SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK

Átírás

1 SZENZOROK ÉS MIKROÁRAMKÖRÖK 15. ELŐADÁS: GÁZÉRZÉKELŐK 2015/2016 tanév 2. félév 1

2 1. Bevezetés és áttekintés: gázérzékelők alkalmazási területei. 2. Gázérzékelőkben alkalmazott érzékelési elvek. 3. Általános jellemzők és problémák: szelektivitás, hosszúidejű reprodukálhatóság, kereszteffektusok (keresztérzékenység). 4. Vezetőképesség/ellenállás alapú gázérzékelők. 5. Piezoelektromos gázérzékelők, kvarc mikromérleg (QMB), felületi akusztikus hullámú (AFH) eszköz. 6. Kalorimetrikus elvű érzékelés (pellisztor) 7. Optikai spektroszkópiai módszerek. 2

3 3

4 ÉRZÉKELÉSI ELVEK Gázérzékelőkben alkalmazott érzékelési elvek: - vezetőképesség/ellenállás; - piezoelektromos; - térvezérlésű tranzisztor elv; - kalorimetrikus (katalitikus) - optikai; - spektrometriás. 4

5 SZILÁRDTEST (FÉLVEZETŐ) GÁZÉRZÉKELŐK Minden szilárdtest alapú gázérzékelő működése a gáz és a szilárdtest felületén lejátszódó reakción illetve kölcsönhatáson, (adszorpció, deszorpció, ionizáció, kémiai reakció, stb.) és a szilárd test valamely mérhető tulajdonsága ennek hatására való megváltozása mérésén alapul. A legelterjedtebbek a (fém-oxid) félvezető gázérzékelők (elektromos ellenállás változás) és a szilárd fázisú elektrolitos érzékelők, melyek többnyire cirkónium-oxid (ZrO 2 ) alapúak (elektromotoros erő elv alapján). Ezek az ún. amperometrikus gáz- (főleg oxigén) érzékelők, ilyen pl. a Clark-féle oxigénszonda. 5

6 VEZETŐKÉPESSÉG/ELLENÁLLÁS ALAPÚ GÁZÉRZÉKELŐK Az érzékelő vezetőképesség-változással reagál valamely gáz jelenlétére. Két típus: - fém-oxidok (ezek félvezető tulajdonságúak); - vezető polimerek. Polimerek: Az adalékolatlan polimerek vezetőképessége kicsi, az adalékoltaké nagy. A lehetséges vezetőképességek tartománya igen széles ( ohm -1 cm -1, átfogja a szinte teljes félvezető - szigetelő tartományt). 6

7 POLIMER ALAPÚ GÁZÉRZÉKELŐK Vezető polimert, mint érzékelő-anyagot alkalmazó szenzor működési mechanizmusa: Az érzékelendő gázmolekulák ionos (néha kovalens) kötéssel megkötődnek a polimer vázszerkezetén, elektrontranszfer vezetőképesség megváltozik. Polimer alapú ammónia (NH 3 ) érzékelő karakterisztikái 7

8 POLIMER ALAPÚ GÁZÉRZÉKELŐK Kialakítása: mikromegmunkálás, elektródok közötti távolság kb m. Működés: normál hőmérsékleten (nem kell fűtőtest, így egyszerűbb az előállítás is). Elektronikus áramköre/interface: egyszerű, hordozható/kézi műszer könnyen építhető. Érzékelési küszöb: tipikusan 0,1 ppm. Normális működési tartomány: ppm. Pl. CO esetén az egészségügyi határérték kb. mg/m 3 (kb. 10 ppm). (Kb ppm (20 perc): hányinger, szédülés, fejfájás, kb.3000 ppm (5-10 perc): halál.) Hátrányok: - nehezen biztosítható a gyártás egyenletessége; - érzékeny a nedvességre. 8

9 FÉLVEZETŐ FÉM-OXID GÁZÉRZÉKELŐK: ÁLTALÁNOS ELVEK Félvezető és környező gázatmoszféra kölcsönhatása: - oxidáció; - redukció; - adszorpció; - anion csere. Lényeges gyakorlati követelmény a reverzibilitás. A félvezető gázérzékelőkben a domináns reakció a reverzibilis gázadszorbció. 9

10 FÉLVEZETŐ FÉM-OXID GÁZÉRZÉKELŐK: ÁLTALÁNOS ELVEK A gázérzékelők tipikusan oxigént is tartalmazó atmoszférában (pl. levegő) működnek, működési elvükből kifolyólag megemelt hőmérsékleten, ezért csak fém-oxid félvezetők jöhetnek számításba. A nemesfémek kivételével minden más anyag oxidálódik, azaz egy oxidréteg alakul ki a felületén, és így a felület lényegében oxiddá konvertálódik. 10

11 FÉM-OXID GÁZÉRZÉKELŐK p- és n-típusú fém-oxidban a gázadszorbció hatására megváltozik a vezetőképesség. 11

12 FÉM-OXID GÁZÉRZÉKELŐK p- és n-típusú fém-oxidban a gázadszorbció hatására megváltozik a vezetőképesség. Az n-típusú oxid előnyösebben alkalmazható, mivel az oxigén adszorbció növeli az ellenállást, míg a redukáló hatású gázok csökkentik azt (pl. CH 4, CO, H 2, etil-alkohol, izobután, stb.). Ekkor egyszerűbb a mérőáramkör, és maga a szenzor is jobban reprodukálható. A p-típusú oxidok levegőn instabilak. Két gyakran használt bináris oxid: SnO 2 és TiO 2. Az SnO 2 hibacentrumok által dominált félvezető, tiltott sávja kb. 3 ev. 12

13 Alkalmazás típusai: FÉM-OXID GÁZÉRZÉKLŐK 1. Különféle atmoszférák, az elsődlegesen érdekes komponens az oxigén (parciális nyomás). 2. Egyéb gázok érzékelése olyan gázkörnyezetben ahol az oxigén parciális nyomása rögzített. Domináns érzékelési mechanizmus a hőmérséklettől függ. Oxigén érzékelés: - magasabb hőmérsékleteken ( 700 o C) - alacsonyabb hőmérsékleteken ( o C) Más gázok: - alacsonyabb hőmérsékleteken ( o C) 13

14 FÉM-OXID GÁZÉRZÉKELŐK Reakciók az n-típusú fém-oxid felületén: 1. A levegőből oxigén adszorbeálódik a felületen, és ott disszociál és megkötődik O - ion formájában O 2 + 2e - 2O - a reakció elektronokat von el a félvezető oxidból, annak ellenállása tehát megnő. 14

15 FÉM-OXID GÁZÉRZÉKELŐK Reakciók az n-típusú fém-oxid felületén: 2. Ha redukáló (gyúlékony, éghető) gáz van jelen, pl. hidrogén, az reagál a felületen kötött oxigénionokkal vízképződés és elektron-felszabadulás kíséretében H 2 + O - H 2 O + e - minél nagyobb a H 2 koncentrációja (parciális nyomása) annál kisebb a felületi O - koncentráció, és annál nagyobb a félvezető oxidban az elektronkoncentráció, és így annál kisebb az ellenállása. 15

16 ÓN-DIOXID ALAPÚ GÁZÉRZÉKELŐK 16

17 ÓN-DIOXID ALAPÚ GÁZÉRZÉKELŐK Kereskedelmi forgalomban lévő ón-dioxid alapú gázérzékelők 17

18 SnO 2 ALAPÚ (TAGUCHI-) GÁZÉRZÉKELŐ Taguchi-típusú gázérzékelő felépítése. Kerámiacső, felületére leválasztott arany elektródákkal, kívül SnO 2 +Pd vastagréteg borítással, belül fűtőszállal. 18

19 SnO 2 VASTAGRÉTEG TECHNOLÓGIA Főbb lépések: - hidroxid készítése - kalcinálás (kiégetés) - katalizátor (Pd) hozzáadása - kötőanyag hozzáadása 19

20 VASTAGRÉTEG GÁZÉRZÉKELŐ FELÉPÍTÉSE Ellenállás mérés Kerámia hordozó. Vastagréteg technológiájú fűtőellenállás. Integrált vastagréteg termisztor (hőmérsékletszabályzás), amelyhez képest szimmetrikusan helyezkedik el az érzékelőellenállás. Fémszitával fedett nyílás. 20

21 VASTAGRÉTEG GÁZÉRZÉKLŐ JELLEGGÖRBÉI 21

22 SZELEKTIVITÁS Több, különböző típusú érzékelő együttes alkalmazásával. Alkalmazási példa: integrált érzékelő - szén-monoxid, - metán, és - etilalkohol-gőz koncentrációjának egyidejű mérésére. LaNO 3 WO 3 SnO 2 - csak alkoholgőz - alkoholgőz és szén-monoxid - mindhárom gáz Érzékenységek és keresztérzékenységek, P-os jelfeldolgozás 22

23 VASTAGRÉTEG GÁZÉRZÉKELŐ 23

24 VASTAGRÉTEG GÁZÉRZÉKELŐ 24

25 MÉRŐKAPCSOLÁS SnO 2 ÉRZÉKRLŐHÖZ Áram-feszültség átalakító, belső fűtés az állandó hőmérséklet biztosítására. 25

26 - SiN x membrán - interdigitalis elektródok a vezetőképességméréshez - fém-oxid érzékelő réteg, adalékolt SnO 2,, ZnO, WO C a mikro-fűtőtest segítségével 26

27 T (oc) SiN membrane, Pt filament, TCR=1000ppm/ o C Pt filament SiN x P (mw) 100 m

28 QMB ÉS SAW GÁZÉRZÉKELŐK A kvarc oszcillátor (tömbi akusztikus hullám, bulk acoustic wave, BAW) és az akusztikus felületi hullámú (AFH, surface acoustic wave, SAW) eszköz egyaránt használható tömegváltozás érzékelésére. Különböző részecskék megkötődése a felületen tömegváltozást és így frekvenciaváltozást eredményez. Ha a felületen adszorbens réteg van, akkor a kvarc mikromérleg vagy az AFH eszköz mint kémiai- vagy gázérzékelő funkcionál. 28

29 KVARC MIKROMÉRLEG GÁZÉRZÉKELŐ Tömbi akusztikus hullámú eszköz, síkkondenzátor jellegű szerkezet. f res = 2 v hang / d 29

30 KVARC MIKRO- ÉS NANOMÉRLEG Tömbi akusztikus hullámú eszköz, síkkondenzátor jellegű szerkezet. Kvarc mikromérleg 30

31 ÉRZÉKENYSÉG QMB tömegérzékenysége ( m - egységnyi felületre eső tömegváltozás) f S m = f o m n a félhullámok száma, d a kristálylapka vastagsága, d` az adszorbeált réteg vastagsága, és a megfelelő sűrűségek) f d `d` (1 + ) -1 -n f o n `d` d Mivel `d` = m, az érzékenység S m = - n/ d = - 2/ 31

32 ÉRZÉKENYSÉG Példa: Lapka tömege M = 100 mg, f o 5-10 MHz, legkisebb mérhető frekvencia-eltolódás f = 0,1-1 Hz, f/f = - M/M alapján becsülve a legkisebb detektálható abszorbeált gázmennyiség M = ng. 32

33 SAW TÍPUSÚ SZENZOR Az AFH típusú érzékelőben egy szelektív gázadszorbens réteggel bevont és egy bevonat nélküli eszköz egy-egy RF oszcillátort alkot. Az abszorbeált gáz mennyiségétől függően megváltoznak a felületi akusztikus hullámok terjedési tulajdonságai (sebessége) és ez elhangolja az oszcillátort. A két oszcillátor jeléből egy keverővel a különbségi frekvenciával arányos jelet állítanak elő, mely egyben arányos az 33 érzékelőrétegen abszorbeált gáz mennyiségével.

34 AFH GÁZÉRZÉKELŐ SAW eszközök: tömbi: LiNbO 3, vékonyréteg: ZnO, AlN, PZT (PbZrO 3 -PbTiO 3 ). Vékonyréteg szilíciumon is integrálhatóság, smart devices 34

35 ÉRZÉKENYSÉG A relatív frekvenciaváltozás arányos az eszköz alapfrekvenciájával és természetesen az egységnyi felületre adszorbeált gáz tömegével, de ellentétben a QMB-al, független az eszköz saját tömegétől (mind a hullámterjedés és mind a szenzor működését meghatározó kölcsönhatás felületi jelenség). f/f = const x f m/a S m = ( f/f)/ m = const x f Az S m érzékenység növelhető az f működési frekvencia növelésével. 35

36 ÉRZÉKENYSÉG Példa: Pd-bevonattal ellátott hidrogénérzékelőben (a bevonat vastagsága néhány száz nm, mely kb. (5-15)-szöröse a felületen terjedő akusztikus hullámok hullámhosszának), a hidrogén-nitrogén gázelegyben lévő 1 ppm-nyi hidrogén az adszorbens réteg vastagságától függően (1-10)x10-6 relatív frekvenciaváltozást okoz, mely pl. már 100 MHz-es alapfrekvenciánál is jelentős mértékű, 0,1-1 khz frekvencia-eltolódást jelent. 36

37 LAMB-HULLÁMÚ ÉRZÉKELŐ 37

38 GÁZÉRZKELÉS LAMB-HULLÁMÚ (FPW) ESZKÖZZEL Érzékelő válaszjele toulol (szerves oldószer) gőzben nitrogén vivőgázban. Balra: referencia (IR spektrofotométer, jobbra: érzékelő frekvencia csökkenése. 38

39 Ón-dioxid (SnO 2 ), TGS GÁZÉRZÉKELŐ TÍPUSOK ÖSSZEHASONLÍTÁSA Általában jó az érzékenysége az éghető/robbanó (redukáló) gázokra, tipikus mérési tartományok ppm. Ez a tartomány megfelel a legtöbb alkalmazási igénynek, pl. a hazai előírások szénmonoxid (CO) esetén 20 mg/m 3 (kb. 20 ppm) értékben limitálják a munkahelyen (egy műszak, max. 8 óra) megengedhető maximális koncentrációt. Vagy pl. 0,1 térfogat % propán levegőben (1000 ppm, ez az alsó robbanási határ kb. 1/20-ada) kb. 20-szoros ellenálláscsökkenést okoz. Áruk alacsony (tömeggyártás, kereskedelmi forgalom). Kéntartalmú gázok problémát okozhatnak, mivel irreverzibilisen megkötődnek. 39

40 GÁZÉRZÉKELŐ TÍPUSOK ÖSSZEHASONLÍTÁSA QMB + polimer bevonat A szenzor válasza lineáris, dinamikus tartomány nagy. Nem (nagyon) függ a hőmérséklettől. Érzékenysége igen jó, a fenti képletekből is becsülhetően néhány nanogramm/cm2. Ez pl. adszorbeált víz esetén egy atom réteget, vagy akár annak törtrészét jelentheti. Az abszorbens réteggel "hangolható" adott gázra. Pl. SiOx abszorbens réteggel nedvességérzékelésre, palládium (Pd) bevonattal hidrogénérzékelésre használható. Az eszköz elkészítése MEMS processzálást igényel. A szükséges elektronika viszonylag bonyolult. Működési frekvenciatartomány 5-15 MHz. 40

41 GÁZÉRZÉKELŐ TÍPUSOK ÖSSZEHASONLÍTÁSA AFH eszköz + adszorbeáló bevonat Működési frekvenciatartomány 100 MHz - 1 GHz. Előnye, hogy felületi effektuson alapul, planáris kialakítás és a félvezetőknél szokásos planáris technológia (pl. fotolitográfia) alkalmazható. Tömeggyártás, olcsóbb, mint a QMB. Hátrány, a nagy felület/térfogat arány, emiatt zajosabb (az elektronikus zajok nagyrészt felületi eredetűek). A szükséges elektronika bonyolult. 41

42 PELLISZTOR KALORIMETRIKUS GÁZÉRZÉKLÉS Az érékelés alapelve: a környezeti hatás által előidézett hőmérséklet-különbség mérése. Környezeti hatás: hőközlés, hőelvonás, vagy a hőelvezetési viszonyok megváltozása. Hatások pl.: endo- vagy exoterm kémiai reakció; hősugárzás vagy más sugárzás hőhatása; hőáram vagy áramló közeg hőszállítása. Működtetés: általában a környezettől eltérő, stabilizált hőmérsékleten (fűtés vagy hűtés szükséges). 42

43 KALORIMETRIKUS ÉRZÉKELŐK katalitikus bevonat Kalorimetrikus érzékelők elvi felépítése. Pt-ellenállás: fűtés és érzékelés. A katalitikus bevonat elindítja a mérendő komponens kémiai reakcióját: hőtermelés vagy hőelvonás. 43

44 KALORIMETRIKUS ÉRZÉKELŐK Működési módok: Adiabatikus működési mód: A két fűtőteljesítmény megegyezik, a hőmérsékletkülönbséget detektálják. Izotermikus működési mód: az érzékelő elem fűtőteljesítményét változtatják míg a hőmérséklete meg nem egyezik a referenciaelemével. A fűtőteljesítmény változását detektálják. 44

45 PELLISZTOR Pellisztor: éghető gázok katalizált oxidációja során felszabaduló hő mérése Katalizátorok: Pt fémek VIII/2: Rh (d8s1), Ir (d7s2), Pd (d10), Pt (d8s2) O2, H2, szénhidrogén kemiszorpció, magas T - instabil felületi oxidok 45

46 PELLISZTOR 46

47 ÉRZÉKELŐ KARAKTERISZTIKÁJA 47

48 Pellistor (EU FP5, SAFEGAS ) Heterogen catalysis, exoterm reaction (elevated T) - measuring of the generated heat (T) (Wheastone-bridge) Requirements - reduced heat dissipation - sensitivity from 20% LEL - methane, propane-butane, hexane - explosion proof operation Test-chip: - array of 6 - chip size: 2 3 mm 2

49 Si MEMS PELLISTOR Az éghető gázok kimutatása az exotherm katalitikus oxidáció során keletkező hő közvetett mérésével, azaz a fűtőszál hőmérsékletemelkedésének meghatározása révén válik lehetővé. Ehhez azonban a katalízist a pellisztor elem felületén kell megvalósítani. Metán esetében ehhez Pt katalizátorral, melyet a mikrofűtőtest felületét borító porózus kerámiabevonat felületén lévő szemcsék formájában alakítunk ki >450 C hőmérsékletre van szükség. Az érzékelő elem hőmérésékletét egy azonos felépítésű és meghajtású, de katalitikusan inaktív elem hőmérsékletével összehasonlítva az eltérés az elégetett gáz koncentrációjával arányos többnyire lineáris módon. A mikropellisztor érzékenysége ugyanakkor nem korlátozható egyetlen gázkomponensre, azaz az érzékelés korántsem szelektív. 49

50 Si MEMS PELLISTOR SEM views of the suspended hotplates with deposited porous matrix activated by Pt (Al 2 O 3 + kaolin). The reference element is similarly coated by chemically passive porous matrix 50

51 Az MFA pórusos szilícium mikrogépészeti eljárásával készült felfüggesztett, azaz termikusan szigetelt, egykristályos Si mikrofűtőtestek Pt-kontaktusokkal 51

52 PELLISZTOR KARAKTERISZTIKÁI 52

53 Si MEMS PELLISTOR Ha a pellisztor-elemeket különböző katalizátorokkal, eltérıő hőmérsékleten működtetjük, adott éghető gázok jelenlétében az önmagukban nem szelektív érzékelő elemek eltérő érzékenységet mutatnak. Ezt az alapja az ún. elektronikus orr elvnek. Ha néhány egyedi elemnek az adott gázelegyekkel történő hitelesítése során regisztrált egyedi karakterisztikus válaszjeleket főkomponens analízisnek vetjük alá ill. egy megfelelően betanított ún. neurális hálózattal értékeljük ki, a nem szelektív elemekkel is kapható megbízható, jó közelítés az elégetett gázelegyben lévő ismert komponensek koncentrációjára vonatkozóan. 53

54 Si MEMS PELLISTOR Az MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet ipari partnere, a Weszta-T Kft. Gázveszély-jelző éghető gázra termékével a Magyar Regula ipari informatikai és irányítástechnikai nemzetközi szakvásáron áprilisában elnyerte az azévi Technika Innovációs Érem kitüntetést, a Technika Alapítvány díját Pungor Ernő akadémikus adta át Sztancsik István ügyvezető igazgatónak. 54

55 Si MEMS PELLISTOR 55

56 OPTIKAI SPEKTROSZKÓPIAI MÓDSZEREK A legtöbb gáz rendelkezi jellegzetes elnyelési sávokkal a közeli infravörös (NIR, nm), és/illetve a közepes infravörös (MIR, nm). Egyszerű mérés/érzékelés valósítható meg megfelelő hullámhosszúságú fényt kibocsátó fénydiódával (LED) vagy lézerdiódával (LD). A módszer különböző gázok illetve gőzök kimutatására alkalmas, a megfelelő elnyelési sávoknál elvégzett méréssel. 56

57 AZ INFRAVÖRÖS SPEKTRUM ÉS AZ ÉRZÉKELÉSRE ALKALMAS FÉLVEZETŐK Hullámsáv Hullámhossz Detektor Near-infrared (NIR) 0,75-1,4 μm Si (IR-A DIN) Short-wave IR (SWIR) 1,4-3 μm (ezen belül nm, nagytávolságú optikai átvitel) InGaAs (IR-B DIN) Mid-wave IR (MWIR) 3-8 μm InSb, HgCdTe, PbSe (IR-C DIN) Long-wave IR (LWIR) 8-15 μm HgCdTe (IR-C DIN) Far-infrared (FIR) μm adalékolt Si, Ge 57

58 FÉNYFORRÁSOK Félvezető Hullámhossz (nm) GaAs LED, LD 830 InGaAsP/InP LED, LD InGaAsSb/GaSb LED

59 InGaAsP/InP LED Emission wavelength tailoring by bandgap engineering in compound semiconductor diodes 9-diode LED set covering emission in 1.1 to 1.8 m range 59

60 LED-ARRAY SPEKTROMÉTER 60

61 ABSZORPCIÓS SÁVOK A szénhidrogének abszorpciós sávjai a közeli infravörös tartományban 61

62 ABSZORPCIÓS SÁVOK Alifás, aromás és telítetlen szénhidrogének jellemző elnyelési sávjai az 1700 nm körüli hullámhossztartományban 62

63 ALKALAMZÁSOK 63

64 MIR KÖZEPES INFRAVÖRÖS HULLÁMHOSSZAK High power LEDs and photodiodes at the spectral range of m are very promising devises for the different applications such as medical diagnostics (noninvasive method for measuring glucose in blood) environment monitoring (measuring contents of oil in water, measuring contents of water in oil) and so on. A number of such relevant gases as H 2 O, CO 2, CO, CH 4, N 2 O, SO 2, NH 3, HF and others have strong fundamental absorption lines in the mid-infrared spectral range that are times stronger in comparison with near-infrared overtone bands at shorter wavelength. Therefore such mid-infrared LEDs and PDs can be used for creation of optical low power consumption portable gas analyzers. 64

65 Absorption bands of gases in the range m In Mid Infrared spectral range nm lies strong absorption bands of such important gases and liquids as CH4, H2O, CO2, CO, C2H2, C2H4, C2H6, CH3Cl, HCl, HOCl, HBr, H2S, HCN, NH3, NO2, SO2, glucose and many others. CH 4 1,E-19 H2 O 1,E-20 1,0E-17 1,E-21 1,E Wavelength, nm Absorption intensity, cm/mol 1,E-17 CO2 1,E-18 Absorption intensity, cm/mol Absorption intensity, cm/mol 1,E-18 1,0E-18 1,0E-19 1,0E-20 1,0E-21 1,0E-22 1,E ,E-20 1,E-21 1,E-22 1,E-23 1,E-24 1,E-25 1,E Wavelength, m Wavelength, nm

66 MIR LED ÉS DETEKTOR DIÓDÁK Narrow band gap solid solutions based on III-V compounds (GaSb-InAs, GaSb-AlSb) are an attractive material for use in light emitting diodes (LED) operating at the spectral range m. Energy band gap for this spectral range changes at the interval from 0.7 up to 0.5 ev that allows to use simple bulk double heterostructure for LEDs and PDs operating in room temperature. 66

67 Eg, ev Materials for Mid Infrared LED 2,5 2 1,5 GaAs AlAs InP AlSb 1 GaSb 0,5 InAs InSb 0 5,6 5,8 6 6,2 6,4 6,6 lattice constant, A

68 Intensity, a.u. LED Structure for the Spectral Range mm 20 Lattice-matched to GaSb substrate LED structures. Energy band diagram of the structures for spectral ranges mm is schematized here LED16 LED17 LED18 LED19 LED20 LED21 LED22 LED23 AlGaAsSb Wavelength, nm p P n N GaSb GaInAsSb

69 LED Structure for the Spectral Range m Light Emitting Diodes for the spectral range mm are based on InAs substrates. Quaternary solid solutions InAsSbP, lattice-matched to InAs substrate are used in active layer for the range mm. p InAs P InAsSbP n InAsSb N Ternary solid solutions InAsSb are used for covering the spectral range mm.

70 Detectivity, cm.hz 1/2 /W Mid Infrared Photodiodes MIR photodiodes are based on heterostructures with wide band-gap window. PD24 and PD25 models are based on GaInAsSb/GaAlAsSb structure, PD36 is based on InAs/InAsSbP structure, with thermocooler inside and can be equipped with the parabolic reflector. Here are presented curves of detectivity vs wavelength at room temperature. With decreasing temperature (using thermo-electric cooler) detectivity increases and cut-off wavelength shifts to shorter wavelengths. 1,E+11 1,E+10 1,E+09 PD24 PD25 PD36 1,E+08 0,8 1,3 1,8 2,3 2,8 3,3 3,8 4,3 Wavelength, m

71 Current Driver Application of MIR LED and PD in Gas Sensors Optical sensors are the only ones, which are truly gas specific. But up to now wide aplication of portable gas sensors is limited by imperfections of incadescent lamp IR with filters. They have poor spectral efficiency, low operation speed, large sensor size because of complicated optical scheme and high heat dissipation. Preamplifier Analog digital converter Processor /Display NEW mid infrared sources for gas sensors- Mid-IR LEDs cover all spectral range mm. This light source is much smaller, high speed, with low power consumption and don't need filters. Measuring LED CO2 PD LED36 PD LED43 CO 2 Reference LED 5mm

72 Absorption intensity, cm/mol Absorption intensity, cm/mol Light Emitting Diodes and Detectors for CH 4 Sensors Methane has main absorption band in the range nm. Other not so strong absorption bands that can be used for measuring are placed around 2300 nm and 1650 nm. LED3 4 CH 3,E-19 3,E-19 2,E-19 2,E-19 CH 4 - main absorption band H 2 O abs. CH4 absorption LED34 spectrum LED27 4 PD36 1,E-19 5,E-20 LED27 spectrum 0,E+00 PD36 spectrum Wavelength, nm 1,0E-20 9,0E-21 8,0E-21 7,0E-21 6,0E-21 5,0E-21 4,0E-21 3,0E-21 2,0E-21 1,0E-21 0,0E+00 CH 4 - second and third absorption bands CH4 absorption LED23 spectrum LED19 spectrum PD25 spectrum LED spectrum LED23 LED1 9 LED1 6 CH 4 PD25 Wavelength, nm

73 Absorption intensity, cm/mol Absorption intensity, cm/mol Light Emitting Diodes and Detectors for H 2 O Sensors Water has very strong absorption band in the range nm and second strong enough absorption band in the range nm. H 2 O - second absorption band 5,0E-20 H2O 4,5E-20 absorption 4,0E-20 LED21 3,5E-20 spectrum 3,0E-20 LED18 spectrum 2,5E-20 PD24 2,0E-20 spectrum 1,5E-20 LED16 1,0E-20 spectrum 5,0E-21 0,0E Wavelength, nm LED18 LED16 or LED21 H 2 O PD24 4,0E-19 3,5E-19 3,0E-19 2,5E-19 2,0E-19 H 2 O - main absorption band H2O absorption LED27 spectrum 1,5E-19 LED34 1,0E-19 spectrum 5,0E-20 0,0E+00 PD36 spectrum LED27 LED34 H 2 O PD3 6 Wavelength, nm

74 Absorption intensity, cm/mol Light Emitting Diodes and Detectors for CO 2 Sensors 4,E-18 3,E-18 2,E-18 СО2 absorption LED43 spectrum LED36 spectrum PR43 spectrum LED43 CO2 1,E-18 PR46 1,E LED36 Wavelength, nm Carbon dioxide has very strong absorption band in the range nm. Other not so strong absorption bands that can be used are placed around 2700 nm and 2000 nm.

75 Kémiai érzékelőkben alkalmazott jelátalakitási elvek és jellegzetes alkalmazások 75