedik rácsállandóját tekintve. A folytonos vonal az abszorpciós tényező elméleti képletének a mért adatokhoz való illesztésének eredménye, E 32 G = 0,5629 ev, G = 2202 nm adódik.

33 BEHATOLÁSI MÉLYSÉG Behatolási mélység d = 1/, a fényintenzitás 1/e részre (kb. 37 %) csökken (I(x) = I o exp(- x)). 33

34 FOTONOK BEHATOLÁSI MÉLYSÉGE FÉLVEZETŐKBEN Nagytisztaságú (alacsony adalékolású) szilíciumban (pl. napelem) a fotonok behatolási mélysége az elnyelési küszöb környékén, illetve az elnyelési tartományban Hullámhossz Behatolási mélység (μm) (μm) 1, , ,

35 FÉLVEZETŐ FÉNYÉRZÉKELŐK Fotodetektorok jellemzői: Optikai: spektrális karakterisztika, kvantumhatásfok, stb. Elektromos: sötétáram, érzékenység, válaszidő, zaj, egyedi foton-detektálási valószínűség, fotonszámlálási hatásfok, detektálási küszöb, stb. Félvezető detektorok: töltött részecske-, illetve fotondetektálás ionizáció azaz töltéshordozó-generálás alapján. Kvantum-detektor. Félvezető anyag megválasztása szempontjai: Szilícium és vegyület-félvezetők (főleg a III-V típusúak): Fizikai tulajdonságok, elérhetőség, egyszerű használhatóság, költség. 35

36 FÉLVEZETŐ FÉNYÉRZÉKELŐK Szilícium technológia: nagyon érett, viszonylag olcsó, de a Si fizikai tulajdonságai miatt nem alkalmazható mindenütt! Eszközök: fotoellenállás, pn-átmenetes dióda (PIN- és lavina-fotódióda), fém-félvezető átmenetes dióda, fototranzisztor, napelem. 36

37 FÉNYDETEKTÁLÁS FÉVEZETŐVEL Fizikai mechanizmus: Kvantum feltétel: optikai abszorpció töltéshordozó (elektron-lyuk pár) keltés által. h = hc/ > E G Detektálás: fotóáram, fotófeszültség, ellenállás változás. A detektálási folyamat kvantumos jelenségen alapul: kvantum-hatású ill. foton-detektor. 37

38 ÉRZÉKENYSÉG ÉS KVANTUMHATÁSFOK A fotoáram (fotoválasz) arányos a beeső fényteljesítménnyel I foto = R P opt R (A/W) (áram-)érzékenység (responsivity). Kvantumhatásfok : elektron-generálás/idő I foto /q h = = = R fotonszám/idő P opt /h q 38

39 KVANTUMHATÁSFOK elektron-generálás/idő I foto /q h = = = R fotonszám/idő P opt /h q q [ m] R = = h 1,24 Egy fotodetektor R (áram-)érzékenysége a hullámhosszal nő amiatt, hogy ugyanazon áram egyre kisebb energiájú fotonokkal keltődik. A G határhullámhossz elérésekor R eléri maximumát, utána az kvantumhatásfok és így R is meredeken nullára esik le. 39

40 FOTODETEKTOROK KVANTUMHATÁSFOKA = I/P (A/W) threshold =1 1.0 =0.5 real response 1.24 t A kvantum-detektor általános karakterisztikája (válaszgörbéje): Ha P=const, az áram lineárisan nő -val, majd meredeken 0-ára csökken a fotoelektromos küszöbnél. Reális detektornál a válaszgörbe a háromszögtől eltérő görbe. 40

41 PÉLDA: Si FOTODIÓDA KARAKTERISZTIKÁI q [ m] R = = h 1,24 Si fotodióda spektrális karakterisztikái. Jól látható az R érzékenység lineáris növekedése majd a határ-hullámhossz elérése utáni meredek lecsökkenése. 41

42 FOTODIÓDA KVANTUMHATÁSFOKA Egy kereskedelmi Si PIN fotodióda (HP as sorozat, az egyes típusok az érzékeny felület nagyságában illetve a tokozásban különböznek) érzékenysége 770 nm-en 0,5 A/ W. A kvantumhatásfoka (I fot /q) h R hcr 1,24R[A/W] = = = = = 0,81 = 81 % (P opt /h ) q q [ m] 42

43 A KVANTUMHATÁSFOK Az abszorpciós tényező hullámhosszfüggésén keresztül függ -tól. d vastagságú elnyelő réteg (antireflexiós bevonat esetén el lehet tekinteni a reflexiós veszteségtől): P tr = exp(- d) P in és P abs = P in P tr = (1 - exp(- d))p in mivel minden elnyelt foton egy elektron-lyuk párt kelt = P abs /P in = 1 - exp(- d) = 0 ha = 0, 1 ha d 1 (ha az elnyelő réteg d vastagsága jóval nagyobb mint az 1/ optikai vastagság). Szinte minden félvezetőben nagy értékek ( 10 4 cm -1 ) realizálhatók, így d 10 m-nél megközelíti 1-et. A félvezetők igen hatékony fotodetektorok! 43

44 FOTOVEZETÉS FIZIKÁJA A fotoellenállás (más néven fotokondukciós cella) olyan passzív elem, melynek megvilágítás hatására lecsökken az ellenállása. Alapanyaga valamely félvezető, melynek vezetőképessége az elnyelt fény által generált elektronok és lyukak koncentrációja arányában növekszik. A változás mértéke a megvilágítás erősségétől logaritmikusan függ. = q[(n o + n)μ n + (p o + p)μ p ] = o + = q( nμ n + pμ p ) = qµ n (1 + μ p /μ n ) n, mivel n = p Mivel általában az elektronok mozgékonysága jóval nagyobb mint a lyukaké q μ n n 44

45 FOTOELLENÁLLÁS A fotoellenállás egy félvezető darab vagy réteg, melynek két végén ohmos kontaktus van. 45

46 FOTOELLENÁLLÁS (Ge) Ge fotoellenállás (határhullámhossz 1,88 μm) spektrális érzékenysége. Az érzékenység csak a határhullámhossz felett ktnek (kb. 26 mev) megfelelő hullámhosszaknál csökken nullára. 46

47 FOTODETEKTOROK ANYAGAI Szilícium E G = 1,12 ev, λ G = 1,11 μm, germánium E G = 0,66 ev, λ G = 1,88 μm Mindkét érték a közeli infravörös tartományba (NIR) esik. A kadmium-szulfid (CdS E G = 2,58 ev, λ G = 0,502 μm) és kadmium-szelenid (CdSe E G = 1,73 ev, λ G = 0,749 μm), illetve elegyük a kadmium-szulfid-szelenid (CdSSe) mint fotóellenállások a látható tartományában érzékenyek, a CdSSe fotoellenállás érzékenysége jól követi az emberi szemét. Ezek az eszközök polikristályosak. Az eszköznek nagy az erősítése, de eléggé nagy az időállandójuk ( msec). 47

48 FOTODETEKTOROK ANYAGAI A közeli infravörös tartományban érzékeny az ólomszulfid (PbS E G = 0,42 ev, λ G = 2.95 μm) fotoellenállás, spektrális tartománya μm. Legnagyobb érzékenységük 2 μm körül van. Időűllandójuk kb. 1 msec bagyságrendű. Kadmium-higany-tellurid (CdHgTe) vegyület-félvezetővel (a Cd/Hg aránytól függően a tiltott sáv 1,6 ev és 0 ev között van, a CdTe félvezető, a HgTe fél-fém) 0,1 ev nagyságrendű tiltott sáv realizálható, az ebből készült fotoellenállás érzékeny pl. a 8-12 μm spektrális tartományban (éjjel látó készülék, night vision). 48

49 FOTODETEKTOROK ANYAGAI: TÁVOLI IR A távoli infravörös tartományban arannyal adalélkolt germánium (Ge:Au), illetve ZnCdTe vagy HgCdTe a detektor anyaga. A Zn/Cd, illetve Hg/Cd arány megfelelő beállításával a tiltott sáv akár 0,01 ev-ra is csökkenthető. Alkalmazás: 50 m-es infravörös sugárzási tartományra. Orvosi alkalmazás a termográfia, mint diagnosztikai módszer, amikor az emberi test hőtérképét felvéve gyulladások és daganatok helye deríthető fel. 49

50 AZ INFRAVÖRÖS SPEKTRUM ÉS AZ ALKALMAS FÉLVEZETŐK Near-infrared (NIR) 0,75-1,4 μm Si (IR-A DIN) Short-wave IR (SWIR) 1,4-3 μm (ezen belül nm, nagytávolságú optikai átvitel) InGaAs (IR-B DIN) Mid-wave IR (MWIR) 3-8 μm InSb, HgCdTe, PbSe (IR-C DIN) Long-wave IR (LWIR) 8-15 μm HgCdTe (IR-C DIN) Far-infrared (FIR) μm adalékolt Si, Ge 50

51 A KÖZELI IR SPEKTRUMTARTOMÁNY JELENTŐSÉGE The spectral range of μm is very important for different applications such as medical diagnostics (noninvasive method for measuring glucose in blood) environment monitoring (measuring contents of oil in water, measuring contents of water in oil) and so on. A number of such relevant gases as H 2 O, CO 2, CO, CH 4, N 2 O, SO 2, NH 3, HF and others have strong fundamental absorption lines in the mid-infrared spectral range that are times stronger in comparison with near-infrared overtone bands at shorter wavelength. Therefore such mid-ir LEDs and PDs can be used to build low power consumption optical portable gas analyzers, and environmental monitors. 51

52 Absorption bands of gases in the range m In Mid Infrared spectral range nm lies strong absorption bands of such important gases and liquids as CH4, H2O, CO2, CO, C2H2, C2H4, C2H6, CH3Cl, OCS, HCl, HOCl, HBr, H2S, HCN, NH3, NO2, SO2, glucose and many others. CH 4 1,E-19 H2 O 1,E-20 1,0E-17 1,E-21 1,E CO2 Wavelength, nm Absorption intensity, cm/mol 1,E-17 1,E-18 1,E-19 Absorption intensity, cm/mol Absorption intensity, cm/mol 1,E-18 1,0E-18 1,0E-19 1,0E-20 1,0E-21 1,0E-22 1,E ,E Wavelength, nm ,E-22 1,E-23 1,E-24 1,E-25 1,E Wavelength, m 52

53 Application of Mid Infrared LED and PD in Gas Sensors Optical sensors are the only ones, which are truly gas specific and therefore reliable. NEW mid infrared sources for gas sensors- Mid-IR LEDs cover all spectral range mm. This light source is much smaller, high speed, with low power consumption and don't need filters. Current Driver Measuring LED Reference LED CO2 PD Preamplifier Analog digital converter Processor /Display LED36 PD LED43 CO 2 5mm Félvezető: GaSb, InAs, GaInAsSb 53

54 INFRAVÖRÖS TARTOMÁNYBAN ÉRZÉKENY FOTOELLENÁLLÁSOk Félvezető Max. érzékeny- Spektrális Hőmérséklet ség helye, μm tart., μm K Ólom-szulfid (PbS) 1,9 1, (Ge szűrővel) Ólom-szulfid (PbS) 2,2 0,3-3,5 300 Indium-antimonid (InSb) VIS-7,5 300 Indium-antimonid 6-6,3 77 HgCdTe 9, Ge:Hg Ge:Hg 15 4,2 54

55 A FOTOVEZETÉS GERJESZTÉSI MECHANIZMUSAI Sáv-sáv (intrinsic) gerjesztés, donorszint-vezetési sáv, illetve vegyértéksáv-akceptorszint (extrinsic) gerjesztés. Ge:Hg estén az akceptorszint energiája 90 mev a spektrális érzékenység tartománya λ 10 μm. 55

56 FOTOELLENÁLLÁSOK A GYAKORLATBAN Technikai kivitelüket tekintve a fotoellenállások vákuumpárologtatott vagy kémiai úton egy megfelelő hordozóra felvitt vékony félvezető rétegből állnak meander, vagy fésűs szerkezetben. Sötétellenállásuk igen nagy, tipikusan Mohm. A fotoellenállást áramgenerátoros kapcsolásban célszerű használni. Az infravörös érzékelőket általában alacsony hőmérsékleten (pl. 77 K) működtetik, és az érzékelendő sugárzást valamilyen módon (pl. mechanikus szaggatóval) modulálják. Példa: CdS fotoellenállás sötét 2Mohm normál szoba 3 kohm erős napfény 120 ohm 56

57 FOTOELLENÁLLÁS, FOTOCELLA 57

58 FOTOELLENÁLLÁS A meanderszerkezettel növelhető a hossz és csökkenthető a keresztmetszet így a sötétellenállás igen nagy lehet, tipikusan Mohm. 58

59 CdS FOTOELLENÁLLÁS 100 Photoresistor Resistance vs Illumina n (Advanced Photonix PDV-P9002-1) y = 3E+08x ,000 10, ,000 Resistance (Ohms) A Mullard ORP12 CdS fotoellenállás karakterisztikája. A szaggatott vonal az emberi szem hullámhossz-érzékenysége. A sötétellenállás kb. 10 Mohm, az ellenállás 50 lux megvilágításnál 2-3 kohm. 59

60 ERŐSÍTÉS Fontos jellemzője még a fotoellenállásnak (és általában minden fotódetektornak) az erősítés. Fotoellenállásnál az erősítés az elektródák között az időegység alatt áthaladó töltéshordozók számának és az időegység alatt elnyelt fotonok számának hányadosa. Egyszerű modell alapján az erősítés mint a keltett töltéshordozók élettartama és a futási idő (a töltéscsomagnak az eszközön való áthaladási ideje) viszonya adható meg. A fotoellenállás erősítése az élettartam-mozgékonyság szorzattal azaz n µ n nel arányos, ugyanakkor az eszköz felső határfrekvenciája pedig a n -nel fordítva arányos. 60

61 FOTODETEKTOROK ERŐSÍTÉSE ÉS VÁLASZIDEJE Fotódetektor Erősítés Válaszidő Működési hősec mérséklet, K Fotoellenállás ,2-300 PN dióda PIN dióda Fém-félvezető dióda Lavina fotodióda Bipoláris fototranzisztor Térvezérlésű fototranzisztor

62 FOTOELLENÁLLÁS MŰKÖDTETÉSE A fotoellenállás áramgenerátoros meghajtást igényel. Mivel megvilágítva az ellenállás több (4-5) nagyságrenddel is változik, ezért a munkaellenállást a megvilágítási szintnek megfelelően kell átkapcsolni. 62

63 FET-ES ILLESZTŐKAPCSOLÁS FOTOELLENÁLLÁSHOZ A kapcsolás mind analóg, mind digitális jelekkel való működtetés esetén alkalmazható. 63