Egyéni munkabeszámoló (2012. január 1-től december 31-ig)

Átírás

1 1 Egyéni munkabeszámoló (2012. január 1-től december 31-ig) Fürjes Péter tudományos főmunkatárs Mikrotechnológia Osztály MEMS Laboratórium mta.ttk.hu, MEMS-től a BIOMEMS-ig Az elmúlt időszakban mind a saját, mind az MTA TTK MFA MEMS Laboratóriumának tudományos orientációja jelentős változáson ment keresztül. A laboratóriumban hagyományosan folyó szilícium alapú mikromechanikai fejlesztések mellett számos sikeres pályázatnak 1 köszönhetően szilárd technológiai-tudományos tudásbázist, valamint infrastrukturális hátteret sikerült koncentrálni a mikrofluidikai, bioanalitikai és orvosdiagnosztikai kutatási vonal mentén. A létrehozott posztdok kutatókból, PhD és egyetemi hallgatókból álló csoport a saját tudományos témák művelése mellett hatékonyan képes támogatni a hazai és külföldi társintézetek kutatásait, a területen működő ipari partnerek fejlesztéseit és természetesen a partner felsőoktatási intézmények oktatását is. Motiváció Az orvosi diagnosztika fejlődési irányait figyelembe véve természetes igény tapasztalható az egyre gyorsabb, olcsóbb, megbízható, multiparaméteres teszteket támogató érzékelő-rendszerek fejlesztésére. Ezek az innovatív diagnosztikai rendszerek forradalmian új mérési elveken alapuló szenzoreszközöket, és nagyteljesítményű mintapreparációs modulokat tartalmaznak. Ezek megvalósítása egyre kiterjedtebben hasznosítja a mikro- és nanotechnológiai kutatások eredményeit. Ennek megfelelően célkitűzésem volt, hogy megbízható és robosztus mikro- és nanofabrikációs technológiákat dolgozzak ki a struktúrák létrehozásához. a mikro- és nanoskálás rendszerekben tapasztalható fizikai folyamatokat feltérképezve új elveken alapuló bioanalitikai, mikro és nanofluidikai eszközöket hozzak létre. Eredmények 1. Mikrofluidikai rendszerek megvalósításának anyagtechnológiai kérdései A bioanalitikai rendszerek alkalmazhatóságának alapfeltétele, hogy az érzékelőt integráló mikrofluidikai rendszerek a funkcionális megbízhatóság mellett robosztusak, biokompatibilisek, hosszú távon is stabilak legyenek. Alapvető, hogy ne befolyásolják jelentős mértékben az optikai/kémiai/elektrokémiai érzékelési folyamatot, illetve annak érzékenységét. Emiatt a mintaszállítást és kezelést lehetővé tevő mikrofluidikai rendszerek esetén alapvető az anyagválasztás, a kialakítási technológia és a megfelelő felületmódosítás. Az integrált bioanalitikai (Lab-on-a-Chip) rendszerek elsődleges kérdése az érzékelő és a mikrofluidikai rendszer integrálása, ami eltérő anyagrendszerek kötését jelenti. Mikrofluidikai rendszerek megbízható kötésére vékony membránokat (pl. szilárdtest nanopórus membránokat) is tartalmazó szilícium/üveg anodikus bondolási technológiát dolgoztunk ki. Kidolgoztam az optikai bioérzékelőkben funkcionális rétegként szereplő polimer SU-8, PI, PMMA felületeknek PDMS-ben kialakított mikrofluidikai szerkezetekhez történő megbízható kötését, megfelelő felületkezelések (szilanizáció + oxigén plazma) alkalmazásával. 2 A párhuzamos elektromos (impedancia) és optikai detektáláson alapuló áramlási citometriai eszközök számára optimalizáltam az SU-8 vastag polimerből és üvegből felépülő heterogén mikrofluidikai szerkezetek kialakítási technológiáját. Eljárást dolgoztunk ki PDMS alapanyagban kialakított csatornák felületi tulajdonságainak módosítására, figyelembe véve a folyadékminta, és az abban megtalálható molekulák (pl. fehérjék) és a szilárdtest felületek között kialakuló kölcsönhatásokat. A PDMS-t a térhálósodás előtt tenzid molekulákkal (TX-100, PDMS-PEO) 1 Polymer Photonics Multiparametric biochemical SENSor for Point of care diagnostics P3SENS (FP7 project no.: ) Chip Architectures by Joint Associated Labs for EUropean diagnostics CAJAL4EU (ENIAC JTI ) Kémiailag módosított nanopórus alapú érzékelők biomolekuláris kölcsönhatások tanulmányozására (OTKA NF69262) Invention of mobile poliovirus diagnostic platform, Melinda&Bill Gates Foundation "Grand Challenges" (Phase ) 2 P. Fürjes, E. Holczer, Z. Fekete, E. Tóth, F. Dortu, D. Giannone, Development of a polimer based microfluidics for polimer based photonic biosensors, Proceedings of the Microfluidics 2012 Conference, 141, Heidelberg, Germany, 2012 (szóbeli előadás) A. Saftics, E. Agócs, B. Fodor, D. Patkó, P. Petrik, K. Kolari, T. Aalto, P. Fürjes, R. Horváth, S. Kurunczi, Investigation of thin polymer layers for biosensor application, Proceedings of the E-MRS 2012 Conference, Warsaw, Poland, 2012

2 2 módosítva jelentősen tudtuk javítani a mikrofluidikai rendszerek hidrodinamikai ellenállását és a szabad felületeken tapasztalható nem-specifikus fehérjebekötődést Funkcionális passzív mikrofluikiai elemek kialakítása és vizsgálata Hidrodinamikai folyamatok vizsgálatára PDMS alapú mikrofluidikai rendszereket alakítottunk ki gyors prototípus gyártással, több rétegű 3D SU-8 öntőformát alkalmazva. A mikroméretekben jellemző, alacsony Reynold s számokkal leírható lamináris áramlástani tartományban is alkalmazható, kaotikus advekciót kihasználó mikrofluidikai szerkezetek viselkedését elemeztük mind a molekuláris, mind a mikrorészecskék mérettartományában. A rendszerekben kialakuló áramlástani folyamatokat képalkotó eljárásokkal vizsgáltuk (fluoreszcensen jelölt fehérje molekulák, illetve kiterjedt részecskék keveredése), és végeselem (FEM) modellekkel értelmeztük. 4 Az integrált orvosdiagnosztikai eszközökkel szemben támasztott igényeknek megfelelő mintapreparációs rendszerhez megterveztünk és megvalósítottunk egy teljes vért, mint mintafolyadékot fogadni képes, a Zweifach- Fung bifurkációs elven alapuló vérplazma-szeparációs mikrofluidikai rendszert. A hidrodinamikai viselkedés geometriai paraméter-függését elemezve a szerkezetet optimalizáltuk és bioanalitikai érzékelő rendszerbe integráltuk Aktív mikro- és nanoméretű eszközök érzékelési célokra A mechanikai elven működő nanoeszközök a vizsgálandó molekula (bio-, gáz-) érzékelését az adszorpció során bekövetkező mechanikai tulajdonság (tömeg, sajátfrekvencia, deformáció) megváltozásán keresztül valósítják meg. Elektrosztatikus elven, illetve termikusan gerjeszthető mikrokantilever szerkezetek kialakítási lehetőségeit vizsgáltam, felületi és tömbi mikrogépészetet alkalmazva. A fejlesztés kulcskérdése a segédrétegek megfelelő alkalmazása, ami még további kísérleteket igényel. 4. Szilárdtest nanopórus alapú integrált bioanalitikai rendszerek A mikro és nanotechnológián alapuló érzékelési elvek láthatóan új utat nyitnak a robosztus, költséghatékony és felhasználóbarát analitikai platformok megvalósítása felé. Ráadásul előrevetíthető, hogy a jelölésmentes, multiparaméteres, extrém érzékenységgel történő detektálás megvalósítása az ilyen nanostrukturák sikerén fog alapulni. A kémiailag módosított nanopórusok és a bennük lejátszódó transzportmodulációs jelenségek reménykeltők molekula szintű felismerésre, illetve kvantitatív detektálásra nézve. Kidolgoztam és optimalizáltam szilícium-nitrid/arany membránban kialakított szilárdtest nanopórusok technológiáját a 3D MEMS és nanofabrikációs eljárások kombinálásával (FIB, EBAD). Megbízható technológiát dolgoztam ki a szigorúan kontrolált pórusgeometriára: vizsgáltam a pórusátmérő technológiai paraméterfüggését, és módszert dolgoztam ki a marási folyamat in situ követésére és vezérlésére. Nagyfeloldású mikroszkópiák segítségével felderítettem a porlasztás atomi skálán értelmezhető folyamatait. A pórusszám, elhelyezkedés és geometria pontos meghatározására automatizált gyakorlatilag CNC (Computer Numerical Control) vezérelt nanofúrási technológiát dolgoztam ki. 6 A nanofluidikai rendszereket sikeresen alkalmaztuk biomolekulák (troponin-i) detektálására. A kialakított nanoszerkezeteket mikrofluidikai és elektromos címző hálózatba integráltuk, amely magában foglalja az előzetes mintaelőkészítő (vérplazma szeparációs) rendszert is. A mikrofluidikai rendszerben olyan felületmódosítási 3 E. Holczer, Z. Fekete, P. Fürjes: Surface modification of PDMS based microfluidic systems by tensides, Material Science Forum , P. Fürjes, Z. Fekete, E. G. Holczer, E. Tóth, K. Iván, I. Bársony: Particle mixing by chaotic advection in polymer based microfluidic systems, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PT2-4, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012) P. Fürjes, Z. Fekete, E. Holczer, E. Tóth, K. Iván, I. Bársony, Chaotic mixing of particles in microfluidic systems, Proceedings of the Microfluidics 2012 Conference, 141, Heidelberg, Germany, 2012 (szóbeli előadás) 5 Z. Fekete, P. Nagy, G. Huszka, F. Tolner, A. Pongrácz, P. Fürjes: Performance characterization of micromachined particle separation system based on Zweifach-Fung effect, Sensors & Actuators Chemical B 162 (2012) 89-94, (IF: 3.497) Z. Fekete, G. Huszka, A. Pongrácz, T. Kárpáti, E. Vrouwe, P. Fürjes, Integrated microfluidic functions for nanopore based biosensors, Proceedings of the International Conference on Materials and Applications for Sensors and Transducers 2012, Budapest, Hungary, P. Fürjes, Z. Fekete, L. Illés, A. L. Tóth, G. Battistig, R. E. Gyurcsányi: Effects of the Focused Ion Beam parameters on nanopore milling in solid state membranes, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PM1-14, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012)

3 3 eljárást alkalmaztam (passziváló réteg felvitele ALD eljárással), amely mind az elektromos, mind a fluidikai tulajdonságait jelentősen javította További eredmények Szilícium tömbben kialakított eltemetett mikrofluidikai csatorna megvalósítási technológiájának fejlesztése, és integrálása neurális folyamatok in vitro monitorizására alkalmas szilárdtest elektródába. 8 Mikrofluidikai rendszer tervezése és megvalósítása chemotaxis folyamatok vizsgálatára. THz tartományú elektromágneses sugárzás detektálására alkalmas érzékelő fejlesztése 9 Mozgó 3D egykristályos szilícium alkatrészek előállítása a MEMS technológia és a PBW (Proton Beam Writing) technika kombinálásával További kutatási tervek Szilícium 3D megmunkálásával kialakított mikro- és nanofluidikai rendszerek, reaktorok tervezése és megvalósítása, továbbfejlesztési lehetőségek vizsgálata, Lab on a chip szerkezetek, orvosbiológiai alkalmazások kutatása. Molekuladetektálásra alkalmas mechanikai nanoszerkezetek előállítási technológiájának fejlesztése. Hidrodinamikai részecskeszeparációra alkalmas mikrofluidikai szerkezetek viselkedésének vizsgálata és alkalmazásuk áramlási citometriai eszközökben. II. Publikációs tevékenység Impakt-faktorral rendelkező folyóiratban megjelent publikáció: 3, összes impakt faktor: 5.76 (további 4 már online megjelent) Impakt-faktorral nem rendelkező folyóiratban vagy konferencia kiadványban megjelent publikáció: 12 Konferencia előadások [1] P. Fürjes, Z. Fekete, E. Holczer, E. Tóth, K. Iván, I. Bársony, Chaotic mixing of particles in microfluidic systems, Proceedings of the Microfluidics 2012 Conference, 141, Heidelberg, Germany, 2012 [2] P. Fürjes, E. Holczer, Z. Fekete, E. Tóth, F. Dortu, D. Giannone, Development of a polimer based microfluidics for polimer based photonic biosensors, Proceedings of the Microfluidics 2012 Conference, 141, Heidelberg, Germany, 2012 [3] A. Saftics, E. Agócs, B. Fodor, D. Patkó, P. Petrik, K. Kolari, T. Aalto, P. Fürjes, R. Horváth, S. Kurunczi, Investigation of thin polymer layers for biosensor application, Proceedings of the E-MRS 2012 Conference, Warsaw, Poland, 2012 [4] Domenico Giannone, Fabian Dortu, Damien Bernier, Nigel P. Johnson, Graham J. Sharp, Lianping Hou, Ali Z. Khokhar, Péter Fürjes, Sándor Kurunczi, Peter Petrik, Robert Horvath, Timo Aalto, Kai Kolari, Sami Ylinen, Tomi Haatainen, Holger Egger, NIL fabrication of a polymer-based photonic sensor device in P3SENS project, Proceedings of SPIE Organic Photonics Conference, Brussels, Belgium, 2012 [5] P. Fürjes, Z. Fekete, E. G. Holczer, E. Tóth, K. Iván, I. Bársony: Particle mixing by chaotic advection in polymer based microfluidic systems, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PT2-4, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012) [6] P. Fürjes, Z. Fekete, L. Illés, A. L. Tóth, G. Battistig, R. E. Gyurcsányi: Effects of the Focused Ion Beam parameters on nanopore milling in solid state membranes, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PM1-14, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012) 7 G. Lautner, Gy. Jágerszki, D. T. Bakk, Z. Fekete, E. Vrouwe, R. E. Gyurcsányi, P. Fürjes, Microfluidically Addressable Solid State Nanopores for Biochemical Sensing and Counting, Proceedings of the PITTCON 2012, Orlando, Florida, USA, 2012 Z. Fekete, G. Huszka, A. Pongrácz, Gy. Jágerszki, R. E. Gyurcsányi, E. Vrouwe, P. Fürjes: Integrated microfluidic environment for solid-state nanopore sensors, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PM1-1, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012) 8 A. Pongrácz, Z. Fekete, G. Marton, R. Fiáth, P. Fürjes, I. Ulbert, G. Battistig: Deep-brain silicon multielectrodes for simultaneous neural recording and drug delivery, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, T2B-3, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012) Z. Fekete, A. Pongrácz, P. Fürjes, G. Battistig: Improved process flow for buried channel fabrication in silicon, Microsystem Technologies , 2012 (IF: 0.931) Z. Fekete, A. Pongrácz, G. Márton, P. Fürjes: On the fabrication parameters of buried microchannels integrated in in-plane silicon microprobes, Material Science Forum , B. Szentpáli, G. Matyi, P. Fürjes, E. László, G. Battistig, I. Bársony, G. Károlyi, T. Berceli, Thermopile-based THz antenna, Microsystem Technologies , 2012 (IF: 0.931)

4 4 [7] Z. Fekete, G. Huszka, A. Pongrácz, Gy. Jágerszki, R. E. Gyurcsányi, E. Vrouwe, P. Fürjes: Integrated microfluidic environment for solid-state nanopore sensors, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, PM1-1, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, 13-16, 2012) [8] A. Pongrácz, Z. Fekete, G. Marton, R. Fiáth, P. Fürjes, I. Ulbert, G. Battistig: Deep-brain silicon multielectrodes for simultaneous neural recording and drug delivery, Proceedings of the Eurosensors 2012 Conference, T2B-3, Krakow, Poland, 2012 (Procedia Engineering 47, , 2012) [9] A. J. Laki, K. Iván, Z. Fekete, P. Fürjes, D. Demarchi, P. Civera, Filtration of intravenous cardiopulmonary parasitic nematodes using a cross-flow microfluidic separator, Proceedings of the 8 th NanoBio Europe 2012 Conference, Varese, Italy, 2012 [10] G. Lautner, Gy. Jágerszki, D. T. Bakk, Z. Fekete, E. Vrouwe, R. E. Gyurcsányi, P. Fürjes, Microfluidically Addressable Solid State Nanopores for Biochemical Sensing and Counting, Proceedings of the PITTCON 2012, Orlando, Florida, USA, 2012 [11] Z. Fekete, G. Huszka, A. Pongrácz, T. Kárpáti, E. Vrouwe, P. Fürjes, Integrated microfluidic functions for nanopore based biosensors, Proceedings of the International Conference on Materials and Applications for Sensors and Transducers 2012, Budapest, Hungary, 2012 [12] T. Kárpáti, A. E. Pap, M. Ádám, P. Fürjes, S. Kulinyi, Si based MEMS Capacitive Pressure Sensor Design and Manufacturing, Proceedings of the International Conference on Materials and Applications for Sensors and Transducers 2012, Budapest, Hungary, 2012 Szemináriumi előadások [1] Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Illés Levente, Tóth Attila Lajos, Sáfrány György, Gyurcsányi E. Róbert, Jágerszky Gyula, Mikro és nanofluidikai rendszerek és orvosbiológiai alkalmazásuk, A Magyar Tudományos Akadémia Anyagtudományi és Technológiai Bizottság Nanoanyagok és Nanotechnológiák Albizottságának ülése, Budapest, 2012 [2] Fürjes Péter, Holczer Eszter, Fekete Zoltán, Gyurcsányi E. Róbert, Iván Kristóf, Tóth Eszter, Mikro és nanofluidikai rendszerek és orvosbiológiai alkalmazásuk, Magyar Tudományos Akadémia Nano Törzsasztal, 2012 [3] Fürjes Péter, Holczer Eszter G., Fekete Zoltán, Gyurcsányi E. Róbert, Iván Kristóf, Tóth Eszter, Battistig Gábor, Bársony István, Integrált mikrofluidikai mintaelőkészítő rendszerek bioszenzorokhoz, Munkaülés a kémiai szenzorok kutatásának eredményeiről az MTA Szenzorok, Bioszenzorok Munkabizottsága rendezésében, Pécs 2012 [4] Jágerszki Gyula, Fürjes Péter, Gyurcsányi Róbert, Ionofórral módosított szilárdtest egy-nanopórusos potenciometriás szenzorok, Munkaülés a kémiai szenzorok kutatásának eredményeiről az MTA Szenzorok, Bioszenzorok Munkabizottsága rendezésében, Pécs 2012 [5] Bakk Teodóra Diána, Fürjes Péter, Gyurcsányi Róbert, Nanopórusok fejlesztése nanoméretű részecskék számlálására Útban a vírusszámlálás felé, Munkaülés a kémiai szenzorok kutatásának eredményeiről az MTA Szenzorok, Bioszenzorok Munkabizottsága rendezésében, Pécs 2012 Az összes megjelent cikkre január 1-től kapott hivatkozások száma: Független: 51, Függő: 9, Összesen: 60 III. Fokozat- illetve címszerzés IV. Oktatási tevékenység V/1. Egyetemi előadássorozat V/2. Egyetemi gyakorlat- vagy laborvezetés Fizikai, kémiai és nanotechnológiák labor (2x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem - ETT, Budapest (2012) A félvezetőgyártás ábrakialakítási módszerei Szilícium alapú mikrofluidikai eszközök technológiája Anyagtudományi Labor (3x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, Budapest (2012)

5 5 Kémiai és bioszenzorok (1x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, Budapest (2012) Analitika Labor (1x4 óra labor) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, Budapest (2012) V/3. Témavezetés Szakmai gyakorlat vezetés: Holczer Eszter: Felületmódosított PDMS alapú szerkezetek vizsgálata és alkalmazásuk autonóm mikrofluidikai rendszerekben Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar Tolner Ferenc: Impedimetriás elvű mikrofluidikai mérőcellák optimalizálása végeselem modellezéssel Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Természettudományi Kar Tóth Eszter: Részecske keveredés kaotikus mikrofluidikai rendszerekben Pázmány Péter Katolikus Egyetem, Információs Technológiai Kar Szilágyi-Nagy Zsuzsanna: Mikrofluidikai folyamatok minősítése elektromos (impedancia) méréssel, Óbudai Egyetem, Bánki Donát Gépész és Biztonságtechnikai Mérnöki Kar, Mechatronika BSc szak Témavezetés: Tanuljunk egymástól Nyári Iskola középiskolásoknak BIOMIMETIKA LÓTUSZ-EFFEKTUS szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással MFA MEMS Laboratórium Diploma témavezetés: Holczer Eszter: PDMS alapú mikrofluidikai rendszerek felületmódosítása tenzidekkel Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki és Biomérnöki Kar, vegyészmérnök BSc szak Sági Olivér: Szabadon mozgó mikrokantilever szerkezetek elektromechanikai modellezése és megvalósítása felületi mikromechanikai technológiával (Coupled field modelling and production of freestanding microcantilever structures by micromechanical technology) Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Gépészmérnöki Kar, gépészmérnök MSc szak Nagy Kincső Galatea: Ergonómikus burkolatcsalád tervezése MEMS rendszerekhez illeszkedő műszerekhez (Design of ergonomic packaging family for electronics embedding MEMS systems) Miskolci Egyetem, Gépészmérnöki és Informatikai Kar, ipari termék - és formatervező mérnöki BSc szak PhD témavezetés Fekete Zoltán: Aktív 3D szilícium alapú mikrofluidikai eszközök és rendszerek kidolgozása és vizsgálata Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki és Informatikai Kar V. Pályázati tevékenység Kémiailag módosított nanopórus alapú érzékelők biomolekuláris kölcsönhatások tanulmányozására (OTKA NF69262), résztvevő (együttműködő partnerek: BME SZAKT, SE) Terahertzes forrás, érzékelő, és feldolgozó struktúrák spektrális képalkotáshoz TERASTART (OTKA CNK 77564), MFA konzorciumi tag, résztvevő (együttműködő partner: SZTAKI) Polymer Photonics Multiparametric biochemical SENSor for Point of care diagnostics P3SENS (FP7 project no.: ), MFA konzorciumi tag, munkaszakasz vezető (együttműködő partnerek: Bayer (Németország), Glasgow Univ. (Nagy-Britannia), Multitel (Belgium), VTT (Finnország)) Chip Architectures by Joint Associated Labs for EUropean diagnostics CAJAL4EU (ENIAC JTI ), MFA konzorciumi tag, magyarországi projektkoordinátor (együttműködő partnerek: BME SZAKT, SE, 77 Elektronika, CEA LETI (Franciaország), Micronit (Hollandia), NXP (Belgium), IMEC (Belgium)) Invention of mobile poliovirus diagnostic platform, Melinda&Bill Gates Foundation "Grand Challenges", 2011, résztvevő (együttműködő partnerek: BME SZAKT, SE)

6 6 Beadott pályázatok: Műszer fejlesztés talajvíz szénhidrogén szennyezettségének folyamatos megfigyelésére, GOP pályázat Mikrofluidikai rendszeren alapuló integrált áramlási cytometriai mérőcella fejlesztése, GOP pályázat Tumorokból felszabaduló anyagok hatásainak sejtélettani elemzése lab-on-a-chip rendszerekben, OTKA pályázat Mikrocsatornák készítése protonnyalábos mikromegmunkálással és alkalmazásuk Lab-on-a-chip eszközökben, OTKA pályázat Nanomechanikai rendszerek multi-skálás modellezése molekula-felismerési célokkal, OTKA pályázat Fully Implantable rechargeable and refillable artificial pancreas, FIBRA, ICT Call 8, FPT-ICT Multifunkcionális mikrorendszerek fejlesztése in vitro és in vivo idegtudományi és orvos-biológiai célokra, KTIA-AIK pályázat Nanoelektronikai Kompetencia Központ kvantum informatikai eszközök és ultra érzékeny szenzorok fejlesztéséhez, KTIA-AIK pályázat VI. Szerződéses munkák és bevételt eredményező szabadalmak, royaltyk Mikrogépészettel előállított hematológiai mérőcella fejlesztése VII. Tudományos elismerés, közéleti tevékenység. VII/1. Tudományos közéleti tevékenység MTA Műszaki Tudományok Osztálya Elektronikus Eszközök és Technológiák Bizottság, választott tag MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet Tudományos Tanács, tag VII/2. Tudományos publikáció, értekezés és pályázat bírálata Szabó Péter Gábor: Elektrotermikus mikrorendszerek modellezése és karakterizációja, Ph.D. értekezés Póhl László: Speciális félvezető eszközök szimulációja szukcesszív hálózatredukciós módszerrel, Ph.D. értekezés VII/3. Konferencia szervezés CAJAL4EU Technical Meeting Budapest, október VIII. Egyéb tevékenység Bolyai János Kutatási Ösztöndíj, , jó minősítés Mikrotechnológia Osztály MEMS Laboratórium, osztályvezető-helyettes A hagyományos mikromechanikai érzékelők kutatása mellett az MTA TTK MFA-ban szilárd kutatási bázis épült ki a bioanalitikai rendszerek fejlesztésére. Kiépült egy kifejezetten mikrofluidikai és BIOMEMS szerkezetek karakterizációjára dedikált komplex laboratórium. A kutatási projekteken keresztül egyre szélesebb kapcsolatrendszer és tudásbázis alakul ki a tématerületen. A technológiai, fejlesztési és tudományos eredmények közvetlenül bekerülnek a felsőfokú oktatásba, ami a laborban dolgozó hallgatók és így az elkészült TDK-k, diplomamunkák és PhD munka számában is megmutatkozik. Budapest, január 8.