TELJES PUBLIKÁCIÓS LISTA FÜRJES PÉTER (2014. március) Referált folyóiratcikk Konferenciakiadvány Könyvfejezet Szabadalom Kumulált impakt 33 72 1 2 ~46,064 Nemzetközi folyóiratokban megjelent közlemények [1] A. Pongrácz, Z. Fekete, G. Márton, Zs. Bérces, I. Ulbert, P. Fürjes, Deep-brain silicon multielectrodes for simultaneous in vivo neural recording and drug delivery, Sensors & Actuators Chemical B 189 97-105, 2013 (IF: 3.535) [2] A. Saftics, E. Agócs, B. Fodor, D. Patkó, P. Petrik, K. Kolari, T. Aalto, P. Fürjes, R. Horvath, S. Kurunczi, Investigation of thin polymer layers for biosensor applications, Applied Surface Science 281 66-72, 2013 (IF: 2.112) [3] Z. Fekete, Z. Hajnal, G. Márton, P. Fürjes, A. Pongrácz: Fracture analysis of silicon microprobes designed for deepbrain stimulation, Microelectronic Engineering, Volume 103 160-166, 2013 (IF: 1.224) [4] Z. Fekete, A. Pongrácz, G. Márton, P. Fürjes: On the fabrication parameters of buried microchannels integrated in in-plane silicon microprobes, Material Science Forum 729 210-215, 2013 [5] E. Holczer, Z. Fekete, P. Fürjes: Surface modification of PDMS based microfluidic systems by tensides, Material Science Forum 729 361-366, 2013 [6] Z. Fekete, A. Pongrácz, P. Fürjes, G. Battistig: Improved process flow for buried channel fabrication in silicon, Microsystem Technologies 18 353-358, 2012 (IF: 0.931) [7] Z. Fekete, P. Nagy, G. Huszka, F. Tolner, A. Pongrácz, P. Fürjes: Performance characterization of micromachined particle separation system based on Zweifach-Fung effect, Sensors & Actuators Chemical B 162 (2012) 89-94, (IF: 3.898) [8] B. Szentpáli, G. Matyi, P. Fürjes, E. László, G. Battistig, I. Bársony, G. Károlyi, T. Berceli, Thermopile-based THz antenna, Microsystem Technologies 18 849-856, 2012 (IF: 0.931) [9] B. Szentpáli, P. Fürjes, I. Bársony, THz Detection by Thermopile Antenna, Procedia Computer Science, Volume 7 pp 156-157, 2011 (IF: -) [10] Z. Fekete, P. Fürjes, T. Kárpáti, G.A.B. Gál, I. Rajta, MEMS-compatible hard coating technique of moveable 3D silicon microstructures, Materials Science Forum Vol. 659 pp 147-152, 2010 (IF: 0.21) [11] Z. Fekete, B. Sinkovics, I. Rajta, GAB Gal, P. Fürjes, Characterization of the end-of-range geometric effects in complex 3D silicon micro-components formed by proton beam writing, Journal of Micromechanics and Microengineering 20, 064015, 2010 (IF 2.233) [12] B. Szentpali, P. Basa, P. Fürjes, G. Battistig, I. Bársony, G. Károlyi, T. Berceli, V. Rymanov, A. Stohr, Thermopile antennas for detection of millimeter waves, APPLIED PHYSICS LETTERS 96, 133507, 2010 (IF 3.554) [13] Deák András, Fürjes Péter, Battistig Gábor, Bársony István: Integrált (nano)érzékelés az analitika szolgálatában, Magyar kémiai folyóirat, 115. évf. 1. sz., 2009 [14] I. Bársony, M. Ádám, P. Fürjes, R. Lucklum, M. Hirschfelder, S. Kulinyi, Cs. Dücső, Efficient catalytic combustion in integrated micropellistors, Meas. Sci. Technol. 20 124009 (9pp), doi:10.1088/0957-0233/20/12/124009, 2009 (IF 1,317) [15] Rajta, Sz. Szilasi, P. Fürjes, Z. Fekete and Cs. Dücső: Si Micro-turbine by Proton Beam Writing and Porous Silicon Micromachining Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B 267 pp 2292-2295, 2009 (IF 1,156)
[16] P. Fürjes, P. Csíkvári, I. Bársony and Cs. Dücső: Micro-Hotplates for Thermal Characterisation of Structural Materials of MEMS Electronic Design Automation Publishing, http://edapublishing.imag.fr/spip/view_proc_article.php3?id_article=388 Microelectronics Journal, Volume 40, Issue 9, September 2009, Pages 1393-1397 (IF 0.778) [17] H. K. Csorbai, G. Kovách, P. Fürjes, P. Csikvari, A. Sólyom, Gy. Hárs, E. Kálmán: Development of self-supporting polycrystalline diamond bridge, Materials Science Forum 537-538 (2007) 145-150 (IF 0,461) [18] Cs. Dücső, I. Rajta, P. Fürjes, E. Baradács: Concept for processing of silicon check valves by proton beam micromachining, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, vol. 260, Issue 1, pp. 409-413, 2007 (IF 0,997) [19] P. Fürjes, Gy. Bognár and I. Bársony: Powerful tools for thermal characterisation of MEMS, Sensors and Actuators B: Chemical, vol. 120 (1) pp. 270-277, 2006 (IF 2,331) [20] E. Horváth, P. L. Neumann, A. L. Tóth, É. Vázsonyi, A. A. Koós, Z. E. Horváth, P. Fürjes, C. Dücső, L. P. Biró: Electrical Characterization of Tungsten Nanowires Deposited by Focused Ion Beam (FIB), NANOPAGES 1: 255-262 (2006) [21] Gy. Bognár, P. Fürjes, V. Székely and M. Rencz: Transient thermal characterisation of hot plates, Microsystem Technologies ISSN: 0946-7076 Vol. 12 1-2, (Paper) 154-159 (Online), DOI: 10.1007/s00542-005-0002-1, 2005 (IF 0,720) http://dx.doi.org/10.1007/s00542-005-0002-1 [22] S. Kulinyi, D. Brandszájsz, H. Amine, M. Ádám, P. Fürjes, I. Bársony and Cs. Dücső: Olfactory detection of methane, propane, butane and hexane using conventional transmitter norms, Sensors and Actuators B vol. 111-112 pp. 286-292, 2005 (IF 2,646) [23] P. Fürjes, M. Ádám, Cs. Dücső, J. Zettner and I. Bársony: Thermal effects by the sensitive coating of calorimetric gas sensors, Sensors and Actuators B vol. 111-112 pp. 96-101, 2005 (IF 2,646) [24] Bársony, P. Fürjes, M. Ádám, Cs. Dücső, J. Zettner and F. Stam: Thermal response of microfilament heaters in gas sensing, Sensors and Actuators B 103 442-447, 2004 (IF 2,083) [25] P. Fürjes, G. Légrádi, Cs. Dücső, A. Aszódi and I. Bársony: Thermal Characterisation of a Direction Dependent Flow Sensor, Sensors and Actuators A 115 417-423, 2004 (IF 1,462) [26] P. Fürjes, Cs. Dücső, M. Ádám, J. Zettner, I. Bársony: Thermal characterisation of micro-hotplates used in sensor structures, Superlattices and Microstructures 35 455-464, 2004 (IF 0.859) [27] H. Csorbai, P. Fürjes, Gy. Hárs, Cs. Dücső, I. Bársony, E. Kálmán, P. Deák: Microwave-CVD diamond protective coating for 3D structured silicon microsensors, Materials Science Forum 414-4, 69-73 2003 (IF 0,602) [28] Cs. Dücső, M. Ádám, P.Fürjes, M. Hirschfelder, S. Kulinyi and I. Bársony: Explosion-proof Monitoring of Hydrocarbons by mechanically stabilised, integrable calorimetric microsensors, Sensors and Actuators B 95 189-194, 2003 (IF 2,391) [29] P. Fürjes, A. Kovács, Cs. Dücső, M. Ádám, B. Müller and U. Mescheder: Porous Silicon Based Humidity Sensor with Interdigital Electrodes and Internal Heaters, Sensors and Actuators B 95 140-144, 2003 (IF 2,391) [30] E. Lukács, Zs. Vízváry, P. Fürjes, F. Riesz, Cs. Dücső and I. Bársony: Determination of Deformation Induced by Thin Film Residual Stress in Structures of Millimeter Size, Advanced Engineering Materials Vol. 4 No. 8 625-627, 2002 (IF 1,209) [31] P. Fürjes, Cs. Dücső, M. Ádám, A. Morrissey, I. Bársony: Materials and Processing for Realisation of Microhotplates Operated at Elevated Temperature, Journal of Micromechanics and Microengineering 12, 2002 425-429 (IF 1,755)
[32] P. Fürjes, Zs. Vizváry, M. Ádám, A. Morrissey, Cs. Dücső and I. Bársony: Thermal investigation of Micro-filament Heaters, Sensors and Actuators A 99, 2002 98-103 (IF 1,299) [33] Zs. Vízváry, P. Fürjes, I. Bársony: Thermomechanical Analysis of Hotplates by FEM, Microelectronics Journal 32 833-837, 2001 (IF 0,333) Szabadalom [1] Verfahren zur Herstellung von Feuchtesensoren (Nedvességérzékelő gyártási módszere), U. Mescheder, A. Kovács, B. Müller, Cs. Dücsö, I. Bársony, P. Fürjes, M. Ádám:, Deutsches Patent- und MarkenamtAngemeldet (Német Szabadalmi Hivatal) am 12.9.2002 DE, 10242592.2 [2] Fekete Z., Pongrácz A., Szendrey Á., Fürjes P., Battistig G., CMOS technológiába integrálható eljárás egykristályos Si alapú, eltemetett mikrofluidikai csatorna hálózattal rendelkező eszköz előállítására, a szubsztrátfelület planaritásának megőrzése mellett, (Szellemi Tulajdon Nemzeti Hivatala) 2011. 04. 30., P1100170 Könyvfejezet [1] E. Comini et al. (eds.), Solid State Gas Sensing, Chapter 7 I. Bársony, Cs. Dücső, P. Fürjes: Thermometric Gas Sensing DOI: 10.1007/978-0-387-09665-0_7, Springer Science + Business Media, LLC 2009 Konferencia-kiadványokban megjelent közlemények [1] E. Tóth, K. Iván, P. Fürjes, Z. Fekete, E. Holczer, Design, Realisation and Validation of Microfluidic Stochastic Mixers Integrable in bioanalytical Systems Using CFD Modeling, IEEE BioCAS 2013 Conference, Rotterdam, Netherlands, 2013 [2] E. Tóth, K. Iván, P. Fürjes, Design and comparsion of micromixers using COMSOL simulations, From Medicine to Bionics Conference, Budapest, Hungary, 2013 [3] Z. Fekete, A. Németh, G. Márton, É. Vázsonyi, I. Ulbert, P. Fürjes, A. Pongrácz: Mechanical interaction between silicon microprobes and rat brain tissue, Proceedings of 17th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences - µtas 2013, Freiburg, Germany, 2013 [4] P. Fürjes, E. Holczer, E. Tóth, Z. Fekete, Polymer Based Microfluidics for Biomedical Applications, MITT2013 Conference, Budapest, Hungary, 2013 [5] R. E. Gyurcsányi, Gy. Jágerszki, P. Fürjes, A. Brajnovits, P. Terejánszki, D. T Bakk, Beyond Conventional Electrochemical Sensing with Functionalized Solid-State Nanopores, PITTCON 2013 Conference, Philadelphia, USA, 2013 (1700-7) [6] F. Tolner, Z. Fekete, P. Fürjes, Electromagnetic model of cellular flow in a microfluidic system, 2nd Conference on Impedance-Based Cellular Assays, Budapest, Hungary, 2013 [7] A. J. Laki, K. Iván, P. Furjes, P. Civerac, Integrated microcapillary system for microfluidic parasite analysis, Advances in Microfluidics & Nanofluidics Conference, Notre Dame, USA, 2013 [8] P. Fürjes, Z. Fekete, E. Holczer, E. Tóth, K. Iván, I. Bársony, Chaotic mixing of particles in microfluidic systems, Proceedings of the Microfluidics 2012 Conference, 141, Heidelberg, Germany, 2012
[9] P. Fürjes, E. Holczer, Z. Fekete, E. Tóth, F. Dortu, D. Giannone, Development of a polimer based microfluidics for polimer based photonic biosensors, Proceedings of the Microfluidics 2012 Conference, 141, Heidelberg, Germany, 2012 [10] A. Saftics, E. Agócs, B. Fodor, D. Patkó, P. Petrik, K. Kolari, T. Aalto, P. Fürjes, R. Horváth, S. Kurunczi, Investigation of thin polymer layers for biosensor application, Proceedings of the E-MRS 2012 Conference, Warsaw, Poland, 2012 [11] Domenico Giannone, Fabian Dortu, Damien Bernier, Nigel P. Johnson, Graham J. Sharp, Lianping Hou, Ali Z. Khokhar, Péter Fürjes, Sándor Kurunczi, Peter Petrik, Robert Horvath, Timo Aalto, Kai Kolari, Sami Ylinen, Tomi Haatainen, Holger Egger, NIL fabrication of a polymer-based photonic sensor device in P3SENS project, Proceedings of SPIE Organic Photonics Conference, Brussels, Belgium, 2012 [12] P. Fürjes, Z. Fekete, E. G. Holczer, E. Tóth, K. Iván, I. Bársony: Particle mixing by chaotic advection in polymer based microfluidic systems, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PT2-4, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, 454-457, 2012) [13] P. Fürjes, Z. Fekete, L. Illés, A. L. Tóth, G. Battistig, R. E. Gyurcsányi: Effects of the Focused Ion Beam parameters on nanopore milling in solid state membranes, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PM1-14, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, 684-687, 2012) [14] Z. Fekete, G. Huszka, A. Pongrácz, Gy. Jágerszki, R. E. Gyurcsányi, E. Vrouwe, P. Fürjes: Integrated microfluidic environment for solid-state nanopore sensors, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PM1-1, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, 13-16, 2012) [15] A. Pongrácz, Z. Fekete, G. Marton, R. Fiáth, P. Fürjes, I. Ulbert, G. Battistig: Deep-brain silicon multielectrodes for simultaneous neural recording and drug delivery, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, T2B-3, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, 281-284, 2012) [16] A. J. Laki, K. Iván, Z. Fekete, P. Fürjes, D. Demarchi, P. Civera, Filtration of intravenous cardiopulmonary parasitic nematodes using a cross-flow microfluidic separator, Proceedings of the 8 th NanoBio Europe 2012 Conference, Varese, Italy, 2012 [17] G. Lautner, Gy. Jágerszki, D. T. Bakk, Z. Fekete, E. Vrouwe, R. E. Gyurcsányi, P. Fürjes, Microfluidically Addressable Solid State Nanopores for Biochemical Sensing and Counting, Proceedings of the PITTCON 2012, Orlando, Florida, USA, 2012 [18] Z. Fekete, G. Huszka, A. Pongrácz, T. Kárpáti, E. Vrouwe, P. Fürjes, Integrated microfluidic functions for nanopore based biosensors, Proceedings of the International Conference on Materials and Applications for Sensors and Transducers 2012, Budapest, Hungary, 2012 [19] T. Kárpáti, A. E. Pap, M. Ádám, P. Fürjes, S. Kulinyi, Si based MEMS Capacitive Pressure Sensor Design and Manufacturing, Proceedings of the International Conference on Materials and Applications for Sensors and Transducers 2012, Budapest, Hungary, 2012 [20] E. Holczer, Z. Fekete, P. Fürjes, Surface modication of PDMS based microfluidic systems by tensides, Proceedings of the VIII. Hungarian Conference on Materials Science, Budapest, Hungary, 2011 [21] Z. Fekete, A. Pongrácz, P. Fürjes, Buried microchannels in silicon with planar surfaces, Proceedings of the VIII. Hungarian Conference on Materials Science, Budapest, Hungary, 2011 [22] R. E. Gyurcsányi, I. Makra, Gy. Jágerszki, D. T. Bakk, T. Mészáros, Z. Fekete, F. Bíró, A. L. Tóth, P. Fürjes, Solid-state nanopores modified by aptamer receptors for biochemical sensing, Proceedings of the International Workshop on Multianalyte Biosensing Devices, Athens, Greece, 2011 [23] R. Gyurcsányi, I. Makra, G. Jágerszki, D. Bakk, Z. Fekete, G. Battistig, I. Bársony, P. Fürjes, Characterisation of Solid-State Gold nanopores Applicable for Biochemical Sensing, Proceedings of the Eurosensors 2011 Conference, B5P-E Micro-Nano Fabrication 21, Athens, Greece, 2011 (Procedia Engineering 25 (2011) 904-907)
[24] Z. Fekete, E. Holczer, E. Tóth, K. Iván, P. Fürjes, Stochastic Mixing in microfluidics Integrable in bioanalytical Systems, Proceedings of the Eurosensors 2011 Conference, B5P-K Microfluidics and LoC 14, Athens, Greece, 2011 (Procedia Engineering 25 (2011) 1229-1232) [25] Z. Fekete, P. Nagy, A. Pongrácz, I. Bársony, P. Fürjes, Efficiency Test on the Experimental Design of Micromachined Blood Separation System Based on Zweifach-Fung Effect, Proceedings of the Eurosensors 2011 Conference, B5P-K Microfluidics and LoC 17, Athens, Greece, 2011 (Procedia Engineering 25 (2011) 1241-1244) [26] Z. Fekete, A. Pongrácz, G. Márton, P. Fürjes, Mechanical characterisation of hollow silicon microprobes fabricated by Deep Reactive Ion Etching, European Biophysics Journal with Biophysics Letters, Vol. 40, p226, 2011 [27] Z. Fekete, A. Pongrácz, Á. Szendrey, P. Fürjes, Burried Microchannels in Silicon with Planar Surfaces, Proceedings of the MME 2011, A3 pp38-41, Tonberg, Norway, 2011 [28] Z. Fekete, E. G. Holczer, E. Tóth, K. Iván, P. Fürjes, Design and Realisation Microfluidic Stochastic Mixers Integrable in Bioanalitical Systems, Proceedings of the MME 2011, D71 pp295-297, Tonberg, Norway, 2011 [29] H. Egger, K. Kolari, T. Haatainen, P. Furjes, D. Bernier, B. Lahiri, F. Dortu, S. Kurunczi, J-C. Sanchez, N. Turck, R. Horvath, S. Eiden, T. Aalto, S. Watts, P. Petrik, N. P. Johnson, R. M. De La Rue, D. Giannone, Design and process development of a photonic crystal polymer biosensor for point-of-care diagnostic, Proceedings of the SPIE European Conferences on Biomedical Optics: Clinical and Biomedical Spectroscopy and Imaging, 8087-10, S3, Munich, Germany, 2011 [30] R. E. Gyurcsányi, I. Makra, Gy. Jágerszki, T. Mészáros, Z. Fekete, A. L. Tóth, P. Fürjes, Solid-state gold nanopores modified by aptamer receptors for biochemical sensing, Proceedings of the International Conference on Electrochemical Sensors, TU11 p87, Dobogókő, Hungary, 2011 [31] Z. Fekete, E. Holczer, É. Vázsonyi, A. Pongrácz, G. Battistig, P. Fürjes, Surface modification of silicon by 3D etching precesses and subsequent layer deposition, Proceedings of EuroNanoForum 2011 Conference, Nanosurfaces, Budapest, Hungary, 2011 [32] R. E. Gyurcsányi, L. Höfler, G. Lautner, Gy. Jágerszki, A. L. Tóth, Z. Fekete, P. Fürjes, Chemically modified solidstate gold nanopores for biochemical sensing, Proceedings of EuroNanoForum 2011 Conference, Nanosensors, Budapest, Hungary, 2011 [33] T. Kárpáti, A. E. Pap, M. Ádám, P. Fürjes, S. Kulinyi, Prototype MEMS Capacitive Pressure Sensors Design and Manufacturing, Proceedings of Micro&Nano 2010 Conference, Paper ID: P104, Athen, Greece, 2010 [34] T. Kárpáti, Z. Fekete, É. Vázsonyi, T. Pardy, P. Fürjes, I. Bársony, Development of 3D etching processes and subsequent layer deposition for surface modification of silicon, Proceedings of Micro&Nano 2010 Conference, Paper ID: P104, Athen, Greece, 2010 [35] Z. Fekete, D. Gubán, É. Vázsonyi, A. Pongrácz, G. Battistig, P. Fürjes, Surface modification of silicon by 3D etching processes and subsequent layer deposition, Proceedings of MME 2010 Conference, Twente, The Netherlands, 2010 [36] B. Szentpáli, P. Basa, P. Fürjes, G. Battistig, I. Bársony, G. Károlyi, T. Berceli, Millimeter wave detection by thermopile antenna, Proceedings of Eurosensors XXIV Conference, Linz, Austria, 2010 [37] B. Szentpáli, P. Basa, P. Fürjes, G. Battistig, I. Bársony, Thermopile as THz detector, Proceedings of IEEE TERA 2010 Conference, Sevastopol, Ukraina, 2010 [38] R. E. Gyurcsányi, L. Höfler, T. Varga, S. Goiame, Á. Takács, G. Lautner, Gy. Jágerszki, I. T. Makra, A. L. Tóth, Z. Fekete, D. Gubán, P. Fürjes, Chemically modified solid-state gold nanopores for biochemical sensing, Proceedings of BIOSENSORS 2010 Conference P2.1.025, Glasgow, UK, 2010 [39] R. E. Gyurcsányi, L. Höfler, Gy. Jágerszki, I. T. Makra, A. L. Tóth, Z. Fekete, D. Gubán, I. Bársony, P. Fürjes, Chemically modified solid-state single gold nanopores for biochemical sensing Proceedings of E-MRS 2010 Conference, Symposium B 10 27, Strasbourg, France, 2010
[40] I. Bozsóki, T. Szabó, Z. Fekete, I. Rajta, N. Q. Chinh, G. Dobos, G. Battistig, P. Fürjes, and I. Bársony, Characterisation of sputtered TiN for hard coating of complex 3D silicon microstructures, Proceedings of E-MRS 2010 Conference, Symposium L 8 2, Strasbourg, France, 2010 [41] Z. Fekete, P. Fürjes, I. Rajta, Cs. Dücső, Characterisation of end-of-range geometric effect in complex 3D silicon micro-components formed by Proton Beam Writing, Proceedings of the MME 2009 Conference, Paper ID: 150, Toulouse, France, 2009 [42] P. Fürjes, Z. Fekete, G. Lővei, I. Bársony, Thermally actuated valve system for multi-channel micro-fluidics, Proceedings of the MME 2009 Conference, Paper ID: 124, Toulouse, France, 2009 [43] Z. Fekete, G.A.B. Gál, E. Baradács, I. Rajta, P. Fürjes, Cs. Dücső: Integration of proton beam micromachining into MEMS technology for development 3D single crystalline silicon mobile microstructures, Országos Anyagtudományi Konferencia, Balatonkenese, Hungary, 2009 [44] Z. Fekete, P. Fürjes, I. Rajta, E. Baradács, Cs. Dücső and I. Bársony: Hard coating of mobile 3-D silicon microstructures Proceedings of E-MRS 2009 Conference, Symposium : P: Protective coatings and thin films 09, p. PP4 2, Strasbourg, France, 2009 [45] Z. Fekete, P. Fürjes: Development of silicon-based microfluidic components by proton beam writing and using porous silicon sacrificial layer, Genius Europe Conference, Budapest, Hungary, 2009 [46] Róbert E. Gyurcsányi, Lajos Höfler, Áron Cserkaszky, Tamás Varga, Gergely Lautner, Gyula Jágerszki, Péter Fürjes, Attila L. Tóth: Chemically Modified Solid-State Nanopores for Sensing, Proceedings of International Conference on Electrochemical Sensors, p. 88., Dobogókő, Hungary, 2008 [47] András Vass-Várnai, Péter Fürjes, Márta Rencz: Possibilities of Humidity Sensing with Thermal Transient Testing on Porous Structures, Proceeding of Therminic 2008 Conference, pp. 200-203, Rome, Italy, 2008 [48] P. Fürjes, I. Rajta, G. Battistig, I. Bársony and Cs. Dücső: Integrated Micro-Membranes by high energy He + or H + Implantation and Electrochemical Etching, Proceedings of Eurosensors XXII, Dresden, 2008 [49] I. Rajta, Sz. Szilasi, P. Fürjes, Z. Fekete and Cs. Dücső: Si Micro-turbine by Proton Beam Writing and Porous Silicon Micromachining Proceedings of 12 th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications ICNMTA2008, Debrecen, 2008 [50] P. Fürjes, P. Csíkvári, I. Bársony and Cs. Dücső: Micro-Hotplates for Thermal Characterisation of Structural Materials of MEMS, Proceeding of Therminic 2007 Conference, pp. 184-188, Budapest, Hungary, 2007 [51] P. Fürjes, P. Csíkvári, Gy. Hárs and Cs. Dücső: Diamond Coated Micro-Heaters for MEMS, Proceedings of E-MRS 2007 Conference, p. Q-PII 9, 2007 [52] P. Fürjes, Cs. Dücső, Zs. Vízváry, I. Bársony: Transient Heat Conduction Effects in Deformed Microstructures Proceedings of Eurosensors XX, vol. 2 pp 164-165, Göteborg, 2006, editor: P. Enoksson [53] Cs. Dücső, I. Rajta, P. Fürjes and E. Baradács: Silicon Check Valve made by Proton Beam Micromachining Proceedings of 10 th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications ICNMTA2006, Singapore, 2006 [54] H. K. Csorbai, G. Kovách, P. Fürjes, P. Csikvari, A. Sólyom, Gy. Hárs, E. Kálmán: Development of self-supporting polycrystalline diamond bridge, Poceedings of 5th Hungarian Conference on Materials, Science, Testing and Informatics (2005), editor: J. Gyulai [55] P. Fürjes, Gy. Bognár and I. Bársony: Powerful Tools for Thermal Characterisation of MEMS Proceedings of IEEE Sensors 2004, p231, Wien (2004), editor: P. M. Sarro [56] P. Fürjes, M. Ádám, Cs. Dücső, J. Zettner and I. Bársony: Thermal effects by the sensitive coating of calorimetric gas sensors, Proceedings of Eurosensors XVIII, pp 899-900, Rome (2004), editor: C. Di Natale
[57] S. Kulinyi, D. Brandszájsz, H. Amine, M. Ádám, P. Fürjes, I. Bársony and Cs. Dücső: Integrated pellistors and heat conductivity sensors for olfactory detection of methane, propane-butane and hexane, Proceedings of Eurosensors XVIII, pp 463-464, Rome (2004), editor: C. Di Natale [58] Gy. Bognár, P. Fürjes, V. Székely, M. Rencz: Transient thermal characterisation of hot plates, Proceedings of DTIP 2004, pp., Montreux (2004), editor: B. Courtois [59] I. Bársony, P. Fürjes, M. Ádám, Cs. Dücső, J. Zettner and F. Stam: Thermal response of microfilament heaters in gas sensing, Proceedings of Eurosensors XVII 510-511, Guimarães (2003) [60] P. Fürjes, G. Légrádi, Cs. Dücső, A. Aszódi and I. Bársony: Thermal Characterisation of a Direction Dependent Flow-rate Sensor, Proceedings of Eurosensors XVII 174-175, Guimarães (2003) [61] P. Fürjes, Cs. Dücső, M. Ádám, Jürgen Zettner and I. Bársony: Thermal characterisation of Micro-Hotplates Applied in Sensor Structures, Poceedings of Eurotherm 2003 59-60, Reims (2003) [62] I. E. Lukács, P. Fürjes, Cs. Dücső, Ferenc Riesz and I. Bársony: Process Monitoring of MEMS Technology by Makyoh Topography, Proceedings of MME 2002, Sinaia (2002) 283-286 [63] Zs. Vízváry, P. Fürjes, M. Ádám, Cs. Dücső and I. Bársony: Mechanical Modelling of an Integrable 3D Force Sensor by Silicon Micromachining, Proceedings of MME 2002, Sinaia (2002) 165-168 [64] P. Fürjes, G. Légrádi, Cs. Dücső, A. Aszódi and I. Bársony: Modelling and Characterisation of a micro gas-flow sensor, Proceedings of MME 2002, Sinaia (2002) 157-160 [65] Zs. Vízváry, P. Fürjes: Thermomechanical Investigation of a Suspended Microhotplate Proceedings of Third Conference on Mechanical Engineering, Gépészet 2002, Budapest (2002) 302-306 [66] Cs. Dücső, M. Ádám, P.Fürjes, M. Hirschfelder, S. Kulinyi and I. Bársony: Explosion-proof Monitoring of Hydrocarbons by Micropellistor, Proceedings of Eurosensors XVI, Prague (2002) 605-606 [67] P. Fürjes, A. Kovács, Cs. Dücső, M. Ádám, B. Müller and U. Mescheder: Porous Silicon Based Humidity Sensor with Interdigital Electrodes and Internal Heaters, Proceedings of Eurosensors XVI, Prague (2002) 525-526 [68] P. Fürjes, Cs. Dücső, M. Ádám, A. Morrissey, I. Bársony: Materials and Processing for Realisation of Microhotplates Operated at Elevated Temperature, Proceedings of MME 2001, Cork (2001) 191-194 [69] P. Fürjes, Zs. Vízváry, M. Ádám, Cs. Dücsõ, A. Tóth, I. Bársony: Processing and characterisation of integrable microhotplates for gas sensing applications Book of Abstract, First Conference on Microelectronics, Microsystems, Nanotechnology, MMN 2000, Athén (2000) [70] P. Fürjes, Zs. Vízváry, M. Rácz, I. Bársony: Temperature measurement in micro-filament heater Proceedings of the 6 th International Workshop on THERMal INvestigations of ICs and Systems (Therminic), Budapest (2000) 262-265 [71] Zs. Vízváry, P. Fürjes, I. Bársony: Three-Dimensional Finite Element Model for Thermomechanical Analysis of Hotplates Proceedings of the 6 th International Workshop on THERMal INvestigations of ICs and Systems (Therminic), Budapest (2000) 253-257 [72] H. Csorbai, P. Fürjes, Cs. Dücső, Gy. Hárs, I. Bársony, P. Deák: Pinhole free diamond film deposited on monocrystalline silicon by MW-CVD method, Proceedings of the Eurosensors XIV, Copenhagen (2000) 251-252
Szóbeli előadások [1] Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Illés Levente, Tóth Attila Lajos, Sáfrány György, Gyurcsányi E. Róbert, Jágerszky Gyula, Mikro és nanofluidikai rendszerek és orvosbiológiai alkalmazásuk, A Magyar Tudományos Akadémia Anyagtudományi és Technológiai Bizottság Nanoanyagok és Nanotechnológiák Albizottságának ülése, Budapest, 2012 [2] Fürjes Péter, Holczer Eszter, Fekete Zoltán, Gyurcsányi E. Róbert, Iván Kristóf, Tóth Eszter, Mikro és nanofluidikai rendszerek és orvosbiológiai alkalmazásuk, Magyar Tudományos Akadémia Nano Törzsasztal, 2012 [3] Fürjes Péter, Holczer Eszter G., Fekete Zoltán, Gyurcsányi E. Róbert, Iván Kristóf, Tóth Eszter, Battistig Gábor, Bársony István, Integrált mikrofluidikai mintaelőkészítő rendszerek bioszenzorokhoz, Munkaülés a kémiai szenzorok kutatásának eredményeiről az MTA Szenzorok, Bioszenzorok Munkabizottsága rendezésében, Pécs 2012 [4] Jágerszki Gyula, Fürjes Péter, Gyurcsányi Róbert, Ionofórral módosított szilárdtest egy-nanopórusos potenciometriás szenzorok, Munkaülés a kémiai szenzorok kutatásának eredményeiről az MTA Szenzorok, Bioszenzorok Munkabizottsága rendezésében, Pécs 2012 [5] Bakk Teodóra Diána, Fürjes Péter, Gyurcsányi Róbert, Nanopórusok fejlesztése nanoméretű részecskék számlálására Útban a vírusszámlálás felé, Munkaülés a kémiai szenzorok kutatásának eredményeiről az MTA Szenzorok, Bioszenzorok Munkabizottsága rendezésében, Pécs 2012 [6] Péter Fürjes, Gábor Battistig, István Bársony, Novel Approaches in Sensor Development Integration of MEMS and Nanotechnology, Workshop of the ESARDA Novel Approaches/Novel Technologies Working Group, Budapest, 2011 [7] Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Holczer Eszter, Gyurcsányi E. Róbert, Iván Kristóf, Tóth Eszter, Battistig Gábor, Bársony István, Mikro- és nanofluidikai szerkezetek orvosbiológiai alkalmazásokra, Irányváltások a mikroelektronikában, konferencia a Magyar Tudományos Akadémia Műszaki Tudományok Osztálya - Elektronikus Eszközök és Technológiák Bizottsága rendezésében,budapest, 2011 [8] Fürjes Péter, Gyurcsányi E. Róbert, Tóth Attila, Fekete Zoltán, Battistig Gábor, Bársony István, Kutatási irányok at MFA MEMS Laboratóriumában, A Magyar Tudományos Akadémia Műszaki Osztályának ülése, Budapest, 2011 [9] Pongrácz Anita, Fürjes Péter, Battistig Gábor, Bársony István, MEMS/BIOMEMS szerkezetek, A mi világunk kémiája szimpózium, november 25., Budapest, 2011 [10] Fürjes Péter, Gyurcsányi E. Róbert, Tóth Attila, Fekete Zoltán, Battistig Gábor, Bársony István, Mikro / Nanofluidikai rendszerek, A Magyar Tudományos Akadémia Anyagtudományi és Technológiai Bizottság Nanoanyagok és Nanotechnológiák Albizottságának ülése, Budapest, 2010 [11] R. E. Gyurcsányi, L. Höfler, T. Varga, S. Goiame, Á. Takács, G. Lautner, Gy. Jágerszki, A. L. Tóth, Z. Fekete, D. Gubán, P. Fürjes, Chemically modified solid-state gold nanopores for biochemical sensing, EuroTraining: Nanotechnology for Electronics Course, Budapest, Hungary, 2010 [12] Fürjes Péter, Battistig Gábor, Bársony István: MEMS szerkezetek tervezése, HVG Állásbörze, Budapest, 2009 [13] Fürjes Péter, Battistig Gábor, Bársony István: Mikrofluidikai szerkezetek, MTA Elektronikus Eszközök és Technológiák Bizottságának ülése, Budapest, 2009 [14] Fürjes P., Dücső Cs., Ádám M., Vásárhelyi G., Battistig G., Bársony I.: MEMS szerkezetek kialakítása mikromechanikai technológiákkal, MTA Anyagtudományi és Technológiai Komplex Bizottságának előadóülése, 2008 [15] Fürjes P.: Hőtani megfontolások MEMS eszközök tervezése során, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, 2004, 2005, 2006, 2007, 2008
[16] Fürjes P.: Hőátvitel szilícium mikrogépészeti eszközökben, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, 2003 [17] Fürjes P.: Pellisztor típusú gázérzékelő, áramlás- és nedvességmérő szenzorok, Mikrotechnikai újdonságok, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, (2003) [18] Fürjes P., Dücső Cs., Kovács A., U. Mescheder: Pórusos szilícium alapú nedvességérzékelő szenzor, Tateyama Szeminárium, Budapest (2002) [19] Fürjes P.: Mikroszenzorok Áramlás és nedvesség mérése, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Budapest (2002) [20] P. Fürjes, Zs. Vízváry, G. Légrádi, Cs. Dücső: Realisation and investigation of a calorimetric micro flow sensor, Tateyama Seminar, Budapest (2002) [21] P. Fürjes, Zs. Vízvári, Cs. Dücső: Micro gas and flow sensors, Tateyama Seminar, Budapest (2001) [22] Fürjes P., Vizváry Zs., Dücsõ Cs., Bársony I. és Deák P.: Mikroméretű gázérzékelõk és áramlásmérõk fejlesztése az MFA-ban, Kémiai Szenzorok Kutatásának Újabb Eredményei, Pécs (2001) [23] E. Lukács, Zs. Vízváry, P. Fürjes, F. Riesz, Cs. Dücső and I. Bársony: Determination of Deformation induced by thin film residual stress in structures of millimetre size, Proceedings of E-MRS 2001, Strasbourg (2001) O-8 [24] H. Csorbai, P. Fürjes, A. Tóth, G. Hárs, Cs. Dücső, I. Bársony, E. Kálmán and P. Deák: Microwave-CVD Diamond Protective Coating for 3D structured Silicon Microsensors, Proceedings of E-MRS 2001, Strasbourg (2001) C-32 [25] P. Fürjes, Zs. Vizváry, M. Ádám, M. Rácz and I. Bársony: Thermal investigation of Micro-filament Heaters, Proceedings of E-MRS 2001, Strasbourg (2001) J-14 [26] Fürjes Péter: Az MFA kutatási területei: Inregrálható gázérzékelő mikroszerkezetek, A DOSZ Tavaszi szél konferenciájának kiadványa, Gödöllő (2000) [27] P. Fürjes, Cs. Dücső, I. Bársony: Smooth silicon membranes formed by combined etching process, Proceedings of the International Workshop of Micro-devices, Budapest (1999)
Óraadás Mikro és nanotechnológia (2x2 óra előadás) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem - EET, Budapest (2010 -) MEMS / BIOMEMS szerkezetek Fizikai, kémiai és nanotechnológiák labor (2x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem - ETT, Budapest (2010 -) A félvezetőgyártás ábrakialakítási módszerei Szilícium alapú mikrofluidikai eszközök technológiája Anyagtudományi Labor (3x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, Budapest (2010 -) Kémiai és bioszenzorok (1x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, Budapest (2010 -) Témavezetés: Tanuljunk egymástól Nyári Iskola középiskolásoknak (2010 -) (Oktatási és Kulturális Minisztérium - Kármán Tódor-díj) BIOMIMETIKA LÓTUSZ-EFFEKTUS szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással MFA MEMS Laboratórium TDK témavezetés (7) [1] Holczer Eszter: PDMS alapú mikrofluidikai rendszerek felületmódosítása tenzidekkel, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, vegyészmérnök szak, Anyagtudomány Szekció, II. hely (2011), XXXI. OTDK, Kémiai és Vegyipari Szekció, III. helyezés (2013) [2] Pardy Tamás: Nedvesítési tulajdonságok szabályozása szilícium alapú digitális mikrofluidikai rendszerekben, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, Molekuláris bionika BSc. Szak, Bionikus Mérőeszközök szekció, I. hely, (2011) [3] Tóth Eszter: Mikrokeverők tervezése és összehasonlítása a COMSOL modell segítségével, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, Molekuláris bionika BSc. Szak, Bionikus Mérőeszközök szekció, II. hely, (2011), XXXI. OTDK, Műszaki Tudományi Szekció, II. helyezés (2013) [4] Huszka Gergely: Zweifach-Fung bifurkációs hatáson alapuló részecskeszeparációs szerkezetek viselkedésének vizsgálata, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, Molekuláris bionika BSc. Szak, Bionikus Mérőeszközök szekció, III. hely, (2011) [5] Nagy Péter: Vérszeparációra alkalmas mikrofluidikai egység tervezése, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, Elektronikai Eszközök és Technológiák Bizottság, Kari TDK Konferencia: I. helyezés (2010) [6] Fekete Zoltán: Szilícium alapú mikrofluidikai elemek fejlesztése protonnyalábos mikromegmunkálással és porózus szilícium áldozati réteg felhasználásával, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, Elektronikai Technológia Tanszék, Kari TDK konferencia: I. helyezés, XXIX. OTDK: III. helyezés (2009) [7] Fekete Zoltán: Development of silicon-based microfluidic elements formed by the combination of proton beam writing and porous silicon micromachining, Genius Europe 2009, Diplomázók Nemzetközi Fóruma, I. díj (2009)
Diploma témavezetés (12) [1] Tolner Ferenc: Impedimetriás elvű mikrofluidikai mérőcellák optimalizálása végeselem modellezéssel, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Természettudományi Kar, MSc (2013) [2] Tóth Eszter: Részecske keveredés kaotikus mikrofluidikai rendszerekben, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, MSc (2013) [3] Tolner Ferenc: Biológiai minták áramlástani viselkedésének modellezése mikroeszközökben, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Természettudományi Kar, BSc (2011) [4] Holczer Eszter: PDMS alapú mikrofluidikai rendszerek felületmódosítása tenzidekkel, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, vegyészmérnök szak, BSc (2011) [5] Pardy Tamás: Nedvesítési tulajdonságok szabályozása szilícium alapú digitális mikrofluidikai rendszerekben, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, Molekuláris bionika BSc. Szak (2011) [6] Tóth Eszter: Mikrokeverők tervezése és összehasonlítása a COMSOL modell segítségével, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, Molekuláris bionika BSc. Szak (2011) [7] Huszka Gergely: Zweifach-Fung bifurkációs hatáson alapuló részecskeszeparációs szerkezetek viselkedésének vizsgálata, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, Molekuláris bionika BSc. Szak (2011) [8] Zsovár András: SI / üveg heterogén mikrofluidikai szerkezet megvalósítása bioanalitikai célokra, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, Elektronikai Eszközök Tanszék, BSc (2011) [9] Szekrényes Gergely: Feszültségkompenzált rétegszerkezet kialakítása, vizsgálata és alkalmazása 3D MEMS szerkezetekben, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, Elektronikai Eszközök Tanszék, MSc (2011) [10] Gubán Dorottya: Komplex 3D egykristályos szilícium szerkezetek kialakítása kémiai eljárásokkal, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, vegyészmérnök szak, MSc (2010) [11] Sidney Goiame: Design and formation micro and nanofluidic channels for solid-state nanopore sensors, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, vegyészmérnök szak, BSc (2009) [12] Fekete Zoltán: Szilícium alapú mikrofluidikai elemek fejlesztése protonnyalábos mikromegmunkálással és porózus szilícium segédréteg felhasználásával, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, Elektronikai Technológia Tanszék, villamosmérnök szak, MSc (2009) [13] Lővei Gábor: Casimir-Effect in nanotechnology, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar, informatikus szak, BSc (2009) [14] Takács András: Funkcionális mikrofluidikai rendszerek tervezése és kialakítása bioanalitikai célokra, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, orvos-biológai mérnök szak, posztgraduális (2009) PhD témavezetés (1) [1] Fekete Zoltán: Development and characterisation of silicon microfluidic components and systems, Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar, (BENYÚJTVA: 2012) [2] Tóth Eszter: Funkcionális mikro és nanofuidikai szerkezetek, Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar