1 Nyertes ENIAC projektek az MTA orjából ENIAC SE2A ENIAC CAJAL Contact email: dragon@ttk.mta.hu Phone: +36-1-392-2614 Fax: +36-1-392-2226 Mailing Address: P.O.B. 49, H-1525 Budapest, HUNGARY Visiting Address: Konkoly Thege M. út 29-33, H-1121 Budapest, HUNGARY
2 FP7 ENIAC JU Nanoelektronikai kutatási program, melynek célja az eszközök további integrációja, miniatürizációja, funkcionalitásuk növelése SE2A Nanoelectronics for Safe, Fuel Efficient and Environment Friendly Automotive Solutions 2009-2010-2011 CAJAL4EU Chip Architectures by Joint Associated Labs for European diagnostics 2010-2011-2012
3 MFA MEMS Labor Küldetés: fizikai-, kémiai- és biokémiai érzékelő rendszerek kutatása, fejlesztése és rendszerintegrációja Mikrotechnológiai alapok 300 m 2 -es tisztalabor komplett Si CMOS technológiai sorral és maszklaborral - egyedülálló Magyarországon Interdiszciplináris - fizikusok, villamosmérnökök, vegyészek, gépészmérnökök együttműködő csapata Alapja: IC gyártásban használt anyagok, technológiák...melyek később kibővültek...
4 Részvétel az SE2A projektben Si alapú mikroérzékelők fejlesztése Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor fejlesztése és rendszerintegrációja Gázérzékelő szenzor Kapacitív nyomásmérő szenzor Kalorimetrikus áramlásmérő szenzor
5 SE2A- Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor A mikroérzékelő: - Si tömbi megmunkálása (membrán+kiálló kar) - Piezorezisztív elv (deformáció ellenállásváltozás) Végeselem szimulációs modellek (fent) SEM képek a Si chip tetejéről és aljáról (lent) Üveggel merevített struktúra sematikus képe (bal) A felfűrészelt Si chipek (jobb)
6 SE2A- Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor A tokozás és rendszerintegráció (WESZTA-T Kft-vel együttműködésben): - Klímakamrás tesztek - Gumijavító foltba építve (szabadalom) - Tesztelés statikus deformáció esetén www.weszta-t.hu Autógumi végeselem szimulációs modellje (bal), Szenzor teszt statikus kerékdeformáció közben (jobb) Tokozás gumijavító foltba (bal) Statikus deformáció esetén mért jelek (jobb)
7 SE2A- Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor Éles tesztek (WESZTA-T Kft-vel együttműködésben): - Gumijavító foltba építve, autóra szerelve - Vezetéknélküli táplálás - Vezetéknélküli kommunikáció www.weszta-t.hu Normál útviszonyok A szenzorrendszer bemutatása (bal), A vezetéknélküli kommunikációval és táplálással ellátott szenzor autóra szerelve és különböző útviszonyok mellett mért jelek (jobb) Csúszós útviszonyok
whole blood channel Anita PONGRACZ, pongracz.anita@ttk.mta.hu 8 Részvétel a CAJAL4EU projektben Nanoelektronikán alapuló bioszenzor technológiai platform fejlesztése orvosbiológiai célokra. Nanopórus bioszenzor kialakítása és integrálása mikrofluidikai rendszerekbe Si, üveg és polimer alapú mikrofluidika Transzport fluidika Keverők Szeparáció (pl. Vérplazma és alakos elemek) micro-particles plasma channel 30mm
9 Nanopórus bioszenzor kialakítása és integrálása mikrofluidikai rendszerekbe A membránszerkezet kialakítása MEMS technológiával (pl. fluidikai átmenő csatornák - DRIE) A szilícium rendszer anódikus kötése üveghez Nanopórus kialakítása fókuszált ionnyalábbal (FIB) Integrált Pt mérőelektródák és fluidikai csatlakozók egyedi platformokhoz
10 MEGHÍVÓ Tisztelt Kollégák! A Gumiipari Szakosztály és a MAGUSZ közös rendezvényeként Gumiabroncsba épített szenzor elektronikus csúszásgátláshoz címmel szakmai programot szervez, amelyre meghívunk minden érdeklődőt. Időpont: 2012. Június 8. 10 óra Helyszín: Magyar Kémikusok Egyesülete, tárgyaló Cím: 1015 Budapest Hattyú u. 16. II. em 8. A rendezvény témája: Gumiabroncsba integrált deformáció szenzor és feldolgozó elektronika Nanoelektronikai megoldások a biztonságos, üzemanyag-hatékony és környezetbarát autóipari alkalmazáshoz című ENIAC program keretében