Optikai mérési módszerek

Hasonló dokumentumok
8. előadás Ultrarövid impulzusok mérése - autokorreláció

Vezetéki termikus védelmi funkció

Optika. sin. A beeső fénysugár, a beesési merőleges és a visszavert, illetve a megtört fénysugár egy síkban van.

Orvosi Biofizika I. 12. vizsgatétel. IsmétlésI. -Fény

Ú ú ö é ö é Ú ú ö ű ö ö ű ö é ö ö é í í Ö ö í í Á Á Ó é ű ü é é ü ú é ü é ű ü é

íő ö Ú ö ö ő í ű í ű í í ű ö í ö Ü ö

í ű í í í ű ö ü ü ö ú ű ú ö ö í í í ű ö ü ü ö ö ö ö í í í ű ö ü ü ö ü ö í í í ű í ö í ö ö ű í ü ü ö í ö ö ö ü í í ű í ú ö ö ö ü ö ö ú ö ö ö ü ö ö ö ö

É ö É ó Á É ó ü Á Ő Ö ü ö Ö ő ü ö ő Ü ű ő ó ő ó ő ő ő í ö ö ö í ő ü ü ő ü ü ő ö ó ő ő ú ő ő ö ö ő ő ő ú ő ő ü ú

ó Ó ó Ó Ő ó Ő Ó Í

7. KÜLÖNLEGES ÁRAMLÁSMÉRİK

ú ü ú ö ú í ü í ű ö ü ü ú ú ö ú ö íö í ú ü

ó ú ó ó ó ó ó ó ó ó ó ó ü ó ü ö ü ó Á Á Ő ű ü ó ó ó Í ó ü ú ü Á Á ű ö ó ó ó ó ö ü

Geometriai optika. Fénytani alapfogalmak, a fény egyenes vonalú terjedése

Optikai mérési módszerek

OPTIKA STATISZTIKUS OPTIKA IDŐBELI KOHERENCIA. Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Atomfizika Tanszék, dr. Erdei Gábor

ü ö ű ö ű ö Ö ö ú ü Á ü ü ö

ó Í Ó ó ö ö ó ö ó ó ó ö ó ü ö ó ó Í ó ó ó í Í ó ö í í ó Í ó ö ó í í í ó ö ó ó í ó Í Í ö ö Í ö ó ó ó ö ö ó í ü í ó Í ó ö ó ó í ó ö Í Í

ö ö í őí ö ö í ő ö ő ú ú ö ő ú ö ő ú ö ü ö ö ö ö ö ő ö í ő ü ü ő ö ü ű ő ö ú í ö ő ö í í ű ű í ő ö í ú ű ő

Í Í í ú Í ü í ő í ö ö ö ü í Í Í Í ü í í ü í ő ő

é é ó ó ó é ö é é é ó é é é é é é é é é é é é é ú ó é ó ö é é ó é ö é ó é éú é ú ó é é é é é é é é ö é é é ö é Ö é é ö ó é ö é é é é ű é ö ö ü é ö é Í

í ó ó ő ő ő Íő í ó í ó ó ő ő ó ő Íő í ó ú ő í í ó ö ő ő í ő ő í ó ü ö í ő ő ó ú ő ő ő ó ő í ő Í ő í ó í ü ő í í ü í í ó ö í ő í í ö í í őí ö í ü í ó ö

2. gyakorlat: Z épület ferdeségmérésének mérése

É í ű ö ő ü ú ö ü ö ó ö ü í ő ó ú ő ű ú í ő ö ú ő ű ü í ő ó ü ö í ő í ö í ó ó í ó í ó ű ö ö ú í ő ú í í ó í ő í ő ó í ó ó í ó ó í í í í ó ö ö ü ó í ó

ú í ü ü ö ű í í í í ü ö ö ö ö í í í ű í ö Á ö ö í í ü ö ü ü ű

ú ü ü ú

í ű ű ö í ö í ű í ú ű ű ű í Í í ö í Í ÍÍ ö ü ö í ű í ö ö ö ű í í ö í ö í ü ö í í í ű í ű ö ö ö í ű ö ö ű ü ö ö ö í ú ü ű ö ú í ö ö í ü ö ö í í í í í í

É Í ó Í Í ó Íó ó ó Á ó ú ö ű ü ú Á Í ó ó

ő ő ü ö ö ü ő ő ö ő ö ő ö ö ó ö ő ő ö í Ö ö í őí ö ö ó ö ö ő ö í Ö ő ő ö ö í í ő í ö ó ő ö ó í ó í Ö Í ó ö í ó ó ö Í Ö ő Í ő ő ó ö ő í ó ö í í í ü ö í

4. HÁZI FELADAT 1 szabadsági fokú csillapított lengırendszer

Á í ó ó ö Á ö ü É Á É ü É ó ó É ü Á í Á Á ö É ó Á Á Á ó ú É ö ö É Á Á Á í ó Á É É Á ó Á Á É Á ó ü Ű Ö Á Á Á ó ö É Á Á ü É Á É ó É Á Á Á Á Á Á ö ö É Á

ő ő Á Á ó ü ő ó Í ő ö í ö ö óú óú ő ú í ő ú ó ó ó ü ö ö ü ö í ő ö ő ó ü ö ö ü ő í ő ő ó í ó ó ő ő ő ő ü Í ó É ü Ö í ö ő Í Í ő Í ő

ú í ü ö ú ö ö ő í ö ü ö ő ö ü ö í í ü ö í ü ő ö ú ú ő ő ő ő ő ő ö ö ő ő ü ö ü ő ő ö í ő ő ü ü ö í ü Á ő í í ő

í ő ő Ü Ü Ü Ó í őí Ü ő ű í í ú í ő Ú ő Ü í ő í Ó ő ü í í ú ü Ü ü

ö ő ó í ő ü ő ö ő ő ö í ő ó ő ü ú ő ö í ő ő ö ő ü ó ő ó ű ü ó ő ó ó ü ü ő ő ó ó Á í Ő ó ő ő ó í ő ó ó ő Ó ó ö ö Ö ó ő ó ő ö Ö ő ü ő ó ő ö ő ó í

Á É Ő Ö É Á Á É í í ő ő ő ó ú ő ü ű ő ü ő í ü ó ú ó ű ő ó ő ő ú ő ő ó ó ó ő í ú ó í ú ó í í É ü ő ó ó

ű ő ű ő ő í ü ő ü í ű ű ó ó ü í ü ó ű ő í ó ő ő ő ű ó ü ó ő ő í ó ó í ű ű ű í ó ü ő ű í ó ó ó ő Á Ö ő ó ő ő ó ü ő ó ő ő ő ő í ó í ü ő ő í ű ő ü ü ő ő

ő ö ö ő ó ö ü Ö ö ő í í ő ő ű ö ö ú ö ö ö ő ő ö ö ö ö ő ő ö ő ű í Á ó ó ö ő ö ü ö ö í ű ő ö ö í ö í ü ö ü ü ö ö ö ö ő ö ü í í ő ö ö ű ö ö ó ő ö ö ü ó

ü ű í ú ú ü ü ü ű ü ű ü ű ü ű ü í ü ű í í ü í í í í í ü í ű

í ö ü ö í ó ü ó ó ö í ó ó ó ó ó ó í ü ó ó ö ü ó ó ü ó ó É í ó ö í í ó ó í ö ó ö í ö ö ó í í ó ö í ó ú í ó í ó ü ö ó í ö í ű í ű ó ö í ú í ó ú ö ü í ó

14. Előadás Döntött impulzusfrontú THz gerjesztési elrendezés optimalizálása

SZUPERKRITIKUS FLUID KROMATOGRÁFIA KROMATOGRÁFIÁS ELVÁLASZTÁSI TECHNIKÁK

ú ö ó ű ö ö ö í ó ó ö ö ü í ü ü ö ö ü ó ü ü ü ü ö ü ö ö ü ó ó ű ö ó ü ü ü ó ó í í ü ó í í ú í ö ü ü ö ö ö í ó

É Á ű ő ó ű ő ő ű ő ó ő ü ő ő ó ó ő ő ő ő ó ó ő Ö ő ő í ó ó ó ó ű ő í ó ő ó ó ű ő ó ó ó í ű í ű ő ü ő ő ó ő ő ű ű ó í ó ű ő ő ó ó ó ó ő ő ó ő ó

12. KÜLÖNLEGES ÁRAMLÁSMÉRİK

í ű ő ü ó í ó í Ö ü í ő ó ő í ű ű ú ű ű ű ú úí ő í ü íő í ü ő í í ű ű ő í ü ű ó ő í ű ú ű ő ó ő í

ó ó ó ö ü ő ö ó ú ő ó ö ó ó ő ü ő ó ő ü ö ő ő ó ó ő ó ö ö ú ó ő ö ó ő ő ó É ó ő ü ö ú ű ü ő ő ú ó ö ú ó ó ó ó ő ó ö ú Á ő ő ő Á ó ó ü É ö ú

é ü ö ü é í ó

ő ü ö ő ü ö ö ő ő ó ó ö ő ö ő ő ő ö ö ö ö ó ö ő ö ő Ö ü ö ó ö ú ó ő Ö ö í ö ü ö ö ó ő ő ö ő ü ő ő í ó ü ö í ö ü ö ö ő ö ő ő ő ö ő ő í ő ü ó ó ő í í ü

Ü É É É É ő ő ő í ó ő í í ó ó ó í ó ó ő ó í í ó ó ó í ő ó í ó í í ó ó ő í íí ő ó ó ő ó í í ó ú ő ő í í ó í í ó ű Í í ó í í ó ó ó ű Í ó ó í í í ó ó ő í

ő í ü ű ó ó ö ö ű ó ő ő ő ö ö ő ó ő í ő ó ö ö ő ó ő ó ö ő ő ő ö ö ü ó ö ő ő ő ú Í ö ö í ő ú ö ő ő ő ő ő ö ö ö ő Á ó ő ő í í ő ő í ö ő ő ő ö ő í ö ü ő

ő ü ó í ó í Ö í Ö ű ű ű ű ú ű ú ú ó í ü ő í í ű ű ő í Ö ó Ö ü í ű ó ó ő ű ú ű ú í ú í

LINEÁRIS TRANSZFORMÁCIÓ

ő ő ö ó ö ú ő ő ó ó ö ö ó ö ó ó ó ó ö ö í í ö í ő ő ó ó ó ö Á É ó Á ű ú ó ö ő ú ó ó ó ó ű ö ó ó ó ó í ő ú ö ő ő ö í ó ö ő ú ó ó ó ó ű ö í ó ö ú ú ó ó

ó í ó ú ó ú ú ó ő Ó ő í ú ő ó ó ú ó ő ő í ő ő ő ő í ő ó ó ö ő ő ő ő ő ő ó ó ő ú ő ő ó ő ó ú ó ő ő ó ó ő ő ó ó ú ü ö ö ó ú ő ü ö ő í ó ő ü ö ő ő ő ő ö

é ö é ő á á ő é ö é ö é é í ü ő á é á ó ó á é á ő á á é ő í é í ő ő é é á á ő á á ő á á á ó ö ö ö ő é ó é á á ő é á á ö ő é ö á á ö é á á ő ő é á í ü

ó ó ó Ú í ó ó ó ü Í ü Í Í ű Ö Ö ü í ű Í íí ú ü Í Í í ü ü Í Í Ö Ö Í Ö Í ű Í ó ó ó Ö Í ü ó í ü ü í ó Í ü í ú ó ü

Í Á ü ú Ú ő ú ú ú ö Í ő ú ú őú ő Í Á Á ü Í ü Í Ú Á Á Ö ö É ü ű ö Ú ő ő Í ő ü ő ö ú ö Í Í Í ő ö ö ö ö ő ü ü ő

ő ő ö ő ó ö í ő ő ó Ó Ó ö ó ó ű ö ö ó ő ő ö ö Ó ó Ó Ó ó Ó ö Ó ü Ó ó Á ő

í Á Í Á Ü Á É É é ö é ő é é é á ó é á á é é é á ő é ő ő á ő á é ő é é á ő é ő Í é ó ő ú é í é é á ő á á é é ó á ó ü í é é ö á ó é ö ö í é ó á é ő é í

ö É í ü í Ú ö ó ó ó ü ó í Ö í Ú í ö í í ó ű ö ű ö ű í ö Ö ű ü ö ü ö ű ü ó ü ó í ö ű ó í ó í ó ű í í ó í ü ű ü í ó í ü ú ó í í ó ü ü í í ó í ó í í ö í

É ő ő ő ú ö ü ő ű ö ö ö ó í ü ó ü í ü ó ö ö ü ö ö ó ó ő ü ü ö ö ő ö ö ö í í ő í ő ó ú ó í ő ü ö ö ő í ö ő ü ö ő ó ő ő ö ő í ö ű ó ü ü ö ö ü í ö ó ó ö

Í Ó ü ü í ü ü ü í Í í É í í Í Í ü ü ü í Í ü

ü ö ő íő ő ó í ó ö ú ö ü ö ú ó ó ő ü ö ű ő ü í ö ó ü ü ő í ő ő ú ö ö ü í ó ő ő ó ó ö í í ó í ö ü ö ö ő í ő ó ö ó í ő í ö í ö ő ü ö í í ö í ö ó ó ü ö ö

FAIPARI ALAPISMERETEK

ü É ö É É ö ö ö ü ö ö Á ű ö ű ű ű Á Í ö ö Ó ö

Á í ő í ő ő ú í ú í í í ö ő í ű ö ő ö ő ő ő ö Ú ö í ü ö ű ö ő í ü í ő ő ő ő ő í ü í ö ő í í ü ö ü ö Á ü íö ű ő ü í ő ö ő ő ú ő ö ű ö ő ö ü ő ő ö ú í ö

É Í Á Á É Ü Ó É É É É Í Ó Ó Ő Á Á É Á É É É É Á É É Á Á É É Á É Í

ö ő ő ü ü Ó ü ö ű Á ő ő ö ő Á Ó ű ö ü ő ő ű

Ü

Ö Ö ú

Í Ú É ő ő ú ö Ö ú ú ú ö ö ú ö ö ű ö ő ö ö ú ö ő ő ö ö ö ő ő ú ő ú ö ö ö ú ö ö ú ő ö ú ö ű ö ő Ó ő Á ö ő ö ö

A sebességállapot ismert, ha meg tudjuk határozni bármely pont sebességét és bármely pont szögsebességét. Analógia: Erőrendszer

ú Ü Í ú ú ú ú ú ú

ő ü ü í Á í ü ő í í í ű í í ű í í ű í ú í í ű í ű ű í í

ú ű ű É ü ű ü ű ű í ü í ő í Ü ő ő ü ú Í ő ő í ú ü ü ő ü

Ü ű ö Á Ü ü ö ö

ó É ó í ó ó í í ö í ó í ö ö ö ü ö ó ó ó ü ú ö ü ó ó ö ö ü ü ü ö ö ó ö í ó ű Ü ó í ú í ö í ö í Í ó ó í í ö ü ö ö í ö í ö ö ö ü ó í ö ö ó í ú ü ó ö

ú ű ú ú ű ú ű ű ú ű ú ű Á ű ű Á ű ű ú ú ú ú ú ú ű ú ú ú ú ú ú ú ú

ű Á ü ő ö í ö ö ő ő ő ő ö

í Ó ó ó í ó ó ó ő í ó ó ó ó

Í Í Í Ü Ó Ó Ö Á Ü Ü Ó Ü Ü Ó Ö Í É Ö


ü ő ő ü ü ő ő ű í í ű ő ő ő ü ő ő í í ő ő ő ő ő ő ü ü í ő Ö ő ü í ő ü í í ő ü ő í ő ő í í ő ü ü í ő ü í ő í ő í ő ü í ő í ü í í ő

Í ö ö ű ú ö ö Í ö ü ö ü

É Ú Á Ó ő í ö ó ó ú ó ó ó ő ő ó ó ó ó ó ó í ö ő íí

ő ő Ű ü ú ú Ú ü ű ő ő ő ő Á Á Í ü É ő ő ő ő ő É ő ú ú ú ő Á Ö ő

Milyen simaságú legyen a minta felülete jó minőségű EBSD mérésekhez

É Á Ó Á Á Ő É á ú ó í á é ö é ő ö é á é ő ú ö á ő á á é ó á á Ö ó á á Ö ó á é ő é á á ö á ó á ő é ű á á ö í é é é á á é é é é á ó á á á Ü í ó í ó í ó

ő ö Ü Á Á ó É í ő ö ö ó ö ó ő ó ó ö ö ó ó ó ó ö ö ó ö ó ó ó ü ó ő ő ő ö ű ö ó ő ó ö ő É ó É ó ő ó ő ő ü ü ö í í ó ó ü ü ó ü ü ö í í ó ü ő ő ü ö ó ő ü

ú Ó É Ö ü ü Ö ü ű ü ü ó í ó ü ó ü ó ó ó ó ú ü ó ü ó ü ó ü í ü ó ü ü ű ó ó ó ü ó ó ü ű ü ó í ü ü ű ü ü ü í ú ü ú ó ó ó ó ó ó í ó ó ó ó ó ó ü ó ü ü ó ó

ű ú Í Ó Á ú Ű ű Ő Ö Á ú Ű Ü ú ú Á ú ű

í í É í ó ó É ö í ó í ó í ó ó í ó í í ó ó ó í ö ö ö ö í í í ó ó ö ó

í í ü í í í í í Ó ő ő í í í Ú ü Ú í í Ú ő ü Ú ü ő

É ő ő ű ú Á ő Á ő ű ő ő ő ő ő ő ő ő ű ú ű ű ő ő ő ű

ő ő ő ő ő ő ú ő ü Á ü ü ő ő ő ő ő ő ő ő ő ő Ö Ó ő ő ő Ö ő ő ő

ö á á ö á ü á í á ö ü í ö ö ő ö á á ó ö á á á í ó á á á ő ő ú ú á á ó ó ó ő ö ü ö ö ü ö Ö á ő á á Ö á Í á ó á ő ü á ö á á ü ö ö á ö á á ö ó ü ú ő á í

í ó ő í é ö ő é í ó é é ó é í é é í é í íí é é é í é ö é ő é ó ő ő é ö é Ö ü é ó ö ü ö ö é é é ő í ő í ő ö é ő ú é ö é é é í é é í é é ü é é ö é ó í é

é ö é Ö é é ő í ó í é ő ö ú é ó é ő ü ü é ó ö é é ó é é ö é ő í é é ő é é ö é ű ö é í ó é é í ö í ó í ó é é ö ó í ó ó í ó é é ö ő í ó ó í ó ü é í ü

É Í ü ú É ü ő ő ő ő ú ő ú ü ü ő ü ú ü ű ú ú ü ü Í ü ű ő ő É ő

ú ú ü ü Á ú ú ü ű ű ú ü ü ü ü

Átírás:

Ágaza Á felkészíés a haza ELI rojekel összefüggő ő kézés é és K+F feladaokra" " Oka mérés módszerek Máro Zsuzsaa (1,2,3,4,5,7 23457 Tóh György (8,9,1,11,12 Pálfalv l László (6 TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 1

3. előadás Néháy féye alauló mérés eljárás A eljesség géye élkül bemuauk éháy olya mérés módszer, amelyek a féy m mérőeszköz haszálják fel. Lézeres ávolságmérés Lézer Doler sebességmérés, Féyszóráso alauló aeroszol- és hdroszol- kocerácómérések, Ellszomera TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 2

Lézeres ávolságmérés Lézeres ávolságmérés echkák: Tragulácó Reülés dő mérése (me of flgh Fázsolás mérése Frekveca modulácó alauló mérés Ierferomerkus módszerek Előyök: agy oosság és érzékeység, agyo gyors mérés (MHz-es sávszélesség, széles mérés aromáy. Vszo em md egyele eszközbe! Alkalmazás: éíésze, érformaka, közlekedés, hadechka, gé láás sb. Paco kahaó eszközök. TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 3

Lézeres ávolságmérés Tükröződés és dffúz vsszaverődés Álalába láb 67 m-es dóda lézer A folmére meghaározza a mérés oosságo Deekor: ozícó érzékelő aalóg deekor (PSD vagy dódasor, CCD Távolságmérés ükröződő felülee TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 4

Lézeres ávolságmérés - alkalmazások A Moa Lsa részlees felmérése háromszögeléses módszerrel Szvoalak Eyhé deformálódo hordozó 3D LIDAR felmérés LIgh Deeco Ad Ragg a reülés dő mérése agy haóávolságú vszoylag oala fluoreszces LIDAR: ayag mőségre s érzékey h://meda3.sbcews.com/j/msbc/comoes/phoos/ 6927/6927_moalsa_bcol_83a.grd- 4x2.jg h://cas.uark.edu/samaaa/mage/rojec_sca.jg TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 5

Lézer Doler sebességmérés Részecske, v erősíő Doler effekus : f r f ahol f f v e e r b b b 1 1 e v bv c v v er c lézeryaláb aerúra deekor f b v v + ( e λ a kbocsáo frekveca, b r a részecske sebessége v e a deekor helyé mér frekveca,a yaláb ráyába muaó egységvekor r, b, a részecskéől a deekor felé muaó egységvekor λ b, a yaláb hullámhossza TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 6

Lézer Doler sebességmérés v x v e 1 e 2 θ /2 e 1 A ké yaláb elleées előjelű Doler elolódás okoz Nem a agyo ks Doler elolódás mérjük közveleül, haem a ké frekvecába elolódo jelből származó lebegés frekvecájá. A lebegés frekveca elég kcs ahhoz, hogy a foodódával mér lehesse. Lebegés frekveca sebesség A lebegés frekvecája : v v v v v e 1 r fd fr1 fr2 fb( eb 1 eb2 ( 1 c c TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 7 2 f b vx sθ c

Lézer Doler sebességmérés mér Jel Idő Reülés dő sebesség A ké beeső lézeryaláb áfedéséél erfereca csíkok Ha a csíkok ávolságáak agyságredjébe eső ks részecske mozog a csíkokra merőlegese > erodkusa válozk a szór féy ezása TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 8

Lézer Doler sebességmérés - a mérőeszköz feléíése Lézer Lekéező oka Deekor HeNe Ar-Io Nd:Yag Dóda Nyaláboszó Akromá lecse Gáz Folyadék Részecske Akromá lecse Térszűrés PMT Foodóda PC Jelfeldolgozás ld l Jelkodícoálás Sekrum aalzáor Korreláor Számláló Erősíő Szűrő TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 9

Lézer Doler sebességmérés - alkalmazások Szélcsaora kísérleek (auók, reülők éüleek körül áramlások Áramló folyadékok vzsgálaa (csővezeékek, hajóesek ervezése, véráramlás Köryeze kuaások (robbaások vzsgálaa, hullám damka, áraály modellezés sb. Turbulecák vzsgálaa Sb. 2 komoesű sebességmérés egy helkoer modell körül szélcsaorába h://www.daecdyamcs.com/laser-doler-aemomery hs://www.adsrumes.com/roducs/laser-doler-robes TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 1

Részecskék méreeloszlásáak mérése féyszórásuk alajá Féyszórás külöböző mérearomáyokba α mérearaméer szer, (D a részecske méree πd α 1. α << 1, Raylegh- szórás λ I I 1+ cos 2 2R 2 θ 2π λ I bemeő ezás I szór ezás λ lézer hullámhossz θ szórás szög R a részecske ávolsága örésmuaó 4 2 2 2 1 + 2 D 2 6 λ633 m θ 4-12 1.33 A Me-szórás ezásáak mérefüggése vízcseeke 2. α 1, Me - szórás Boyolul összefüggés h://www.cas.macheser.ac.uk/resools/srumes/aerosol/oc/ me/dex.hml 2 3. α >> 1, Geomera szórás I I K, θ D TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 11 ( K(,θ szögől és örésmuaóól függő éyező

A Me-szórás ráy szer eloszlása O-le számoló rogram: h://omlc.og.edu/cgb/me_agles.cg?dameer1.&lambda_vac.6328&_medum1.&r_shere1.5&_shere&_agles 1&desy.3 Szór ezás logarmusa Polarzácó A beeső féy ráya TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 12

Részecske számláló eszközök Ncs egyszerű kacsola a részecskemére és a szór ezás köz smer méreű részecskékkel kalbrál kell Ahhoz, hogy egy részecskéről szór féy deekál udjuk ezív féyforrás kell lézer. Csökkeő részecskemére Raylegh-szórás 1 m ala részecskeméreél a agy ezás rezoáoro belül elredezéssel valósíhaó meg Rezoáoro belül részecskemére meghaározás TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 13 Measurg rcle: Me Scaerg Theory accordg ISO 1332 Measurg rage:.1 µm - 3 µm Tye of aalyss: dry ad we aalyss h://www.resch-echology.com/r/roducs/laser-lghscaerg/?gcldcnsd-4k8v7cfexlaodcbua8q

Fázs-Doler aemomera 1. deekor 2. deekor Nagy részecskék eseé a belső vsszaverődések ma a külöböző ráyokba vsszaver jel külöböző fázsba érkezk. A deekorok álal mér jelek fázskülöbségéből a mére (em úl ks részecskékre meghaározhaó Ha a fázskülöbség agyobb m 2π, akkor a mérebe bzoyalaság lé föl. Ez 3 deekoros redszerrel elkerülheő TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 14

Ellszomera A mérés elve: A olarzácó megválozásá mérjük mközbe a féy áhalad egy ayago vagy vsszaverődk arról A mér meységek: amlúdók aráya (Ψ, fázskülöbség (Δ Elsősorba réegvasagság és a réeg oka ulajdoságaak meghaározására haszálják A réegvasagság 1-1 m-g, azaz 1 Agsrömg mérheő! Tovább kyerheő formácók: l. összeéel, krsályszerkeze, érdesség, szeyezők kocerácója TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 15

A féy olarzácója v v v E( e E ω kz + e E ω kz + Δϕ x x y y Δϕ : leársa olarzál Δϕradom: olarzálala Δϕkosas: álaláos ese, ellkusa olarzál Δϕ9 : crkulársa olarzál TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 16

Féyerjedés az ayagba Meghaározó ayag araméerek: ~ k A komlex örésmuaó: + k,, ahol a szokásos örésmuaó, k az exkcós koeffces ~ ~ ~ 2 ε ε 1 + ε 2, ε. A féysebesség az ayagba v, vákuumba c: c v k az exkcós koeffces, am az ayag féyelyelő kéességével va kacsolaba. α 4πk λ Beer-Lamber örvéy (a z mélységbe é mér ezás, á ha I( a beeső ő ezás: I( z I( e αz TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 17

A Fresel-formulák r s E E r + r s E E r + 2 ( ( s s E E + 2 ( ( s E E + Leírják a reflekál és a raszmál érerősség s és komoese a b ő é ő é h í beeső érerősséghez vszoyíva Vékoyréegeke és öbbréegű srukúráko való áhaladáskor köve kell mde komoes relaív fázsá, mer ezek erferecája adja a eljes TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 18 reflekál vagy raszmál féy.

Féyvsszaverődés vékoyréege Vezessük be a vékoyréeg β fázsvasagságá! Ezzel és a Fresel-formulák segíségével számolhajuk a öbbszörös reflexó haásá a reflekál yaláb ezására és fázsára. 1 β 2π 1 Φ1 λ ~ r 1 r e 1 12 1 1 r 12 r 1 r 2β 12 1 e 4β ~ 1 1 1 ~ 2 TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 19

Az ellszomera mérés elve olarzáor TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek forgó aalzáor Az s és komoesek reflexó vagy raszmsszó sorá megválozak Az ema bekövekező eredő olarzácó megválozás Δ ρ a( Ψe alakba szokás felír, ahol a( Ψ R / a relaív amlúdó gyegíés Δ arg( R 2 R s arg( R s a relaív fázsolás az s és olarzácó köz a reflexó sorá A forgó aalzáor erodkusa válozó jeléből vsszaszámolhaók az effekív ayag araméerek. (ha cs felüle réeg, l. oxdmees a felüle

Az ellszomera mérés kérékelése Mérés Modell réegre az ayag ulajdoságok előzees becslésével A modell lleszése a mérés adaokhoz Az lleszedő araméerek számá a ma formácó aralma haározza meg Az lleszés araméerek válozaásával omalzáljuk az lleszkedés jóságá leíró meysége (l. MSE Eredméy: örésmuaó (, exkcós koeffces (k, réegvasagság, sá érdesség (roughess, sb. TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-212-5 rojek 21