MTA TTK MFA. ttk.mta.hu. mts.

Méret: px
Mutatás kezdődik a ... oldaltól:

Download "MTA TTK MFA. toth.attila.lajos @ ttk.mta.hu. mts."

Átírás

1 Tóth A. L. tud.főmts mts. MTA TTK MFA Research Centre for Natural Sciences, Hungarian Academy of Sciences Institute of Technical Physics and Materials Science ttk.mta.hu

2 Kérdések: 1./ OM-SEM-TEM összevetés, működési elvek min: rajz + elvek A hagyományos SEM (ágyú, oszlop, sugármenet, vákuum, mintakamra, stage, detektor) min: rajz 2 / A SEM-EMA mint analitikai mérőrendszer min: fő részei Jelképző folyamatok, gerjesztett & információs térfogatok min: szórási folyamatok, térfogatokról rajz 3./ BEI, detektálása, kontrasztmechanizmusok min: 2 det. -2 kontr. 4./ SEI, detektálása, kontrasztmechanizmusok min: 1 det. -2 kontr. 5./ XR, detektálása, (ED, WD, drift, ThXRS, PBS) min: 2 det 6./ XR kvantitativ analízis, korrekciós eljárások Csúcsazonosítás, min 2: korrekciós eljárás 7./ LV (FEG) SEM : LEO GEMINI (ágyú, oszlop, sugár-menet, vákuum, mintakamra, stage, detektor) min: a fejlesztés célja + rajz 8./ Pásztázó ion mikroszkópok : ECRIS (Orsay Ph.), ICIS (Vion), LMIS, ALIS (Orion) min: 2 forrás Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

3 A prezentáció a Nanoobjektumok megfigyelése, jellemzése és kialakítása pásztázó sugaras eszközök segítségével című előadássorozat 4 előadásának vázlata Olvasnivaló:. SEM: GoldsteiN-NEWBURY Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis THIRD EDITION 2003 Springer. FIB: Giannuzzi-STEVIE Introduction to focused ion beams: instrumentation, theory, techniques, and practice, 2005 Springer. FESEM: google -> fe-sem, feg-sem & hitachi, fei, zeiss, jeol, tescan, etc.. Xe FIB: Ga FIB: etc,. Alloy FIB: etc. He ion micr.: Software: Magyarul: DC JOY: lehigh.exe (http://www.amc.anl.gov/anlsoftwarelibrary/02-mmslib/monte/montecarlo/) Pouchou:STRATAGem (http://www.samx.com) Drouin & Hovington CASINO (http://www.gel.usherbrooke.ca/casino/index.html), James Ziegler: SRIM (http://www.srim.org) Pozsgai Imre A pásztázó elektronmikroszkópia és az elektronsugaras mikroanalízis alapjai 1995 ELTE Eötvös Kiadó Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2012

4 A hagyományos SEM (pásztázó elektronmikroszkóp)

5 A SEM mint mikroszkóp 1x1 um 10x10 cm x

6 Cameca MBX (conventional) electron probe microanalyser Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

7 The conventional sample environment (vacuum system, stage) Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

8 Cameca MBX vacuum system Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

9 Electron optics : crossover demagnification Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

10 Electron optics : lens aberrations Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

11 Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

12 A SEM-EMA mint AMR (analitikai mérőrendszer)

13 Az AMR Application Tóth Attila Lajos, SEM és ami utána következik, OE, KKVK, 2013 sept.

14 A mérő egységben a vizsgálandó mintát egy δ reagenssel hozzuk köcsönhatásba, mely a minta χ anyagtulajdonságainak függvényében kelti a η analitikai jelet Electrons MR ME Reagens Minta és mennyisége Analitikai jel Detektor ÉE Analitikai információ Elektronsugaras mikroanalízis (EMA) Elektronsugár Elektronoptika + kamra Röntgen spektrométer Gerjesztett térfogat um 3 a szilárd mintafelületen Rtg.sugárzás karakt.csúcsok a gerjesztett térfogatból Számítógép + korrekciós software ZAF, P/B ZAF stb., A gerjeszett um 3 térfogat átlagösszetétele Igy működött Castaing ős-mikroanalizátora (más néven mikroszonda) 1948-ban, ahol optikai mikroszkóp segítségével lehetett a minta különböző részeit elektronokkal besugározni.

15 The SEM as Analytical Measuring System

16 Jelképző folyamatok, gerjesztett & információs térfogatok

17 Signal Technique Properties Studied e γ i backscattered secondary X-ray Optical junction ohmic bulk Sample current BEI SACP SEI EDS WDS XRI CLI EBIC EBIV AEI Qualitative composition Crystal structure Topography Local fields & potentials Qualitative composition Quantitative composition (electr.active) Xtal defects Carrier lifetime - Diffusion length - surface recombination Topography Qualitative composition

18 Analitikai jel (ÜZEMMÓD) Felbontás laterális mélységi ==================================================================== Szekunder elektron (SE) 1-10 nm 1-10 nm E: jó felbontás (=sugárátmérõ), topográfiai kontraszt H: komplex jelképzés (pl.be hozzájárulás) Visszaszórt elektron (BE) um um E: rendszámkontraszt H: gyengébb felbontás (< sugárátmérõ) Áram (EBIC) nm um E: Rácshibák és p-n átmenetek megfigyelhetõk H: Felületi rekombináció hatása Fény (CL) 10nm-1 um um E: fluoreszcens fázisok szelektiv leképzése H: kis intenzitás, sugárzási károsoodás halványit Röntgen sugár (EDS) um um E: szimultán detektálás,nagy tömegérzékenység H: rossz felbontás, nagy holtidõ (WDS) um um E:jó felbontás, nagy intenzitás H: elemenkénti detektálás, rigorozus fókuszálásaes Auger el. (AES, Eo=2-5 kev) nm nm E: Felületi monorétegek elemösszetétele H: Ultratiszta felület és ultrannagy vákuum ====================================================================

19 RUGALMAS SZÓRÁS AZ ATOMMAGON

20 Signal forming mechanisms : Rutherford scattering.

21 History: (micro- range) Conventional SEM Versatile 2-10 nm beam diameter BUT: Eo > 5 kev electron energy CONSEQUENCE: Deep penetration ( nm) Large excited volume SEM basics (courtesy DC Joy)

22 Mit láttunk? Excited volume

23 Penetration depth

24 Excited volume

25 & information volumes

26 charge-up depth of focus

27 BEI detektálása, kontrasztmechanizmusok

28 Signals from elastic scattering: BE Def: E<50eV: secondary- (SE) / E>50eV backscattered (BE) LLE: low loss,- / ERE: single scattered electrons

29 BEI detectors : EHT without collecting field Large area scintillator SC diode array (2-4)

30 BEI contrast mechanisms angular distribution -> topography (BEI-TOPO)

31 BEI contrast mechanisms intensity -> mean Z (BEI-COMPO)

32 Backscattered electron signal (BE) High energy (E~Eo) Elastically scattered electrons Detection: EHT, diode arrays, scintillator (Robinson det.) Contrast: topography (TOPO) mean atomic No (COMPO) orientation local magnetic field

33 RUGALMATLAN SZÓRÁS AZ ATOMHÉJON

34 SEI detektálása, kontrasztmechanizmusok

35 Signals from inelastic scattering: SE Def: E<50eV: secondary- (SE) / E>50eV backscattered (BE) LLE: low loss,- / ERE: single scattered electrons

36 Glory, glory to Everhart & Thornley The Everhart-Thornley detector

37 SEI signal components & resolution

38 SEI contrast mechanisms: SEI: topography

39 Different images from the same surface SEI BEI compo BEI topo XRI Sn

40 Secondary electrons Low energy (E<50eV), Outer shell ionization Detection: EHT, channeltron Contrast: morphology coomposition (work f.) atomic number local electric field local magnetic field

41 RUGALMATLAN SZÓRÁS AZ ATOMHÉJON

42 kvalitativ XR analízis, detektálás

43 Analytical signal : characteristic X-rays Source: inner shell ionization Detection: Spectral (EDS, WDS) Information: point measurement ( 0 dim) energy: qualitative analysis intensity: quantitative analysis line profile (1 dim) and imaging (2 dim) distribution of elements

44 Signals from inner shell ionization: Auger-electron or X-Ray emission

45 X-ray transitions

46 H.G.J. Moseley ( ) Kvalitativ és kvantitativ analizis foto-lemezen Phil.Mag (1912) A röntgenspektroszkópia és analízis atyja

47 Röntgen detektorok

48 WDS n * λ = 2 * d * sin (θ )

49 EDS: Si(Li Li) Imax < cps The solid state EDS utilizes the fact, that X-rays create electron hole pairs in the intrinsic region of the Si(Li) or drift detector (3.6 ev/pair).

50 Comparing spectra : WDS v/s Si(Li) EDS WDS EDS

51 EDS: DRIFT Imax ~ cps

52 Comparing spectra : WDS v/s DRIFT EDS WDS EDS up to 1000 up to 1000

53 Thermal XRS The Thermal X-Ray Spectrometer measures the heat, generated by the absorption of the X-ray in a superconducting microcalori-meter, kept at liquid He temperature. When directly mounted to the SEM column, using a mechanical cooling system, vibration can become a serious problem- and the performance of the whole system has to be evaluated. The picture shows a trench line with a resolution of 5.3 nm. Note that the intrinsic resolution of the microscope in this case is 3 nm. Otherwise X-ray waveguides are used to direct the radiation to the remote detector, further increasing the price of the spectrometer.

54 Comparing spectra : ThXRS v/s EDS The basic energy resolution of the system, compared to that of a standard EDS detector can be seen in the X-ray spectrum of TiN, which is used as barrier layer or antireflective coating (see figure). Since the N-Ka-line (392 ev) and the Ti-La line (452 ev) are separated by 60 ev analysis with a standard tool is not successful, whereas the microcalorimeter detection shows a clear separation of the two peaks. The typical energy resolution is determined to be 10

55 Comparing: Spectral resolution: Detect.limit,, P/B ratio: Spectrum acq. time: Beam current : WDS / EDS 1/ / * * EDS SI(LI) (LI): general EDS DRIFT*: general WDS: peak, LO speed, LO res. general use, LO general use,, HI speed,, LO res. peak-overlaps, trace elements, layers THERMAL XRS: best of both worlds,, EDS speed with WDS resolution. COST PB-WDS: integrated with EDS simply the BEST (but not cheap)

56 Paralell beam WDS Simply the BEST, EDS solid angle with WDS resolution

57 Comparing spectra : PB-WDS v/s EDS

58 kvantitativ XR analízis, korrekciós eljárások

59 Kvantitativ analizis: korrekció (ZAF) Alaphipotézis: a gerjesztés helyén k X = C X Probléma: a detektor helyén mérünk Fizikai folyamatok: melyek miatt k X C X - rugalmas elektronszórás -> változó gerjesztett térfogat (Z) - rugalmatlan elektronszórás -> változó ionizáció (Z) - anyagfüggő röntgenabszorpció a sugárzás kilépéséig (A) -belső röntgenfluoreszcencia a mintában (F) MR ME Reagens Minta és mennyisége Analitikai jel Detektor ÉE Analitikai információ Elektronsugaras mikroanalízis (EMA) Elektronsugár Elektronoptika + kamra Röntgen spektrométer Gerjesztett térfogat um 3 a szilárd mintafelületen Rtg.sugárzás karakt.csúcsok a gerjesztett térfogatból Számítógép + korrekciós software ZAF, P/B ZAF stb., A gerjeszett um 3 térfogat átlagösszetétele

60 Kvantitativ analizis: korrekció (etalonsor) A korrekció történhet etalonsor mérésével, vagy számításokkal. A minta összetételéhez közeli, ismert koncentrációjú etalonsor a legmegbízhatóbb segítség.

61 Quantitative analysis (iv): interpretation ( B&A ) The utilization of standards of known composition is still the most accurate method, but is limited both in qualitative and quantitative sense. A possible (limited) generalization was the use of empirical factors (BENCE-ALBEE)

62 Kvantitativ analizis: korrekció (ZAF) A ZAF típusú korrekció tapasztalati képletek alapján korrigálja a fenti folyamatokat (FRAME, MAGIC). Kiforrott, sokszorosan tesztelt módszer. Példa: az abszorbciós tényező (A) különböző közelítései:

63 ELTE Kvantitativ analizis: korrekció (nostd.zaf)

64 Kvantitativ analizis: korrekció (PUZAF) The RÖNTEC developed the (PUZAF) where instead of standards the measured background intensity is used as normalization factor

65 Kvantitativ analizis: korrekció (PUZAF) The RÖNTEC developed the (PUZAF) where instead of standards the measured background intensity is used as normalization factor

66 A Bruker Quantax EDS software (PUZAF) D1 SEM Visszaszórt elektronkép (BEI) D2 Cu,Sn és Pb vonalmenti elosztása D3 Cu,Sn és Pb röntgentérképe 5

67 Kvantitativ analizis: korrekció (φρz) A φρz típusú korrekció a Z és A komponenst együtt kezeli a behatolási függvény alapján. Továbbfejlesztett változat: réteg-szerkezetekre (STRATA) A Monte Carlo (MC) számítások elemi lépésekre bontva a folyamatot képesek bonyolult minta-geometriákon is korrekciót végezni.

68 Kvantitativ analizis: korrekció (STRATA) A MINTAKÖRNYEZET egyik leglátványosabb modulálása a gerjesztett térfogat környezetében gázatmoszféra ( GIS ) létrehozása. Ennek célja lehet marás, antikontamináció,esetünkben a prekurzor gáz bomlása után a besugárzott területen Pt leválasztás. A prekurzor organometallikus vegyület, a gáztérből is leválhat karbon, célszerű tehát alaposan megvizsgálni a deponátumot. A LEO GIS prekurzor-bevezető csövei a target felett Egy virtuális összetétel méréssorozat : 5 kev, 1-5 Pt pogácsa + Si, SiO2, Pt és C etalonok EDS spektrumai tothal Elektronsugár által leválasztott Pt jellemzése Az 1-5 perces elektron-besugárzás alatt levált Pt tartalmú pogácsák AFM képe vastagság meghatározásához

69 STRATA-gem: Rel. XR int.=f(eo).-> összetétel (wt% at%) & tömegvastagság (ug/cm2) A leválasztott ismeretlen vastagságú, összetételű és sűrűségű pogácsáknak először a vastagságát határoztuk meg AFM méréssel. Ezután 5, 7.5 és 10 kev primer energiával EDS mérést végzünk. Az eredmények természetesen csak virtuális kocentrációk, hiszen a gerjesztés belelóg a szubsztrátba, de már ezek az adatok is használhatók gyakorlati in-situ vastagságmérésre. Egy speciális program a különböző energiákkal mért relatív intenzitásokból kiszámolja a réteg összetételét és tömegvastagságát, amiből az AFM adatok segítségével a sűrűség meghatározható. Az eredmények: tömegvastagság (ug/cm2) >> AFM vastagság (nm) >> sűrűség (g/cm3) tothal - konstans lerakódási sebesség: (73->277 nm) - magas széntartalom (41- > 31 - > 34 wt%) - változó sűrűség (4,2- > 5,5 - > 4,9 g/cm3) - virtuális Si koncentráci ció (60- > 2,5 wt%) Ez átvezet a nano-technológia SEM megoldásaihoz

70 1024 Kvantitativ analizis: korrekció ( MC ) kev 10 nm dia 20 nm dia Al2O3 tothal nanogömbök kvantitativ EDS analízise

71 (8.példa): nanogömbök kvantitativ EDS analízise Szörényi, tothal & al. Fém alumínium céltárgy desztillált víz alatti ablációjával készült nano-részecskék.nd:yag lézer (532 nm); 9,6 Jcm -2 energiasűrűségű impulzusok.

72 nanogömbök kvantitativ EDS analízise tothal

73 kev 10 nm dia SPH P ox/al = f(d) 200keV TEM geom on FOIL Al 2 O D sphere (nm ) tothal nanogömbök kvantitativ EDS analízise

74 kev 10 nm dia SPH P ox/al = f(d) 5keV SEM geom on BULK Al 2 O tothal nanogömbök kvantitativ EDS analízise

75 1024 Al x O? 153 tothal nanogömbök kvantitativ EDS analízise Ez átvezet a nano-technológia SEM megoldásaihoz

76 Summary (XR) Source: inner shell ionization Detection: Spectral (EDS, WDS) Information: point measurement ( 0 dim) energy: qualitative analysis intensity: quantitative analysis line profile imaging FIB peeling (1 dim) (2 dim) (3 dim) distribution of elements

77 LV (FEG) SEM LEO GEMINI ágyú, oszlop, sugármenet, vákuum, SE detektor

78 Ryssel A hagyományos SEM tipikusan 30 kev körül éri el a maximális felbontást, ki-használva szekunder elektronok kis szökési mélységét ( 5λSE ). Az 1980-as évektől a félvezetőipar azzal a látszólag ellentmondásos igénnyel állt elő, hogy egyre kisebb méretű integrált áramköreit potenciálkontraszt üzemmódban akarják vizsgálni, vagyis a gerjesztett térfogat nem lehet mélyebb mint a védőüveg vastagsága (~100nm). A céget Gordon E. Moore, Andrew Grove és Robert Noyce alapította 1968-ban. Kezdetben négy alkalmazottjuk volt, beleértve magyar származású Vadász Lászlót, aki 1975-től a cég elnökhelyette-se, között pedig az igazgatói tanács tagja. Az ő irányítása alatt készült el 1971-ben a világ első mikro-processzora, az l4004. Grove az 1960-as évektől az 1990-es évekig (nyugdíjazásáig) azon munkálkodott (sikerrel), hogy Ryssel az egy nagy nemzetközi cég legyen.

79 Nanotechnology is a X road of disciplines 1nm barrier

80

81 SEM a 2000-es években: a végső határ (?) FEI Helios nanolab (Elstar): Electron beam coincident point kv kv kv RAITH Pioner (GEMINI): Electron Beam Lithography main specifications: Beam size (resolution) 2.5 nm ( 1.6 nm) A B C (D) Annak ellenére, hogy a pásztázó elektronmikroszkópok az elérhető minimális felbontást ostromolják ( a teljesség igénye nélkül például a FEI Elstar 2011-ben nm ZEISS Gemini 2008-ban: 1.6 nm ) a nanotechnológia igénye,és a konkurens módszerek (AFM) paraméterei arra sarkalják a nanosugaras eszközök gyártóit, hogy nézzenek körül. Miért? A választ a (D) ábra mutatja. Az elektronoptikai lencsehibák közül az elektron λ hullámhosszával arányos diffrakciós hiba az eredő sugárátmérő minimumértékéért felel. Ugyanis a más oldalról megkívánt kis energia nem teszi lehetővé, hogy a λ csökkentésének szokásos módját, az energia növelését használják. Marad tehát a lencsehibák lefaragásának fáradságos útja, vagy pedig túllépni az elektronmikroszkóp korlátain, vagyis szakítás az elektronokkal! FEI, ZEISS, Raith, Koops

82 A konstrukőrök az évek folyamán a fizikusi és mérnöki lelemény egész arzenálját vetették be a sugár átmérőjének és energiájának egyidejű csökkentése érdekében. Elérve az 1keV energiát), a behatolás 30 nm-re csökken, a sugár energiájának 95%-a pedig 25nm-en belül disszipálódik (A4). A kisenergiás sugár fókuszálása azonban problematikus, ezért különböző cégek más -és más trükkhöz folyamodtak. CASINO, tothal SEM a 90-es években: a nanokorszak kihívásai

83 Ryssel

84 ZEISS Lencsehibák : a végső határ (?) (D) FEI, ZEISS, Raith, Koops Annak ellenére, hogy a pásztázó elektronmikroszkópok az elérhető minimális felbontást ostromolják, a nanotechnológia igénye,és a konkurens módszerek (AFM) paraméterei arra sarkalták a nanosugaras eszközök gyártóit, hogy nézzenek körül. Miért? A választ a (D) ábra mutatja. Az elektronoptikai lencsehibák közül az elektron λ hullámhosszával arányos diffrakciós hiba felel az eredő sugárátmérő minimumértékéért. Ugyanis a más oldalról megkívánt kis energia nem teszi lehetővé, hogy a λ csökkentésének szokásos módját, az energia növelését használják.

85 HITACHI

86 HITACHI

87 SEM a 2000-es években: FEI Helios nanolab (Elstar): Electron beam coincident point kv // kv kv RAITH Pioner (GEMINI): Electron Beam Lithography main specifications: Beam size (resolution) 2.5 nm ( 1.6 nm) FEI, ZEISS, Raith, Koops

88 FEI

89 FEI

90 FEI

91 1500XB CrossBeam with GEMINI column Tothal & ZEISS

92

93 Gemini column: low beam noise < 1 % cross over free beam path, no significant Boersch effect, high depth of field highly stable thermal FEG< 0.2 % /h variation superb image resolution fhroughout the complete beam energy range, particularly down to 100 ev. high resistance to ambient magnetic stray fields constant conditions at sample surface eliminates ion-beam shift LEO ZEISS GEMINI column ZEISS

94 A téremissziós SEM Gemini közbülső fókuszpont mentes sugármenete, és hibrid objektiv lencséje (mely a fókuszálás mellett detektor és a sugár fékező tér is) kisenergiás működésre lett optimálva (ZEISS). Az eredmény a egy x nominális nagyítású képe egy (szigetelő) Al2O3 pórusairól. A zöld markerek távolsága 7 nm. GEMINI objektív LEO ZEISS GEMINI column Tothal & ZEISS

95 Zeiss Merlin with GEMINI-2 column

96 Zeiss Merlin with GEMINI-2 column

97 Zeiss Merlin with GEMINI-2 column

98 Zeiss Merlin with GEMINI-2 column

99 Zeiss Merlin with GEMINI-2 column

100 Pásztázó ion mikroszkópok LMIS, ECRIS (Orsay Ph.), ICIS (Vion), ALIS (Orion)

101 Új Remény : három fókuszált ionsugaras bajnok : Ga, Xe, He Mivel a Ga ion hullámhossza két és fél, a He ioné pedig két nagyságrenddel kisebb mint a hasonló energiájú elektronoké, az eredő lencsehiba apertúra függése alapvetően módosul, - a határoló összetevő az minta felületére leképzett ionforrás mérete lett. Eo: kev Ráadásul (látszólag) semmit sem kellett feltalálni. Az ionoptikát ha máshonnan nem a gyorsítókból ismertük. A kisméretű, elektrosztatikus részecskeoptikát elektronokr a hamarabb használták mint a mágneses lencséket. A félvezető ipar a hetvenes évek óta használta a fókuszált ionsugárzást (FIB) maszkjavítási és egyedi áramkör módosításra. A kérdés inkább az, miért ily későn? A félvezető ipar 90-es évek beli megtorpanása kellett ahhoz, hogy a cégek ne csak méregdrága monstrumokat gyártsanak, másrészt most lett rá igény előbb a nanomegmunkálás később az ionmikroszkópiák területén. ZEISS

102 FIB képalkotás A Ga ionsugár gerjesztett és térfogata (SRIM) Az LMIS és az ionpotika eredménye egy fókuszált nagy mélységélességű ion sugár a mintán melynek mérete ~ 6 nm 30 kv ~100 nm 2 kv ionenergián Az ionbombázás hatására bekövetkező köcsönhatások: -Porlódás (sputtering) Semleges atomok Szekunder ionok Visszaszórt ionok Implantált ionok Rácshibák ( vakanciák, intersticiósok, diszlokációk ). Szekunder elektronok Secondary Electron images (SE~10 5 xsi) jó mélységélesség FIB Voltage Contrast (SE) előfeszítés és töltődés egyaránt Secondary Ion imaging (SI) szigetelő mintákhoz FIB Channelling contrast (SE & SI) bár nem ugyanaznaz eredmény. FIB ~ 4x erősebb kontraszt mint a SEM BEI FIB Deformation Contrast az orientációs kontraszt egy változata (SE & SI) a vezetőképesség változását mutatja, FIB Chemical Contrast (SE & SI) pl. oxidháló szemcsehatáron Gianuzzi Intro SEM SE FIB SI tothal, fibics.com

103 A folyékony fém ionforrás (LMIS) Különféle Ga + LMIS FIB oszlopok A1 A2 B 1 4 : Micrion 5 nm 50 kev FEI Magnum 30 kev Orsay Canion31 30 kev Raith NanoFIB 35keV A hetvenes évekig a gyorsítókban megszokott plazmaforrást használták (pl az ARL scanning SIMS duoplazmotron ágyúja). Azóta viszont a mikroszkópiai célú FIB a folyékony fém ionforrást használja (LMIS ). (Eskovitz, Levi-Setti. Orloff, Swanson) Sokféle fémet használnak (Au, Be, Pd,Ni, Sb, és ötvözeteik) de a legelterjedtebb a Ga. Előnye hogy olvadáspontja alacsony (29 C), ráadásul könnyű túlhűteni, ezáltal az ágyú szobahőmérsékleten használható. A nagy atomtömege (69,7 g/mol) miatt jól használható porlasztáshoz (sputtering). Az ágyúban egy (általában hideg) fűtőszálhoz egy W tűt hegesztenek, melyet egyik végén kihegyeznek ( d<100 nm ) másik végére pedig egy spirált helyeznek, melyet folyékony Ga-ba mártanak (A1). A W-ot jól nedvesítő Ga megtölti a spirált, és befedi a felületet, így a csúcsot is. Az ágyú kihúzó tere az olvadt galliumot tovább hegyezi (A2), míg az emittáló felület nagysága 10 nm alá nem csökken. Mivel az LMIS emittáló felülete kicsi, az elektrosztatikus ionoptika nem túl bonyolult, kétlencsés, és kompakt (B1-4). A Gemini oszlophoz hasonlóan sugáráramot elsődlegesen itt is apertúrákkal szabályozzák, valamint igyekeznek elkerülni a Coulomb kölcsönhatást a sugárban. Ez a Boersch-hatás ami kiszélesíti a sugár energiaeloszlását (ΔE= 5 ev-ra) ami által a kromatikus aberráció válik a meghatározó lencsehibává (különösen alacsony energiákon ahol a ΔE/E nagy). Az eltérítést és a sugár kitakarását (blanking) szintén elektrosztatikusan oldják meg. FEI, Koops

104 A félvezetőipar és a nanotechnológia egyre inkább a 3 dimenziós megoldások irányába halad: (device stacking,, wafer bonding) ami nagyobb porlasztási sebességeket és porlasztott anyagmennyiséget jelent, mint ami Ga forrást használva ésszerű marási időkkel megold-ható. Az LMIS konstrukció limitálja a kihúzható maximális áramot, az elkerülhetetlen Ga implantáció pedig lehetetlenné teszi a technológiaközi vizsgálatokat. Mondhatni feltámadt a nosztalgia a jó öreg gáz-alapú plazma ionforrások után,- persze fókuszált sugárral. Az eredmény:. Xe sugaras FIB a nehézsúlyú ionsugaras megmunkáló ECR plazmaforrással és ICP plazmaforrással [Orsay Physics] [FEI] A hűtést nem igénylő ECR (electron cyclotron resonance) mikrohullámú Xe ionforrás átlépi a 2 μa küszöböt, és a korábbi LMIS FIB méreteivel csereszabatos ágyúval a gyártó 40x gyorsabb porlasztást jelentett Ga kontamináció nélkül ( Orsay Physics) Az ICP (inductively coupled plasma) Xe ionágyúra épített FIB berendezés paramétereit a következő oldalon foglaljuk össze.(fei) Orsay Physics, FEI

105 Vion : MIKROSZKÓP? IONSUGARAS MEGMUNKÁLÓ? A Xe sugaras berendezés hozza amire tervezték: 30-40x több anyag kimarására képes adott idő alatt int a Ga sugaras LMIS. Mint mikroszkóp elég jó ahhoz, hogy egysugaras FIB berendezésben 10 pa sugáráram mellett 30 nm felbontással láthassuk munkánk eredményét. Ez azonban az LMIS 1 pa mellett mutatott 7nm sugárátmérőjével együtt messze van attól az 1 nm álomhatártól, amivel az ionsugaras eszközök lencsehibáit bemutató grafikon kecsegtet bennünket. ZEISS, SEMATECH, tothal

106 FIB (microscopy) in nanorange A LEO 1540XB cross beam ( Ga+ + & e ) microscope and preparation system

107 Ga + LMIS FIB képalkotás és marás A B Acél minta FIB-SEI képe (88 O ion-beesési szög) SEM-SEI kép ugyaninnen (45 O elektron-beesési szög) Kihasználva a Ga ionok nagy tömegét a képalkotás mellett nem elhanyagolható a lokális ionporlasztás (sputtering). A dózistól függően ez lehet felülettisztítás, -polírozás, rétegeltávolítás valamint árkok, gödrök kialakítása és nano-objektumok lokális továbbalakítása (TEM lamella kivágás, AFM tű hegyezés, egyedi nanomanipulátorok és szondák kifaragása). X-beam : A SEM és FIB célirányos összeépítésével ugyanazt a területet vizsgálhatjuk akár szimultán is (így lehetséges a FIB marás egyidejű SEM nyomonkövetése). Az ( A ) FIB és ( B ) SEM SE képek ugyanazon, polírzott acél felületről készültek. Megfigyelhetők az orientációs kontraszt eltérései, valamint a porlódási hozam orientációfüggése, egészen addig, hogy a kevésbé porlódó szemcsék határai ferdén rajzolódnak ki. A 10x10 μm négyzeteken mérhető mélységekből három jól elkülönülő porlódási hozam (sputtering yield) mérhető 0,06-0,18 μm 3 /nc között tipikusan 0,01 μm 3 /nc szórással (táblázat). A ( C ) ábrán látható, hogy az orientációs kontraszt (ezáltal egy EBSD ábra minősége) annál jobb, minél kisebb ion-energiával polírozzuk, és minél nagyobb energiájú elektronsugárral készítjük a felvételt. Hátrányok: A Ga LMIS mivel egyensúlyt kell tartani a Taylor kúp stabilitása, az emisszió, és a felületi Ga utánpótlás között- csak i X ~ μa kihúzott ionáram-intervallumban stabil. Ezáltal a vele készült FIB praktikus, kompakt, viszonylag egyszerű és tartós (4-6 ma*h), leképezésre és marásra egyaránt alkalmas. Igazi tízpróbázó, de egyik versenyszámban sem világcsúcstartó. JEOL tothal, ZEISS, fibics.com C SEM E o FIB E o

108 A pásztázó ionsugaras mikroszkóp : He+ ionokkal Előzmény: a tér-ion-mikroszkóp (FIM) hűtött és előfeszített W csúcsának kiemelkedő részeinél ionizálódik a gáz, majd az ernyő felé gyorsulva M FIM ~10 7 nagyítással jeleníti meg a csúcs képét. Az Atomic Level Ion Source ( ALIS ) a FIM leszármazottjának tekinthető. A kémiailag kialakított FIM csúcsot (feltehetően FIB segítségével) tovább hegyezik mindaddig, míg csak 9 esetenként 3 atomra nem redukálják az emissziót. Ebből egyet kiválasztva kapjuk a GFIS (Gas Field Ion Source) emitterét. TULAJDONSÁG He GFIS+SIM Ga LMIS+FIB Virtual source radius ( pm ) Energy spread: ( ev ) 1 5 Extraction voltage ( kv ) Predicted spot size ( nm ) 0,25 6 ZEISS

109 A pásztázó ionsugaras mikroszkóp : He+ ionokkal 150 pm virtuálisforrás esetén az ionoptika feladata nem annyira a kicsinyítés minta a sugár kondícioná-lása. A 4-15 mm munkatávolság kiváló mélység-élességet eredményez. Ahogy a műszer terjed, a használt kontrasztmechanizmusok száma hónapról hónapra nó. Az élvonal (MIT, HP és a svájci EMPA) a litográfiához fejlesztett ELPHY MultiBeam (Raith) mintatartót és softwaret használja He-SIM alapú megmunkáló kisérleteihez, ami pontos dozimetrálást és nanométeres mintamozgatást tesz lehetővé. ZEISS

110 A pásztázó ionsugaras mikroszkóp : He+ ionokkal Összehasonlítva a 35 kev energiájú fókuszált He+ ionsugár gerjesztett térfogatát (SRIM, ZEISS) egy kisenergiás téremissziós LV-FEG-SEM 1 kev-es elektronjai által keltett gerjesztett térfogattal látható, hogy az elektronok adják a legkisebb, a He ionok pedig a legnagyobb térfogatot. A morfológiai vizsgálatokra leggyakrabban használt szekunder elektronok azonban csak a felület alatti 1-10 nm mélységből képesek kilépni, ami a He ionok javára szól. Ebben a mélységben a ugyanis szinte kizárólag kisszögű rugalmas szórás megy végbe, a SE információs térfogatának átmérője tehát gyakorlatilag a sugárátmérővel egyenlő. Ennek köszönhető a 0,24 nm felbontás, amivel beléptünk a PICOPROBE tartományba. ZEISS

111 Kontrasztmechanizmusok a pásztázó He ion mikroszkópban: SEI : anyagkontraszt! SEI : mélységélesség SEI & Rutherford Backscattering Image Channelling Voltage Contrast

112 Kontrasztmechanizmusok: RBI : anyagkontraszt

113 FαB grafén milling

114 FαB milling

115 αbad

116

117 Jó hír: A készülék ára : Rossz hír: USD Jó hír: Az első eladott készüléket magyar ember, egykori ifjú kollégám Vladár András vette meg Rossz hír: Washingtonba, az NIST metrológia laborjába. Azóta sincs sokkal több.

118

119 Kérem az ELSŐ csoport hozza fel az ÖSSZESET! beérkezett dolgozat nélkül nincs jegy mfa.kfki.hu ttk.mta.hu

120 mfa.kfki.hu ttk.mta.hu

121 KFKI XXIII ép. Fszt 22a

6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT

6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT 6-7. PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA MEGBÍZHATÓSÁGI HIBAANALITIKA VIETM154 HARSÁNYI GÁBOR, BALOGH BÁLINT BUDAPEST UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND ECONOMICS DEPARTMENT OF ELECTRONICS TECHNOLOGY PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓP

Részletesebben

Energia-diszperzív röntgen elemanalízis és Fókuszált ionsugaras megmunkálás FEI Quanta 3D SEM/FIB

Energia-diszperzív röntgen elemanalízis és Fókuszált ionsugaras megmunkálás FEI Quanta 3D SEM/FIB Energia-diszperzív röntgen elemanalízis és Fókuszált ionsugaras megmunkálás FEI Quanta 3D SEM/FIB Dankházi Zoltán 2015. március 1 Energia-diszperzív Fókuszált ionsugaras röntgen megmunkálás elemanalízis

Részletesebben

Modern fizika laboratórium

Modern fizika laboratórium Modern fizika laboratórium Röntgen-fluoreszcencia analízis Készítette: Básti József és Hagymási Imre 1. Bevezetés A röntgen-fluoreszcencia analízis (RFA) egy roncsolásmentes anyagvizsgálati módszer. Rövid

Részletesebben

Ni és Ge felületi rétegekb l keltett K-Auger spektrumok elemzése Analysis of K-Auger spectra excited from surface layers of Ni and Ge

Ni és Ge felületi rétegekb l keltett K-Auger spektrumok elemzése Analysis of K-Auger spectra excited from surface layers of Ni and Ge Ni és Ge felületi rétegekb l keltett K-Auger spektrumok elemzése Analysis of K-Auger spectra excited from surface layers of Ni and Ge doktori (PhD) értekezés tézisei abstracts of Ph.D. thesis Egri Sándor

Részletesebben

FEI Quanta 3D SEM/FIB. Havancsák Károly 2010. december

FEI Quanta 3D SEM/FIB. Havancsák Károly 2010. december 1 Havancsák Károly 2010. december 2 Időrend A helyiség kialakítás tervezése 2010. május Mágneses tér, vibráció mérése 2010. május A helyiség kialakítása 2010. augusztus 4 22. A berendezés szállítása 2010.

Részletesebben

SZILÁRD FÁZISÚ EXTRAKCIÓ MINDIG UGYANÚGY

SZILÁRD FÁZISÚ EXTRAKCIÓ MINDIG UGYANÚGY SZILÁRD FÁZISÚ EXTRAKCIÓ MINDIG UGYANÚGY Szakács Tibor, Szepesi Ildikó ABL&E-JASCO Magyarország Kft. 1116 Budapest, Fehérvári út 130. ablehun@ablelab.com www.ablelab.com SZILÁRD FÁZISÚ EXTRAKCIÓ SOLID

Részletesebben

Szervetlen komponensek analízise. A, Atomspektroszkópia B, Molekulaspektroszkópia C, Elektrokémia D, Egyéb (radiokémia, termikus analízis, stb.

Szervetlen komponensek analízise. A, Atomspektroszkópia B, Molekulaspektroszkópia C, Elektrokémia D, Egyéb (radiokémia, termikus analízis, stb. Szervetlen komponensek analízise A, Atomspektroszkópia B, Molekulaspektroszkópia C, Elektrokémia D, Egyéb (radiokémia, termikus analízis, stb.) A fény λ i( k r ωt + φ0 ) Elektromágneses sugárzás E( r,

Részletesebben

Vizsgálatok Scanning elektronmikroszkóppal

Vizsgálatok Scanning elektronmikroszkóppal Óbuda University e Bulletin Vol. 2, No. 1, 2011 Nagyné Halász Erzsébet Óbudai Egyetem, Bánki Donát Gépész és Biztonságtechnikai Mérnöki Kar nagyne.halasz@bgk.uni-obuda.hu Abstract: The paper describes

Részletesebben

First experiences with Gd fuel assemblies in. Tamás Parkó, Botond Beliczai AER Symposium 2009.09.21 25.

First experiences with Gd fuel assemblies in. Tamás Parkó, Botond Beliczai AER Symposium 2009.09.21 25. First experiences with Gd fuel assemblies in the Paks NPP Tams Parkó, Botond Beliczai AER Symposium 2009.09.21 25. Introduction From 2006 we increased the heat power of our units by 8% For reaching this

Részletesebben

Kollimátoros. 2. Kristály: NaI (Tl) 3. Fotoelektronsokszorozók

Kollimátoros. 2. Kristály: NaI (Tl) 3. Fotoelektronsokszorozók GAMMA-KAMERA Felépítés, korrekciók Szcintillációs számláló részei Fény Fotoelektron-sokszorozó csı Jelfeldolgozó Varga József Debreceni Egyetem OEC Nukleáris Medicina Intézet Na-jodid kristály Anód Diszkriminátor

Részletesebben

A vízfelvétel és - visszatartás (hiszterézis) szerepe a PM10 szabványos mérésében

A vízfelvétel és - visszatartás (hiszterézis) szerepe a PM10 szabványos mérésében A vízfelvétel és - visszatartás (hiszterézis) szerepe a PM10 szabványos mérésében Imre Kornélia 1, Molnár Ágnes 1, Gelencsér András 2, Dézsi Viktor 3 1 MTA Levegőkémia Kutatócsoport 2 Pannon Egyetem, Föld-

Részletesebben

SC 4.7 ND. 4 Ohm - Art. No. 8047. 8 OHM - Art. No. 8048 TERMÉK ADATLAP

SC 4.7 ND. 4 Ohm - Art. No. 8047. 8 OHM - Art. No. 8048 TERMÉK ADATLAP SC 4.7 ND 4 Ohm - Art. No. 8047 8 OHM - Art. No. 8048 Mágnesesen árnyékolt ovális formájú, szélessávú hangszóró, nedvességtűrő membránnal, és fém kosárral. Jó érzékenység, kiegyensúlyozott frekvencia menet,

Részletesebben

Különböző szűrési eljárásokkal meghatározott érdességi paraméterek változása a választott szűrési eljárás figyelembevételével

Különböző szűrési eljárásokkal meghatározott érdességi paraméterek változása a választott szűrési eljárás figyelembevételével Különböző szűrési eljárásokkal meghatározott érdességi paraméterek változása a választott szűrési eljárás figyelembevételével Varga Péter 1, Barányi István 2, Kalácska Gábor 3 1 Óbudai Egyetem Bánki Donát

Részletesebben

AZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA

AZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA 95 AZ ELTE TTK KÉTSUGARAS PÁSZTÁZÓ ELEKTRONMIKROSZKÓPJA DUAL BEAM SCANNING ELECTRONMICROSCOPE AT EÖTVÖS LORÁND UNIVERSITY HAVANCSÁK KÁROLY 1, BARIS ADRIENN 2, KALÁCSKA SZILVIA 3 Eötvös Loránd Tudományegyetem,

Részletesebben

Nagyenergiájú terahertzes impulzusok előállítása és alkalmazása (az ELI-ALPS-ban) Lehetőségek és kihívások

Nagyenergiájú terahertzes impulzusok előállítása és alkalmazása (az ELI-ALPS-ban) Lehetőségek és kihívások Nagyenergiájú terahertzes impulzusok előállítása és alkalmazása (az ELI-ALPS-ban) Lehetőségek és kihívások Almási Gábor, Fülöp József, Hebling János, Mechler Mátyás, Ollmann Zoltán, Pálfalvi László, Tőke

Részletesebben

Készítették/Made by: Bencsik Blanka Joy Chatterjee Pánczél József. Supervisors: Gubán Dorottya Mentorok Dr. Szabó Ervin

Készítették/Made by: Bencsik Blanka Joy Chatterjee Pánczél József. Supervisors: Gubán Dorottya Mentorok Dr. Szabó Ervin Készítették/Made by: Bencsik Blanka Joy Chatterjee Pánczél József Supervisors: Gubán Dorottya Mentorok Dr. Szabó Ervin A fosszilis energiahordozók mennyisége rohamosan csökken The amount fossil fuels is

Részletesebben

I. Képalkotás a pásztázó elektronmikroszkópban.

I. Képalkotás a pásztázó elektronmikroszkópban. A Hitachi S4700 pásztázó elektronmikroszkóp bemutatása, és kezelési útmutatója I. Képalkotás a pásztázó elektronmikroszkópban. Képet valamilyen tárgyról alapvetően kétféle módon készíthetünk: valamilyen

Részletesebben

Irodavilágítás színes képek vizsgálatához, CIE TC 8-10 felmérése. Schanda János

Irodavilágítás színes képek vizsgálatához, CIE TC 8-10 felmérése. Schanda János Irodavilágítás színes képek vizsgálatához, CIE TC 8-10 felmérése Schanda János Áttekintés Színes képek vizsgálata A CIE TC 8-10 célkitűzései A felmérés előkészületei Előkísérletek Az előkísérletek tanulságai

Részletesebben

A legforróbb munkahelyek acélkohók és öntödék

A legforróbb munkahelyek acélkohók és öntödék A legforróbb munkahelyek acélkohók és öntödék Prof. dr. Kaptay György ATOMKI, 2014. május 15. Vegyületbevonat és C-nanocső fejlesztés [Kaptay-Kuznetsov: Plasmas & Ions 2 (1999) 45-56 (0/40) / Kaptay-Sytchev-Miklósi-

Részletesebben

Cloud computing. Cloud computing. Dr. Bakonyi Péter.

Cloud computing. Cloud computing. Dr. Bakonyi Péter. Cloud computing Cloud computing Dr. Bakonyi Péter. 1/24/2011 1/24/2011 Cloud computing 2 Cloud definició A cloud vagy felhő egy platform vagy infrastruktúra Az alkalmazások és szolgáltatások végrehajtására

Részletesebben

2010. november 2. Dr. Geretovszky Zsolt

2010. november 2. Dr. Geretovszky Zsolt Vékonyrétegek előáll llítása és s alkalmazásai 2010. november 2. Dr. Geretovszky Zsolt Evaporation vs. sputtering Sputtering is a process whereby atoms are ejected from a solid target material due to bombardment

Részletesebben

Az ipari komputer tomográfia vizsgálati lehetőségei

Az ipari komputer tomográfia vizsgálati lehetőségei Az ipari komputer tomográfia vizsgálati lehetőségei Dr. Czinege Imre, Kozma István Széchenyi István Egyetem 6. ANYAGVIZSGÁLAT A GYAKORLATBAN KONFERENCIA Cegléd, 2012. június 7-8. Tartalom A CT technika

Részletesebben

TÉMA ÉRTÉKELÉS TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KMR-2010-0003 (minden téma külön lapra) 2010. június 1 2012. május 31

TÉMA ÉRTÉKELÉS TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KMR-2010-0003 (minden téma külön lapra) 2010. június 1 2012. május 31 1. A téma megnevezése TÉMA ÉRTÉKELÉS TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KMR-2010-0003 (minden téma külön lapra) 2010. június 1 2012. május 31 Nagymértékű képlékeny deformációval előállított az ultrafinom szemcsés szerkezetek

Részletesebben

I. DOZIMETRIAI MENNYISÉGEK ÉS MÉRTÉKEGYSÉGEK

I. DOZIMETRIAI MENNYISÉGEK ÉS MÉRTÉKEGYSÉGEK 1 I. DOZIMETRIAI MENNYISÉGEK ÉS MÉRTÉKEGYSÉGEK 1) Iondózis/Besugárzási dózis (ro: Doza de ioni): A leveg egy adott V térfogatában létrejött ionok Q össztöltésének és az adott térfogatban található anyag

Részletesebben

Sejt. Aktin működés, dinamika plus / barbed end pozitív / szakállas vég 1. nukleáció 2. elongáció (hosszabbodás) 3. dinamikus egyensúly

Sejt. Aktin működés, dinamika plus / barbed end pozitív / szakállas vég 1. nukleáció 2. elongáció (hosszabbodás) 3. dinamikus egyensúly Biofizikai módszerek a citoszkeleton vizsgálatára I: Kinetikai és steady-state spektroszkópiai módszerek Sejt Citoszkeletális rendszerek Orbán József, 2014 április Institute of Biophysics Citoszkeleton:

Részletesebben

Koherens lézerspektroszkópia adalékolt optikai egykristályokban

Koherens lézerspektroszkópia adalékolt optikai egykristályokban Koherens lézerspektroszkópia adalékolt optikai egykristályokban Kis Zsolt MTA Wigner Fizikai Kutatóközpont H-1121 Budapest, Konkoly-Thege Miklós út 29-33 2015. június 8. Hogyan nyerjünk információt egyes

Részletesebben

A napenergia magyarországi hasznosítását támogató új fejlesztések az Országos Meteorológiai Szolgálatnál

A napenergia magyarországi hasznosítását támogató új fejlesztések az Országos Meteorológiai Szolgálatnál A napenergia magyarországi hasznosítását támogató új fejlesztések az Országos Meteorológiai Szolgálatnál Nagy Zoltán, Tóth Zoltán, Morvai Krisztián, Szintai Balázs Országos Meteorológiai Szolgálat A globálsugárzás

Részletesebben

FIATAL MŰSZAKIAK TUDOMÁNYOS ÜLÉSSZAKA

FIATAL MŰSZAKIAK TUDOMÁNYOS ÜLÉSSZAKA FIATAL MŰSZAKIAK TUDOMÁNYOS ÜLÉSSZAKA AZ ABRAZÍV VÍZSUGARAS VÁGÁS Kolozsvár, 2002. március 22-23. ANYAGLEVÁLASZTÁSI MECHANIZMUSAINAK KÍSÉRLETI VIZSGÁLATA Polák Helga ABSTRACT Machining (material removal)

Részletesebben

LED BULB IL-XC 3W E27

LED BULB IL-XC 3W E27 LED LIGHTS LED BULB IL-XC E27 3W INTEGRALED offers LED Bulbs manufactured of high quality materials and LED Chips to the European and International market. The INTEGRALED LED Bulbs are suitable for a variety

Részletesebben

Al-Mg-Si háromalkotós egyensúlyi fázisdiagram közelítő számítása

Al-Mg-Si háromalkotós egyensúlyi fázisdiagram közelítő számítása l--si háromalkotós egyensúlyi fázisdiagram közelítő számítása evezetés Farkas János 1, Dr. Roósz ndrás 1 doktorandusz, tanszékvezető egyetemi tanár Miskolci Egyetem nyag- és Kohómérnöki Kar Fémtani Tanszék

Részletesebben

Í é ö é ő é ő é ű é ó ó é é é ü ő ó é ó é ő ó ő ó ű é ó Í é ü ő ó é ó ü ö ö é ő é ő ó ú é óé ó ó ó é ö é é ó ó é é ó ó ó ó é ö é é ó ü ő ö ő é ő ó ű é ó ó é é ü ó ú ő ó ú é éó ó ú é é é ő ó ű é ó ó é ó

Részletesebben

LC-MS QQQ alkalmazása a hatósági gyógyszerellenőrzésben

LC-MS QQQ alkalmazása a hatósági gyógyszerellenőrzésben LC-MS QQQ alkalmazása a hatósági gyógyszerellenőrzésben Jankovics Péter Országos Gyógyszerészeti Intézet Gyógyszerminőségi Főosztály 2010. január 14. A QQQ analizátor felépítése Forrás: Introducing the

Részletesebben

Egyetemi doktori (PhD) értekezés tézisei Abstract of PhD Thesis

Egyetemi doktori (PhD) értekezés tézisei Abstract of PhD Thesis Egyetemi doktori (PhD) értekezés tézisei Abstract of PhD Thesis Plazmadiagnosztikai vizsgálatok, ionnyaláb- és műszaki fejlesztések az ATOMKI elektron-ciklotronrezonanciás (ECR) ionforrásán Plasma diagnostic

Részletesebben

ELCOMÉTER 224 Felületi profil meghatározó műszer

ELCOMÉTER 224 Felületi profil meghatározó műszer ELCOMÉTER 224 Felületi profil meghatározó műszer Az ELCOMÉTER 224-es készülék a legújabb felületi profil-meghatározó mérési technológiát kínálja, úgy sima, mint görbült felületen történő profilméréshez.

Részletesebben

Trumpf Hungary Kft. TruLaser Weld. Lézeres hegesztés fejlesztési irányai. Piheni Zsolt

Trumpf Hungary Kft. TruLaser Weld. Lézeres hegesztés fejlesztési irányai. Piheni Zsolt Trumpf Hungary Kft TruLaser Weld Lézeres hegesztés fejlesztési irányai Piheni Zsolt Jelenlegi helyzet Hagyományos hegesztés Tizedes gyártási pontosság (vágás, hajlítás, stb.) Ív-hegesztés Magas hőbevitel

Részletesebben

Arccal a nap felé Vékonyréteg napelemek és intelligens üvegek. Lábadi Zoltán MTA TTK MFA

Arccal a nap felé Vékonyréteg napelemek és intelligens üvegek. Lábadi Zoltán MTA TTK MFA Arccal a nap felé Vékonyréteg napelemek és intelligens üvegek Lábadi Zoltán MTA TTK MFA A megújuló energiákban rejlő óriási potenciál Napelemes energiatermelés I: Földrajzi lehetőségek Éves villamos energia

Részletesebben

Áramlási citometria 2011. / 4. Immunológiai és Biotechnológiai Intézet PTE KK

Áramlási citometria 2011. / 4. Immunológiai és Biotechnológiai Intézet PTE KK Áramlási citometria 2011. / 4 Immunológiai és Biotechnológiai Intézet PTE KK Az áramlási citometria elve Az áramlási citometria ( Flow cytometria ) sejtek gyors, multiparaméteres vizsgálatára alkalmas

Részletesebben

Képalkotás neutronokkal (radiográfia és tomográfia)

Képalkotás neutronokkal (radiográfia és tomográfia) Képalkotás neutronokkal (radiográfia és tomográfia) Kis Z., Szentmiklósi L., Belgya T., Révay Zs. MTA Energiatudományi Kutatóközpont, Magyar Tudományos Akadémia, Budapest NPS-NORMA @ Budapesti Kutatóreaktor

Részletesebben

Golden oak - 08. Water oak - 06. Nut - 05. Mahagony - 09. Dark oak - 04

Golden oak - 08. Water oak - 06. Nut - 05. Mahagony - 09. Dark oak - 04 Golden oak - 08 Water oak - 06 Nut - 05 Mahagony - 09 Dark oak - 04 Creme white - 030 Quartz Grey - 031 Coal Grey - 032 Dark green - 033 Brown - 034 Teak terra - 050 Noce Sorrento natur - 051 Noce Sorrento

Részletesebben

Az áramlási citométer és sejtszorter felépítése és működése, diagnosztikai alkalmazásai

Az áramlási citométer és sejtszorter felépítése és működése, diagnosztikai alkalmazásai Az áramlási citométer és sejtszorter felépítése és működése, diagnosztikai alkalmazásai Az áramlási citométer és sejtszorter felépítése és működése Kereskedelmi forgalomban kapható készülékek 1 Fogalmak

Részletesebben

Az A 2 -probléma eliminálása a rezonátoros kvantumelektrodinamikából

Az A 2 -probléma eliminálása a rezonátoros kvantumelektrodinamikából Az A 2 -probléma eliminálása a rezonátoros kvantumelektrodinamikából Vukics András MTA Wigner FK, SzFI, Kvantumoptikai és Kvantuminformatikai Osztály SzFI szeminárium, 2014. február 25. Tartalom Az A 2

Részletesebben

Atomi er mikroszkópia jegyz könyv

Atomi er mikroszkópia jegyz könyv Atomi er mikroszkópia jegyz könyv Zsigmond Anna Julia Fizika MSc III. Mérés vezet je: Szabó Bálint Mérés dátuma: 2010. október 7. Leadás dátuma: 2010. október 20. 1. Mérés leírása A laboratóriumi mérés

Részletesebben

X-Ray Diagnostics of Highly Charged Ion Plasmas

X-Ray Diagnostics of Highly Charged Ion Plasmas X-Ray Diagnostics of Highly Charged Ion Plasmas - High Energy Electronic X-Ray Spectrometer (HENEX) for high density laser produced plasmas - Doktori (Ph.D.) értekezés tézisei Szabó Csilla Ibolya Témavezető:

Részletesebben

ALPHA spektroszkópiai (ICP és AA) standard oldatok

ALPHA spektroszkópiai (ICP és AA) standard oldatok Jelen kiadvány megjelenése után történõ termékváltozásokról, új standardokról a katalógus internetes oldalán, a www.laboreszközkatalogus.hu-n tájékozódhat. ALPHA Az alábbi standard oldatok fémek, fém-sók

Részletesebben

SUGÁRZÁS DETEKTÁLÁS - MÉRÉS SUGÁRZÁS DETEKTÁLÁS - MÉRÉS. A sugárzás mérés eszközei Méréstechnikai módszerek, eljárások

SUGÁRZÁS DETEKTÁLÁS - MÉRÉS SUGÁRZÁS DETEKTÁLÁS - MÉRÉS. A sugárzás mérés eszközei Méréstechnikai módszerek, eljárások SUGÁRZÁS DETEKTÁLÁS - MÉRÉS A sugárzás mérés eszközei Méréstechnikai módszerek, eljárások Dr. Kári Béla Semmelweis Egyetem ÁOK Radiológiai és Onkoterápiás Klinka / Nukleáris Medicina Tanszék SUGÁRZÁS DETEKTÁLÁS

Részletesebben

NAGYFELBONTÁSÚ REPÜLÉSI IDŐ DIFFRAKTOMÉTER A BUDAPESTI NEUTRON KUTATÓKÖZPONTBAN

NAGYFELBONTÁSÚ REPÜLÉSI IDŐ DIFFRAKTOMÉTER A BUDAPESTI NEUTRON KUTATÓKÖZPONTBAN 22 Kivonat NAGYFELBONTÁSÚ REPÜLÉSI IDŐ DIFFRAKTOMÉTER A BUDAPESTI NEUTRON KUTATÓKÖZPONTBAN SÁNTA ZSOMBOR MTA Szilárdtestfizikai és Optikai Kutatóintézet, H-1525, POB. 49, Budapest email: santa@szfki.hu

Részletesebben

A TERMÉSZETES RADIOAKTIVITÁS VIZSGÁLATA A RUDAS-FÜRDŐ TÖRÖK- FORRÁSÁBAN

A TERMÉSZETES RADIOAKTIVITÁS VIZSGÁLATA A RUDAS-FÜRDŐ TÖRÖK- FORRÁSÁBAN A TERMÉSZETES RADIOAKTIVITÁS VIZSGÁLATA A RUDAS-FÜRDŐ TÖRÖK- FORRÁSÁBAN Készítette: Freiler Ágnes II. Környezettudomány MSc. szak Témavezetők: Horváth Ákos Atomfizikai Tanszék Erőss Anita Általános és

Részletesebben

Neutron Aktivációs Analitika

Neutron Aktivációs Analitika Neutron Aktivációs Analitika Irodalom: Alfassi, Z.B., 1994, Determination of Trace Elements,(Rehovot: Balaban Publ.) Alfassi, Z.B., 1994b, Chemical Analysis by Nuclear Methods, (Chichester: Wiley) Alfassi,

Részletesebben

2.1.2. Az elektronspektroszkópia kísérleti módszerei (XPS, AR-XPS, AES, XAES, REELS)

2.1.2. Az elektronspektroszkópia kísérleti módszerei (XPS, AR-XPS, AES, XAES, REELS) 2.1.2. Az elektronspektroszkópia kísérleti módszerei 25 2.1.2. Az elektronspektroszkópia kísérleti módszerei (XPS, AR-XPS, AES, XAES, REELS) Ebben a feezetben a 2.1.1. alfeezetben ismertetett alapelenségekre

Részletesebben

1. Gyakorlat: Telepítés: Windows Server 2008 R2 Enterprise, Core, Windows 7

1. Gyakorlat: Telepítés: Windows Server 2008 R2 Enterprise, Core, Windows 7 1. Gyakorlat: Telepítés: Windows Server 2008 R2 Enterprise, Core, Windows 7 1.1. Új virtuális gép és Windows Server 2008 R2 Enterprise alap lemez létrehozása 1.2. A differenciális lemezek és a két új virtuális

Részletesebben

Szenzor- és méréstechnikai fejlesztések biomechanikai vizsgálatokhoz

Szenzor- és méréstechnikai fejlesztések biomechanikai vizsgálatokhoz Szenzor- és méréstechnikai fejlesztések biomechanikai vizsgálatokhoz SOHA RUDOLF FERENC DEBRECENI EGYETEM Témavezető: István Dr. Szabó 1 Tartalomjegyzék Gyorsulásmérő szenzor alapú mérőrendszer Járásvizsgálat

Részletesebben

NA61/SHINE: Az erősen kölcsönható anyag fázisdiagramja

NA61/SHINE: Az erősen kölcsönható anyag fázisdiagramja NA61/SHINE: Az erősen kölcsönható anyag fázisdiagramja László András Wigner Fizikai Kutatóintézet, Részecske- és Magfizikai Intézet 1 Kivonat Az erősen kölcsönható anyag és fázisai Megfigyelések a fázisszerkezettel

Részletesebben

Utasítások. Üzembe helyezés

Utasítások. Üzembe helyezés HASZNÁLATI ÚTMUTATÓ Üzembe helyezés Utasítások Windows XP / Vista / Windows 7 / Windows 8 rendszerben történő telepítéshez 1 Töltse le az AORUS makróalkalmazás telepítőjét az AORUS hivatalos webhelyéről.

Részletesebben

Mérés és adatgyűjtés

Mérés és adatgyűjtés Mérés és adatgyűjtés 5. óra - levelező Mingesz Róbert Szegedi Tudományegyetem 2011. március 18. MA lev - 5. óra Verzió: 1.1 Utolsó frissítés: 2011. április 12. 1/20 Tartalom I 1 Demók 2 Digitális multiméterek

Részletesebben

Extreme flood events in the Lower Tisza Region The relevance of the excess water

Extreme flood events in the Lower Tisza Region The relevance of the excess water Extreme flood events in the Lower Tisza Region The relevance of the excess water Dr. Péter Kozák Ph.D Director Flooded areas in Hungary before the beginning of river regulation works (1846.) Temporary

Részletesebben

REGaRD: Gáztöltésű részecskedetektor fejlesztés ELTE Wigner FK CERN RD51 együttműködésben

REGaRD: Gáztöltésű részecskedetektor fejlesztés ELTE Wigner FK CERN RD51 együttműködésben REGaRD: Gáztöltésű részecskedetektor fejlesztés ELTE Wigner FK CERN RD51 együttműködésben Varga Dezső, ELTE KRFT az RD51 / REGARD képviseletében Gáztöltésű részecskedetektorok jelene, létjogosultsága A

Részletesebben

Műszerezett keménységmérés alkalmazhatósága a gyakorlatban

Műszerezett keménységmérés alkalmazhatósága a gyakorlatban Műszerezett keménységmérés alkalmazhatósága a gyakorlatban Rózsahegyi Péter laboratóriumvezető Tel: (46) 560-137 Mob: (30) 370-009 Műszaki Kockázatmenedzsment Osztály Mechanikai Anyagvizsgáló Laboratórium

Részletesebben

MEGHÍVJUK ÖNT ÉS KOLLÉGÁIT AZ AUTOMOTIV KIÁLLÍTÁSRA AHOL CÉGÜNK AZ

MEGHÍVJUK ÖNT ÉS KOLLÉGÁIT AZ AUTOMOTIV KIÁLLÍTÁSRA AHOL CÉGÜNK AZ MEGHÍVJUK ÖNT ÉS KOLLÉGÁIT AZ AUTOMOTIV KIÁLLÍTÁSRA AHOL CÉGÜNK AZ Anyagvizsgálat-Méréstechnika Kft. A MAJOSZ TÁRSKIÁLLÍTÓJAKÉNT JELENIK MEG. Időpont: Helyszín: 2013. november 7-8-9 (csütörtök/péntek/szombat)

Részletesebben

Elektrofiziológiai vizsgálómódszerek alkalmazása a sejtek elektromos tevékenységének kutatásában. A kezdetek 1.

Elektrofiziológiai vizsgálómódszerek alkalmazása a sejtek elektromos tevékenységének kutatásában. A kezdetek 1. Elektrofiziológiai vizsgálómódszerek alkalmazása a sejtek elektromos tevékenységének kutatásában A kezdetek 1. 1935-1952 A klasszikus membrán biofizika megteremtése membránpermeabilitás kinetikája, membránfehérjék

Részletesebben

Elektronikus műszerek Analóg oszcilloszkóp működés

Elektronikus műszerek Analóg oszcilloszkóp működés 1 1. Az analóg oszcilloszkópok általános jellemzői Az oszcilloszkóp egy speciális feszültségmérő. Nagy a bemeneti impedanciája, ezért a voltmérőhöz hasonlóan a mérendővel mindig párhuzamosan kell kötni.

Részletesebben

Nukleáris képzés vietnami szakembereknek Magyarországon (HUVINETT)

Nukleáris képzés vietnami szakembereknek Magyarországon (HUVINETT) Nukleáris képzés vietnami szakembereknek Magyarországon (HUVINETT) Osváth Szabolcs, Zagyvai Péter, Czifrus Szabolcs, Aszódi Attila Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem (BME) Nukleáris Technikai

Részletesebben

Az atomi környezet hatása a rezonáns és nem rezonáns belsőhéj átmenetekre Az OTKA 67873 sz. kutatási pályázat zárójelentése

Az atomi környezet hatása a rezonáns és nem rezonáns belsőhéj átmenetekre Az OTKA 67873 sz. kutatási pályázat zárójelentése Az atomi környezet hatása a rezonáns és nem rezonáns belsőhéj átmenetekre Az OTKA 67873 sz. kutatási pályázat zárójelentése Rezonáns és nem rezonáns belsőhéj átmenetek 3d átmeneti fémekben és ötvözeteikben

Részletesebben

Thomson-modell (puding-modell)

Thomson-modell (puding-modell) Atommodellek Thomson-modell (puding-modell) A XX. század elejére világossá vált, hogy az atomban található elektronok ugyanazok, mint a katódsugárzás részecskéi. Magyarázatra várt azonban, hogy mi tartja

Részletesebben

Í Í É Ó Ö Í Ó Ó ű Í Í Ó ű Ó Ó Ö Ö Ó Ö ű Ó Ó Ö ű ű ű Ö Ö Ó Ó Ó Ö Í Ö Ö Ö É Ó Ó Ö Ó Ő Ö Ó Ő Ö Í Ö ű ű Í Í ű ű É Í ű Í Ö Ö Í Í É Ö Ö Í Ö Ö Ö ű Ö Ö Ö Í ű ű Í Í ű Ő Í Ö Í Í Í Ö É Ö Ö Ű Í Ö Ó Í Í Í Í Í Ö ű Ö

Részletesebben

A mikro- és s nanoelektronikai

A mikro- és s nanoelektronikai A mikro- és s nanoelektronikai K+F stratégiai jelentısége Nádudvari György Semilab Félvezetı Fizikai Laboratórium Zrt. Semiconductor Physics Laboratory Co. Ltd. 1 A félvezetf lvezetıipar 29-ben Cég Bevétel

Részletesebben

Hogyan építsünk adatközpontot? Tarcsay György 2014.05.14.

Hogyan építsünk adatközpontot? Tarcsay György 2014.05.14. Hogyan építsünk adatközpontot? Tarcsay György 2014.05.14. M I A Z A Z A D AT K Ö Z P O N T? 2014.05.14. 2 M I A Z A Z A D AT K Ö Z P O N T? Iroda: Élettartam: 5-10 év Fix telepítés Hosszútávú megbízhatóság

Részletesebben

Deme Sándor MTA EK. 40. Sugárvédelmi Továbbképző Tanfolyam Hajdúszoboszló, 2015. április 21-23.

Deme Sándor MTA EK. 40. Sugárvédelmi Továbbképző Tanfolyam Hajdúszoboszló, 2015. április 21-23. A neutronok személyi dozimetriája Deme Sándor MTA EK 40. Sugárvédelmi Továbbképző Tanfolyam Hajdúszoboszló, 2015. április 21-23. Előzmény, 2011 Jogszabályi háttér A személyi dozimetria jogszabálya (16/2000

Részletesebben

Mérési hibák 2006.10.04. 1

Mérési hibák 2006.10.04. 1 Mérési hibák 2006.10.04. 1 Mérés jel- és rendszerelméleti modellje Mérési hibák_labor/2 Mérési hibák mérési hiba: a meghatározandó értékre a mérés során kapott eredmény és ideális értéke közötti különbség

Részletesebben

Bird species status and trends reporting format for the period 2008-2012 (Annex 2)

Bird species status and trends reporting format for the period 2008-2012 (Annex 2) 1. Species Information 1.1 Member State Hungary 1.2.2 Natura 2000 code A129 1.3 Species name Otis tarda 1.3.1 Sub-specific population 1.4 Alternative species name 1.5 Common name túzok 1.6 Season Breeding

Részletesebben

Magfizika tesztek. 1. Melyik részecske nem tartozik a nukleonok közé? a) elektron b) proton c) neutron d) egyik sem

Magfizika tesztek. 1. Melyik részecske nem tartozik a nukleonok közé? a) elektron b) proton c) neutron d) egyik sem 1. Melyik részecske nem tartozik a nukleonok közé? a) elektron b) proton c) neutron d) egyik sem 2. Mit nevezünk az atom tömegszámának? a) a protonok számát b) a neutronok számát c) a protonok és neutronok

Részletesebben

Neuróhr Katalin. Témavezető: Péter László. MTA Wigner Fizikai Kutatóközpont SZFI Fémkutatási Osztály

Neuróhr Katalin. Témavezető: Péter László. MTA Wigner Fizikai Kutatóközpont SZFI Fémkutatási Osztály NÉHÁNY KÜLÖNLEGES FÉMES NANOSZERKEZET ELŐÁLLÍTÁSA ELEKTROKÉMIAI LEVÁLASZTÁSSAL Neuróhr Katalin Témavezető: Péter László MTA Wigner Fizikai Kutatóközpont SZFI Fémkutatási Osztály 2012. június 5. Bemutatkozás

Részletesebben

Out-Look. Display. Analog Bar. Testing Mode. Main Parameter. Battery Indicator. Second Parameter. Testing Frequency

Out-Look. Display. Analog Bar. Testing Mode. Main Parameter. Battery Indicator. Second Parameter. Testing Frequency Out-Look Display Analog Bar Testing Mode Battery Indicator 1. LCD Display 2. Power Key 3. Mode Key 4. HOLD Key 5. Function Keys 6. Component socket (5Wire) 7. 2Wire Input Terminals Testing Frequency Main

Részletesebben

6. Félvezető lézerek

6. Félvezető lézerek 6. Félvezető lézerek 2003-ben 612 millió félvezető lézert adtak el a világban (forrás: Laser Focus World, 2004. február). Összehasonlításképpen az eladott nem félvezető lézerek száma 2001-ben ~122 ezer

Részletesebben

1214 Budapest, Puli sétány 2-4. www.grimas.hu 1 420 5883 1 276 0557 info@grimas.hu. Rétegvastagságmérő. MEGA-CHECK Pocket

1214 Budapest, Puli sétány 2-4. www.grimas.hu 1 420 5883 1 276 0557 info@grimas.hu. Rétegvastagságmérő. MEGA-CHECK Pocket Rétegvastagságmérő MEGA-CHECK Pocket A "MEGA-CHECK Pocket" rétegvastagságmérő műszer alkalmas minden fémen a rétegvastagság mérésére. Az új "MEGA-CHECK Pocket" rétegvastagság mérő digitális mérő szondákkal

Részletesebben

Modellszámításokkal kapcsolatos kutatások bemutatása

Modellszámításokkal kapcsolatos kutatások bemutatása Modellszámításokkal kapcsolatos kutatások bemutatása Dr. Boda Dezső alprojektfelelős Fizikai Kémiai Tanszék Pannon Egyetem boda@almos.vein.hu 2013. május 31. Dr. Boda Dezső (Modellszámítások alprojekt)

Részletesebben

Digitális képfeldolgozó rendszer

Digitális képfeldolgozó rendszer A leírást készítette: Deákvári József, intézeti mérnök A 2005. évben az FVM Mezőgazdasági Gépesítési Intézetben jelentős műszerfejlesztés történt a digitális képfeldolgozás területén. Beszerzésre került

Részletesebben

Gázolajok kéntartalmának meghatározása röntgen-fluoreszcenciás analitikai módszer alkalmazásával Bevezetés

Gázolajok kéntartalmának meghatározása röntgen-fluoreszcenciás analitikai módszer alkalmazásával Bevezetés 1 Gázolajok kéntartalmának meghatározása röntgen-fluoreszcenciás analitikai módszer alkalmazásával Bevezetés A gázolajok kéntartalma az elmúlt 15-20 évben a kőolaj finomítás egyik legfontosabb területévé

Részletesebben

SOPHOS simple + secure. A dobozba rejtett biztonság UTM 9. Kókai Gábor - Sophos Advanced Engineer Balogh Viktor - Sophos Architect SOPHOS

SOPHOS simple + secure. A dobozba rejtett biztonság UTM 9. Kókai Gábor - Sophos Advanced Engineer Balogh Viktor - Sophos Architect SOPHOS SOPHOS simple + secure A dobozba rejtett biztonság UTM 9 Kókai Gábor - Sophos Advanced Engineer Balogh Viktor - Sophos Architect SOPHOS SOPHOS simple + secure Megint egy UTM? Egy újabb tűzfal extrákkal?

Részletesebben

BEMUTATÓ TESA VISIO 500 HEXAGON METROLOGY

BEMUTATÓ TESA VISIO 500 HEXAGON METROLOGY BEMUTATÓ TESA VISIO 500 1 Bemutató ÚJ!!! Büszkeséggel mutatjuk be optikai mérőgép családunk új tagjait. TESA VISIO 500 Value TESA VISIO 500 Universal. PCDMIS Software-rel működnek 2 Bemutató ÚJ!!! Az érintés

Részletesebben

Technotel Kft. Megfelelségi Nyilatkozat

Technotel Kft. Megfelelségi Nyilatkozat a tagja Megfelelségi Nyilatkozat elektronikus hírközlési szolgáltatás 229/2008. (IX.12.) Korm. rendelet szerinti megfelelségérl a 2009 évben nyújtott internet szolgáltatásra vonatkozóan INT_Megfelelosegi_Nyilatkozat_2009.doc

Részletesebben

Őrlés. Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM)

Őrlés. Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) Őrlés A mechanikai őrlés egy hatékony, gazdaságos és széleskörűen vizsgált módszer. A mechanikai őrlés egyik előnyös jellemzője, hogy egyszerű az átjárhatóság a laboratóriumi módszerek és a nagyságrendekkel

Részletesebben

Can/be able to. Using Can in Present, Past, and Future. A Can jelen, múlt és jövő idejű használata

Can/be able to. Using Can in Present, Past, and Future. A Can jelen, múlt és jövő idejű használata Can/ Can is one of the most commonly used modal verbs in English. It be used to express ability or opportunity, to request or offer permission, and to show possibility or impossibility. A az egyik leggyakrabban

Részletesebben

2011.11.25. Modern Biofizikai Kutatási Módszerek 2011.11.03. Kereskedelmi forgalomban kapható készülékek. Áramlási citometria (flow cytometry)

2011.11.25. Modern Biofizikai Kutatási Módszerek 2011.11.03. Kereskedelmi forgalomban kapható készülékek. Áramlási citometria (flow cytometry) Modern Biofizikai Kutatási Módszerek 2011.11.03. Kereskedelmi forgalomban kapható készülékek Áramlási citometria (flow cytometry) Eljárás vagy mérési módszer, amellyel folyadékáramban lévő önálló részecskék,

Részletesebben

FÖLDRAJZ ANGOL NYELVEN

FÖLDRAJZ ANGOL NYELVEN Földrajz angol nyelven középszint 1411 ÉRETTSÉGI VIZSGA 2015. május 14. FÖLDRAJZ ANGOL NYELVEN KÖZÉPSZINTŰ ÍRÁSBELI ÉRETTSÉGI VIZSGA JAVÍTÁSI-ÉRTÉKELÉSI ÚTMUTATÓ EMBERI ERŐFORRÁSOK MINISZTÉRIUMA Paper

Részletesebben

KÉMIA FELVÉTELI DOLGOZAT

KÉMIA FELVÉTELI DOLGOZAT KÉMIA FELVÉTELI DOLGOZAT I. Egyszerű választásos teszt Karikázza be az egyetlen helyes, vagy egyetlen helytelen választ! 1. Hány neutront tartalmaz a 127-es tömegszámú, 53-as rendszámú jód izotóp? A) 74

Részletesebben

A fény korpuszkuláris jellegét tükröző fizikai jelenségek

A fény korpuszkuláris jellegét tükröző fizikai jelenségek A fény korpuszkuláris jellegét tükröző fizikai jelenségek A fény elektromágneses sugárzás, amely hullámjelleggel és korpuszkuláris sajátosságokkal is rendelkezik. A fény hullámjellege elsősorban az olyan

Részletesebben

Módszer az ASEA-ban található reaktív molekulák ellenőrzésére

Módszer az ASEA-ban található reaktív molekulák ellenőrzésére Módszer az ASEA-ban található reaktív molekulák ellenőrzésére Az ASEA-ban található reaktív molekulák egy komplex szabadalmaztatott elektrokémiai folyamat, mely csökkenti és oxidálja az alap sóoldatot,

Részletesebben

Anyagvizsgálati lehetőségek a SZIKKTI Labor Kft. - ben

Anyagvizsgálati lehetőségek a SZIKKTI Labor Kft. - ben SZIKKTI Labor Szilikátkémiai Anyagvizsgáló-Kutató Kft. Budapest Anyagvizsgálati lehetőségek a SZIKKTI Labor Kft. - ben Laczkó László - Wojnárovitsné Dr. Hrapka Ilona Fórizs Katalin kutatási-fejlesztési

Részletesebben

Laptop: a fekete doboz

Laptop: a fekete doboz Laptop: a fekete doboz Dankházi Zoltán ELTE Anyagfizikai Tanszék Lássuk a fekete doboz -t NÉZZÜK MEG! És hány GB-os??? SZEDJÜK SZÉT!!!.2.2. AtomCsill 2 ... hát akkor... SZEDJÜK SZÉT!!!.2.2. AtomCsill 3

Részletesebben

Víz - és környezetanalitikai gyorstesztek

Víz - és környezetanalitikai gyorstesztek Víz - és környezetanalitikai gyorstesztek Chemetrics Inc. már több, mint 35 éve jelen van a picaon, számos Európai Uniós országban terjedtek már el termékei. Kifejezetten vízminta elemző készleteket és

Részletesebben

Green Talk XXL konferencia

Green Talk XXL konferencia Budapest, 2014. november 03. Green Talk XXL konferencia A TNM rendelet szükséges korrekciója az EN 15232 szabvány alkalmazásával - Az épületautomatika valós hatása létesítményeink energiafogyasztására

Részletesebben

Nagy alkatrész-sűrűségű áramkörök anyagainak, valamint összekötési és szerelési eljárásainak kutatása

Nagy alkatrész-sűrűségű áramkörök anyagainak, valamint összekötési és szerelési eljárásainak kutatása Nagy alkatrész-sűrűségű áramkörök anyagainak, valamint összekötési és szerelési eljárásainak kutatása Géczy Attila Konzulens: Dr. Illyefalvi-Vitéz Zsolt PhD szeminárium beszámoló 2010.10.29. BUDAPEST UNIVERSITY

Részletesebben

Modern fizika vegyes tesztek

Modern fizika vegyes tesztek Modern fizika vegyes tesztek 1. Egy fotonnak és egy elektronnak ugyanakkora a hullámhossza. Melyik a helyes állítás? a) A foton lendülete (impulzusa) kisebb, mint az elektroné. b) A fotonnak és az elektronnak

Részletesebben

GASTROINTESTINAL ENDOSCOPY EMÉSZTŐRENDSZERI ENDOSZKÓPIA KÉSZÜLÉKEK UNITS GE-COMBO_HU-EN. EMD Endoszkóp Műszer Gyártó és Kereskedelmi Kft.

GASTROINTESTINAL ENDOSCOPY EMÉSZTŐRENDSZERI ENDOSZKÓPIA KÉSZÜLÉKEK UNITS GE-COMBO_HU-EN. EMD Endoszkóp Műszer Gyártó és Kereskedelmi Kft. GASTROINTESTINAL ENDOSCOPY EMÉSZTŐRENDSZERI ENDOSZKÓPIA UNITS FOR VIDEO-ENDOSCOPY GE-COMBO_HU-EN VIDEO-ENDOSZKÓPIÁHOZ UNITS 1 / 2009 MONITORS 14" MONITOROK 14" SONY LMD 1420MD Medical LCD monitor SONY

Részletesebben

1214 Budapest, Puli sétány 2-4. www.grimas.hu 1 420 5883 1 276 0557 info@grimas.hu. Rétegvastagságmérő. MEGA-CHECK -Master-

1214 Budapest, Puli sétány 2-4. www.grimas.hu 1 420 5883 1 276 0557 info@grimas.hu. Rétegvastagságmérő. MEGA-CHECK -Master- Rétegvastagságmérő MEGA-CHECK -Master- A "MEGA-CHECK -Master-" rétegvastagságmérő műszer alkalmas minden fémen a rétegvastagság mérésére. Az új generációs MEGA-CHECK rétegvastagságmérő eszközökben használtak

Részletesebben

É É É Á Ő É Ű ÖÉ í ö ű ü ö í ö í ö ü ö ö Á Á Í É Ű ö É Á ö í ű ö ü ö ü ű ö ű ö ű ö í ö í ö í í Á Á ö ú ö ö ö ö ü ö ö ű í í ü ö ü í ö í í í ö ö ú ű í í í í Á Á ö ö ö ú ü í í í üü ö í í ü í ö í í í ö ö í

Részletesebben

QDA TÖMEGDETEKTOR TÖMEGSZELEKTÍV DETEKTÁLÁS KROMATOGRÁFUSOKNAK. 2015 Waters Corporation 1

QDA TÖMEGDETEKTOR TÖMEGSZELEKTÍV DETEKTÁLÁS KROMATOGRÁFUSOKNAK. 2015 Waters Corporation 1 QDA TÖMEGDETEKTOR TÖMEGSZELEKTÍV DETEKTÁLÁS KROMATOGRÁFUSOKNAK 2015 Waters Corporation 1 QDA TÖMEGDETEKTOR TÖMEGSZELEKTÍV DETEKTÁLÁS KROMATOGRÁFUSOKNAK 30 év tapasztalat 37 új szabadalom 2015 Waters Corporation

Részletesebben

7. Laboratóriumi gyakorlat KIS ELMOZDULÁSOK MÉRÉSE KAPACITÍV ÉS INDUKTÍV MÓDSZERREL

7. Laboratóriumi gyakorlat KIS ELMOZDULÁSOK MÉRÉSE KAPACITÍV ÉS INDUKTÍV MÓDSZERREL 7. Laboratóriumi gyakorlat KIS ELMOZDULÁSOK MÉRÉSE KAPACITÍV ÉS INDUKTÍV MÓDSZERREL 1. A gyakorlat célja Kis elmozulások (.1mm 1cm) mérésének bemutatása egyszerű felépítésű érzékkőkkel. Kapacitív és inuktív

Részletesebben

Óriásrezonanciák vizsgálata és neutronbőr-vastagság mérések a FAIR gyorsítónál

Óriásrezonanciák vizsgálata és neutronbőr-vastagság mérések a FAIR gyorsítónál Óriásrezonanciák vizsgálata és neutronbőr-vastagság mérések a FAIR gyorsítónál (Repülési-idő neutron spektrométer fejlesztése az Atomki-ban az EXL és az R3B együttműködésekhez) A töltéscserélő reakciókat

Részletesebben

Ú ó Ó Ú É Á Á É Á É Ó Í É Ö Í Ú ő ó ű é ó ó é é ö ö ő Ú ő ó Ú É Á é é é é ő ó ű é ő é ű é ó ű é é ő ó ű é é ö ö é ó é é é é é é é ó ű é é ű é ó é é é é é ú ű é é é ü é é é é ü ó é é é ö é Í ö ú ü ö ö é

Részletesebben